Истражувачкиот напредок на сензорот Fluxgate заснован на микро електромеханички систем (MEMS)

Тимот на Чен Џиамин од Кинеската академија на науките: Напредокот на истражувањето на сензорите за флуксгајт базирани на микроелектромеханички системи (MEMS)

Следниве написи се од редакцискиот оддел за магнетни материјали и уреди, а авторот е од редакцијата на Magnetic Journal

тимски вовед

Г. Чен Џиамин, истражувач на "Државна клучна лабораторија за сензорска технологија" на Институтот за иновации за воздухопловни информации при Кинеската академија на науките, докторски супервизор, кандидат на "Програма за сто таленти" на Кинеската академија на науките, посебен истражувач (дружење) на Јапонското друштво за промоција на науката (JSPS), IEEE Magnetics Член на друштвото, член на Националниот совет за материјали и уреди експерт за експертска група за магнетни материјали.

Прилагодливо електронско оптоварување со постојана струја - полнење богатство тестер - модул за празнење на стареење - отпорник за брзо полнење и празнење

Тој е ангажиран во истражување на нови сензорни материјали, магнетни сензори, спинтронска физика, материјали и уреди долго време. Тој претседаваше и учествуваше во Јапонија "План за иновации за вознемирувачки технологии" проект, Научно-истражувачкиот фонд на Јапонското здружение за промоција на науката проект за основно истражување на S-ниво, Проект од А-ниво, Проект од Б-ниво, специјален истражувачки проект и проект Асоцијација за напредна технологија за складирање, итн., и моментално е одговорен за националните клучни истражувања и развој Постојат многу научно-истражувачки проекти како што се планираните проекти за млади научник, Проект на Националната природна научна фондација, Проект на Фондацијата за природни науки во Пекинг, Проект за таленти на Кинеската академија на науките, Проект за развој на функцијата на инструменти и опрема на Кинеската академија на науките, и проект доверен на претпријатието.

Модул за проверка на богатството за полнење на електронски оптоварување со константна струја

Водич за член

Флуксгејт сензорите се вид векторски магнетни сензори кои можат да детектираат слаби нискофреквентни или еднонасочни магнетни полиња. Поради нивните предности во резолуцијата, температурна стабилност, точност и чувствителност, тие се широко користени во позиционирањето на магнетната навигација, откривање на просторот, откривање на минерали, Геомагнетна детекција, откривање на струја и други полиња. Со цел да се исполнат новите апликации на микро-компоненти и системи, минијатуризацијата на сензорите за флуксгејт стана истражувачка жариште на флуксгејт сензори. Микро-електро-механички систем (MEMS) обработката обезбедува техничка основа за минијатуризација на сензорите за флукспорт. Овој труд ги сумира основните принципи на сензорите за проток, и ја објаснува историјата на развојот на технологијата на микро-флуксгејт сензор, вклучувајќи технологија за микромашина, PCB технологија и MEMS технологија. Процесот на развој на технологијата на структурата на MEMS fluxgate и развојниот статус на MEMS ортогоналната флуксгејт се сумирани, и се очекува идниот истражувачки фокус во оваа област.

Клучни зборови: сензор за флукспорт; MEMS; магнетно мерење; апликација

1 Вовед

Fluxgate сензорите се класа на векторски магнетни сензори кои можат да детектираат слаби нискофреквентни или еднонасочни магнетни полиња. Традиционалните сензори за флукс-порта се широко користени во позиционирањето на магнетната навигација, откривање на просторот, откривање на минерали, геомагнетна детекција, откривање на струја и други полиња поради нивните предности во резолуцијата, температурна стабилност, прецизност и чувствителност. Различни микро дронови, рачни уреди, микро сателити, сензори за микро струја, мали електронски компаси, биомедицината и другите области на примена имаат повисоки барања за квалитет, волумен, потрошувачка на енергија и интеграција на флукспорти. Со цел да се исполнат новите апликации на микро-компоненти и системи, минијатуризацијата на сензорите за флуксгејт стана истражувачка точка на сензорите за флуксгејт.

2 Принцип и структура на цврста флукспорта

паралелна флукспорта - Истражувачкиот напредок на сензорот Fluxgate заснован на микро електромеханички систем (MEMS)

3 Историја на минијатуризација на флуксгејт
3.1 Микромашински Fluxgate
3.2 PCB Fluxgate
3.3 MEMS Fluxgate
4 Истражување на MEMS Fluxgate
4.1 Технологија
4.2 Структура
4.3 Ортогонална Fluxgate
5 Примена на MEMS Fluxgate
5.1 Роботи
5.2 Тековен тест
5.3 Биомагнетна детекција
5.4 Вселенско истражување
6 Епилог

Во заклучок

Во текот на изминатите три децении, флукспортите постигнаа голем напредок во минијатуризацијата, и проблемите со високата бучава, ниска чувствителност, и големиот температурен нанос предизвикан од минијатуризацијата на флукспортите се подобрени. Технологијата MEMS моментално е жешка точка во минијатуризацијата на флукспортите. Fluxgates кои користат MEMS технологија имаат одлични карактеристики како што се мали димензии, ниска цена, висока интеграција и високо совпаѓање, и биле широко користени во многу области.
Во иднина, MEMS fluxgates треба дополнително да ја оптимизираат нивната структура, производствен процес, материјал со магнетно јадро, и совпаѓање на кола за да се добијат сонди со поголема чувствителност, помал шум, и подобро структурно вклопување. Во моментов, Технологијата на дводимензионалниот сензор за флуксгејт базирана на технологијата MEMS е доста зрела. Се верува дека со развојот на MEMS технологијата, интегрираниот сензор за флукспорт со три оски MEMS не треба да биде далеку.