ಇಮೇಲ್: anwenqq2690502116@gmail.com
ಮೈಕ್ರೋ ಎಲೆಕ್ಟ್ರೋ ಮೆಕ್ಯಾನಿಕಲ್ ಸಿಸ್ಟಮ್ ಆಧಾರಿತ ಫ್ಲಕ್ಸ್ಗೇಟ್ ಸಂವೇದಕದ ಸಂಶೋಧನಾ ಪ್ರಗತಿ (MEMS)
ಚೈನೀಸ್ ಅಕಾಡೆಮಿ ಆಫ್ ಸೈನ್ಸಸ್‌ನಿಂದ ಚೆನ್ ಜಿಯಾಮಿನ್ ಅವರ ತಂಡ: ಮೈಕ್ರೋಎಲೆಕ್ಟ್ರೋಮೆಕಾನಿಕಲ್ ಸಿಸ್ಟಮ್‌ಗಳ ಆಧಾರದ ಮೇಲೆ ಫ್ಲಕ್ಸ್ಗೇಟ್ ಸಂವೇದಕಗಳ ಸಂಶೋಧನೆಯ ಪ್ರಗತಿ (MEMS)
ಕೆಳಗಿನ ಲೇಖನಗಳು ಕಾಂತೀಯ ವಸ್ತುಗಳು ಮತ್ತು ಸಾಧನಗಳ ಸಂಪಾದಕೀಯ ವಿಭಾಗದಿಂದ ಬಂದವು, ಮತ್ತು ಲೇಖಕರು ಮ್ಯಾಗ್ನೆಟಿಕ್ ಜರ್ನಲ್‌ನ ಸಂಪಾದಕೀಯ ವಿಭಾಗದವರು
ತಂಡದ ಪರಿಚಯ
ಶ್ರೀ. ಚೆನ್ ಜಿಯಾಮಿನ್, ನ ಸಂಶೋಧಕ "ಸ್ಟೇಟ್ ಕೀ ಲ್ಯಾಬೊರೇಟರಿ ಆಫ್ ಸೆನ್ಸಿಂಗ್ ಟೆಕ್ನಾಲಜಿ" ಚೈನೀಸ್ ಅಕಾಡೆಮಿ ಆಫ್ ಸೈನ್ಸಸ್ನ ಏರೋಸ್ಪೇಸ್ ಇನ್ನೋವೇಶನ್ ಇನ್ಸ್ಟಿಟ್ಯೂಟ್, ಡಾಕ್ಟರೇಟ್ ಮೇಲ್ವಿಚಾರಕ, ನ ಅಭ್ಯರ್ಥಿ "ನೂರು ಪ್ರತಿಭೆಗಳ ಕಾರ್ಯಕ್ರಮ" ಚೈನೀಸ್ ಅಕಾಡೆಮಿ ಆಫ್ ಸೈನ್ಸಸ್, ವಿಶೇಷ ಸಂಶೋಧಕ (ಸಹಭಾಗಿತ್ವ) ಜಪಾನ್ ಸೊಸೈಟಿ ಫಾರ್ ದಿ ಪ್ರಮೋಷನ್ ಆಫ್ ಸೈನ್ಸ್ (JSPS), ಸಮಾಜದ IEEE ಮ್ಯಾಗ್ನೆಟಿಕ್ಸ್ ಸದಸ್ಯ, ನ್ಯಾಶನಲ್ ಕೌನ್ಸಿಲ್ ಆಫ್ ಮೆಟೀರಿಯಲ್ಸ್ ಮತ್ತು ಡಿವೈಸಸ್ ಮ್ಯಾಗ್ನೆಟಿಕ್ ಮೆಟೀರಿಯಲ್ಸ್ ಎಕ್ಸ್ಪರ್ಟ್ ಗ್ರೂಪ್ ತಜ್ಞ ಸದಸ್ಯ.
ಹೊಂದಾಣಿಕೆ ಸ್ಥಿರ ಪ್ರಸ್ತುತ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ಲೋಡ್ - ಚಾರ್ಜಿಂಗ್ ನಿಧಿ ಪರೀಕ್ಷಕ - ವಯಸ್ಸಾದ ಡಿಸ್ಚಾರ್ಜ್ ಮಾಡ್ಯೂಲ್ - ವೇಗದ ಚಾರ್ಜ್ ಮತ್ತು ಡಿಸ್ಚಾರ್ಜ್ ರೆಸಿಸ್ಟರ್
ಅವರು ಹೊಸ ಸಂವೇದನಾ ವಸ್ತುಗಳ ಸಂಶೋಧನೆಯಲ್ಲಿ ತೊಡಗಿದ್ದಾರೆ, ಕಾಂತೀಯ ಸಂವೇದಕಗಳು, ಸ್ಪಿಂಟ್ರೋನಿಕ್ ಭೌತಶಾಸ್ತ್ರ, ದೀರ್ಘಕಾಲದವರೆಗೆ ವಸ್ತುಗಳು ಮತ್ತು ಸಾಧನಗಳು. ಅವರು ಜಪಾನ್‌ನ ಅಧ್ಯಕ್ಷತೆ ವಹಿಸಿ ಭಾಗವಹಿಸಿದ್ದಾರೆ "ಅಡ್ಡಿಪಡಿಸುವ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನ ನಾವೀನ್ಯತೆ ಯೋಜನೆ" ಯೋಜನೆ, ಜಪಾನ್ ಸೊಸೈಟಿ ಫಾರ್ ದಿ ಪ್ರಮೋಷನ್ ಆಫ್ ಸೈನ್ಸ್'ಸ್ ವೈಜ್ಞಾನಿಕ ಸಂಶೋಧನಾ ನಿಧಿ ಮೂಲ ಸಂಶೋಧನೆ ಎಸ್-ಮಟ್ಟದ ಯೋಜನೆ, ಎ-ಮಟ್ಟದ ಯೋಜನೆ, ಬಿ-ಮಟ್ಟದ ಯೋಜನೆ, ವಿಶೇಷ ಸಂಶೋಧಕ ಯೋಜನೆ ಮತ್ತು ಸುಧಾರಿತ ಶೇಖರಣಾ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನ ಸಂಘದ ಯೋಜನೆ, ಇತ್ಯಾದಿ, ಮತ್ತು ಪ್ರಸ್ತುತ ರಾಷ್ಟ್ರೀಯ ಪ್ರಮುಖ ಸಂಶೋಧನೆ ಮತ್ತು ಅಭಿವೃದ್ಧಿಯ ಉಸ್ತುವಾರಿ ವಹಿಸಿದ್ದಾರೆ ಯೋಜಿತ ಯುವ ವಿಜ್ಞಾನಿ ಯೋಜನೆಯಂತಹ ಅನೇಕ ವೈಜ್ಞಾನಿಕ ಸಂಶೋಧನಾ ಯೋಜನೆಗಳಿವೆ, ರಾಷ್ಟ್ರೀಯ ನೈಸರ್ಗಿಕ ವಿಜ್ಞಾನ ಪ್ರತಿಷ್ಠಾನದ ಯೋಜನೆ, ಬೀಜಿಂಗ್ ನ್ಯಾಚುರಲ್ ಸೈನ್ಸ್ ಫೌಂಡೇಶನ್ ಯೋಜನೆ, ಚೈನೀಸ್ ಅಕಾಡೆಮಿ ಆಫ್ ಸೈನ್ಸಸ್ ಪ್ರತಿಭೆ ಯೋಜನೆ, ಚೈನೀಸ್ ಅಕಾಡೆಮಿ ಆಫ್ ಸೈನ್ಸಸ್ ಉಪಕರಣ ಮತ್ತು ಸಲಕರಣೆಗಳ ಕಾರ್ಯ ಅಭಿವೃದ್ಧಿ ಯೋಜನೆ, ಮತ್ತು ಎಂಟರ್‌ಪ್ರೈಸ್ ಒಪ್ಪಿಸಿದ ಯೋಜನೆ.
ಹೊಂದಾಣಿಕೆ ಸ್ಥಿರ ಪ್ರಸ್ತುತ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ಲೋಡ್ ಚಾರ್ಜಿಂಗ್ ನಿಧಿ ಪರೀಕ್ಷಕ ಮಾಡ್ಯೂಲ್
ಲೇಖನ ಮಾರ್ಗದರ್ಶಿ
ಫ್ಲಕ್ಸ್ಗೇಟ್ ಸಂವೇದಕಗಳು ಒಂದು ವಿಧದ ವೆಕ್ಟರ್ ಮ್ಯಾಗ್ನೆಟಿಕ್ ಸಂವೇದಕಗಳಾಗಿವೆ, ಅದು ದುರ್ಬಲ ಕಡಿಮೆ-ಆವರ್ತನ ಅಥವಾ DC ಕಾಂತೀಯ ಕ್ಷೇತ್ರಗಳನ್ನು ಪತ್ತೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ. ರೆಸಲ್ಯೂಶನ್ ಅವರ ಅನುಕೂಲಗಳ ಕಾರಣ, ತಾಪಮಾನ ಸ್ಥಿರತೆ, ನಿಖರತೆ ಮತ್ತು ಸೂಕ್ಷ್ಮತೆ, ಅವುಗಳನ್ನು ಮ್ಯಾಗ್ನೆಟಿಕ್ ನ್ಯಾವಿಗೇಷನ್ ಸ್ಥಾನೀಕರಣದಲ್ಲಿ ವ್ಯಾಪಕವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಬಾಹ್ಯಾಕಾಶ ಪತ್ತೆ, ಖನಿಜ ಪತ್ತೆ, ಭೂಕಾಂತೀಯ ಪತ್ತೆ, ಪ್ರಸ್ತುತ ಪತ್ತೆ ಮತ್ತು ಇತರ ಕ್ಷೇತ್ರಗಳು. ಸೂಕ್ಷ್ಮ ಘಟಕಗಳು ಮತ್ತು ಸಿಸ್ಟಮ್‌ಗಳ ಉದಯೋನ್ಮುಖ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್‌ಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸುವ ಸಲುವಾಗಿ, ಫ್ಲಕ್ಸ್ಗೇಟ್ ಸಂವೇದಕಗಳ ಚಿಕಣಿಕರಣವು ಫ್ಲಕ್ಸ್ಗೇಟ್ನ ಸಂಶೋಧನಾ ಕೇಂದ್ರವಾಗಿದೆ ಸಂವೇದಕಗಳು. ಮೈಕ್ರೋ-ಎಲೆಕ್ಟ್ರೋ-ಮೆಕ್ಯಾನಿಕಲ್ ಸಿಸ್ಟಮ್ (MEMS) ಸಂಸ್ಕರಣೆಯು ಫ್ಲಕ್ಸ್ಗೇಟ್ ಸಂವೇದಕಗಳ ಮಿನಿಯೇಟರೈಸೇಶನ್‌ಗೆ ತಾಂತ್ರಿಕ ಆಧಾರವನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ. ಈ ಕಾಗದವು ಫ್ಲಕ್ಸ್ಗೇಟ್ ಸಂವೇದಕಗಳ ಮೂಲ ತತ್ವಗಳನ್ನು ಸಾರಾಂಶಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ, ಮತ್ತು ಮೈಕ್ರೋ-ಫ್ಲಕ್ಸ್ಗೇಟ್ ಸಂವೇದಕ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನದ ಅಭಿವೃದ್ಧಿ ಇತಿಹಾಸವನ್ನು ವಿವರಿಸುತ್ತದೆ, ಮೈಕ್ರೋಮ್ಯಾಚಿಂಗ್ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನ ಸೇರಿದಂತೆ, ಪಿಸಿಬಿ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನ ಮತ್ತು MEMS ತಂತ್ರಜ್ಞಾನ. MEMS ಫ್ಲಕ್ಸ್ಗೇಟ್ ರಚನೆ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನದ ಅಭಿವೃದ್ಧಿ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಮತ್ತು MEMS ಆರ್ಥೋಗೋನಲ್ ಫ್ಲಕ್ಸ್ಗೇಟ್ನ ಅಭಿವೃದ್ಧಿ ಸ್ಥಿತಿಯನ್ನು ಸಂಕ್ಷಿಪ್ತಗೊಳಿಸಲಾಗಿದೆ, ಮತ್ತು ಈ ಕ್ಷೇತ್ರದಲ್ಲಿ ಭವಿಷ್ಯದ ಸಂಶೋಧನೆಯ ಗಮನವನ್ನು ನಿರೀಕ್ಷಿಸಲಾಗಿದೆ.
ಪ್ರಮುಖ ಪದಗಳು: ಫ್ಲಕ್ಸ್ಗೇಟ್ ಸಂವೇದಕ; MEMS; ಕಾಂತೀಯ ಮಾಪನ; ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್
1 ಪರಿಚಯ
ಫ್ಲಕ್ಸ್ಗೇಟ್ ಸಂವೇದಕಗಳು ವೆಕ್ಟರ್ ಮ್ಯಾಗ್ನೆಟಿಕ್ ಸಂವೇದಕಗಳ ವರ್ಗವಾಗಿದ್ದು ಅದು ದುರ್ಬಲ ಕಡಿಮೆ-ಆವರ್ತನ ಅಥವಾ DC ಕಾಂತೀಯ ಕ್ಷೇತ್ರಗಳನ್ನು ಪತ್ತೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ. ಸಾಂಪ್ರದಾಯಿಕ ಫ್ಲಕ್ಸ್ಗೇಟ್ ಸಂವೇದಕಗಳನ್ನು ಮ್ಯಾಗ್ನೆಟಿಕ್ ನ್ಯಾವಿಗೇಷನ್ ಸ್ಥಾನೀಕರಣದಲ್ಲಿ ವ್ಯಾಪಕವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಬಾಹ್ಯಾಕಾಶ ಪತ್ತೆ, ಖನಿಜ ಪತ್ತೆ, ಭೂಕಾಂತೀಯ ಪತ್ತೆ, ರೆಸಲ್ಯೂಶನ್‌ನಲ್ಲಿನ ಅನುಕೂಲಗಳ ಕಾರಣದಿಂದಾಗಿ ಪ್ರಸ್ತುತ ಪತ್ತೆ ಮತ್ತು ಇತರ ಕ್ಷೇತ್ರಗಳು, ತಾಪಮಾನ ಸ್ಥಿರತೆ, ನಿಖರತೆ ಮತ್ತು ಸೂಕ್ಷ್ಮತೆ. ವಿವಿಧ ಮೈಕ್ರೋ ಡ್ರೋನ್‌ಗಳು, ಕೈಯಲ್ಲಿ ಹಿಡಿಯುವ ಸಾಧನಗಳು, ಸೂಕ್ಷ್ಮ ಉಪಗ್ರಹಗಳು, ಮೈಕ್ರೋ ಕರೆಂಟ್ ಸಂವೇದಕಗಳು, ಸಣ್ಣ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ದಿಕ್ಸೂಚಿಗಳು, ಬಯೋಮೆಡಿಸಿನ್ ಮತ್ತು ಇತರ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್ ಕ್ಷೇತ್ರಗಳು ಗುಣಮಟ್ಟಕ್ಕೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿವೆ, ಪರಿಮಾಣ, ವಿದ್ಯುತ್ ಬಳಕೆ ಮತ್ತು ಫ್ಲಕ್ಸ್‌ಗೇಟ್‌ಗಳ ಏಕೀಕರಣ. ಸೂಕ್ಷ್ಮ ಘಟಕಗಳು ಮತ್ತು ಸಿಸ್ಟಮ್‌ಗಳ ಉದಯೋನ್ಮುಖ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್‌ಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸುವ ಸಲುವಾಗಿ, ಫ್ಲಕ್ಸ್ಗೇಟ್ ಸಂವೇದಕಗಳ ಚಿಕಣಿಕರಣವು ಫ್ಲಕ್ಸ್ಗೇಟ್ ಸಂವೇದಕಗಳ ಸಂಶೋಧನಾ ಕೇಂದ್ರವಾಗಿದೆ.
2 ಘನ ಫ್ಲಕ್ಸ್ಗೇಟ್ನ ತತ್ವ ಮತ್ತು ರಚನೆ
ಸಮಾನಾಂತರ ಫ್ಲಕ್ಸ್ಗೇಟ್ - ಮೈಕ್ರೋ ಎಲೆಕ್ಟ್ರೋ ಮೆಕ್ಯಾನಿಕಲ್ ಸಿಸ್ಟಮ್ ಆಧಾರಿತ ಫ್ಲಕ್ಸ್ಗೇಟ್ ಸಂವೇದಕದ ಸಂಶೋಧನಾ ಪ್ರಗತಿ (MEMS)
3 ಫ್ಲಕ್ಸ್ಗೇಟ್ ಮಿನಿಯೇಟರೈಸೇಶನ್ ಇತಿಹಾಸ
3.1 ಮೈಕ್ರೋಮೆಷಿನ್ಡ್ ಫ್ಲಕ್ಸ್ಗೇಟ್
3.2 ಪಿಸಿಬಿ ಫ್ಲಕ್ಸ್ಗೇಟ್
3.3 MEMS ಫ್ಲಕ್ಸ್ಗೇಟ್
4 MEMS ಫ್ಲಕ್ಸ್ಗೇಟ್ ಸಂಶೋಧನೆ
4.1 ತಂತ್ರಜ್ಞಾನ
4.2 ರಚನೆ
4.3 ಆರ್ಥೋಗೋನಲ್ ಫ್ಲಕ್ಸ್ಗೇಟ್
5 MEMS ಫ್ಲಕ್ಸ್ಗೇಟ್ನ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್
5.1 ರೋಬೋಟ್‌ಗಳು
5.2 ಪ್ರಸ್ತುತ ಪರೀಕ್ಷೆ
5.3 ಜೈವಿಕ ಕಾಂತೀಯ ಪತ್ತೆ
5.4 ಬಾಹ್ಯಾಕಾಶ ಪರಿಶೋಧನೆ
6 ಉಪಸಂಹಾರ
ತೀರ್ಮಾನದಲ್ಲಿ
ಕಳೆದ ಮೂರು ದಶಕಗಳಲ್ಲಿ, ಫ್ಲಕ್ಸ್‌ಗೇಟ್‌ಗಳು ಚಿಕಣಿಕರಣದಲ್ಲಿ ಉತ್ತಮ ಪ್ರಗತಿಯನ್ನು ಸಾಧಿಸಿವೆ, ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ಶಬ್ದದ ಸಮಸ್ಯೆಗಳು, ಕಡಿಮೆ ಸೂಕ್ಷ್ಮತೆ, ಮತ್ತು ಫ್ಲಕ್ಸ್‌ಗೇಟ್‌ಗಳ ಮಿನಿಯೇಟರೈಸೇಶನ್‌ನಿಂದ ಉಂಟಾದ ದೊಡ್ಡ ತಾಪಮಾನದ ಡ್ರಿಫ್ಟ್ ಅನ್ನು ಸುಧಾರಿಸಲಾಗಿದೆ. MEMS ತಂತ್ರಜ್ಞಾನವು ಪ್ರಸ್ತುತ ಫ್ಲಕ್ಸ್‌ಗೇಟ್‌ಗಳ ಚಿಕಣಿಕರಣದಲ್ಲಿ ಹಾಟ್ ಸ್ಪಾಟ್ ಆಗಿದೆ. MEMS ತಂತ್ರಜ್ಞಾನವನ್ನು ಬಳಸುವ ಫ್ಲಕ್ಸ್‌ಗೇಟ್‌ಗಳು ಸಣ್ಣ ಗಾತ್ರದಂತಹ ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿವೆ, ಕಡಿಮೆ ವೆಚ್ಚ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಏಕೀಕರಣ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ಹೊಂದಾಣಿಕೆ, ಮತ್ತು ಅನೇಕ ಕ್ಷೇತ್ರಗಳಲ್ಲಿ ವ್ಯಾಪಕವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗಿದೆ.
ಭವಿಷ್ಯದಲ್ಲಿ, MEMS ಫ್ಲಕ್ಸ್‌ಗೇಟ್‌ಗಳು ಅವುಗಳ ರಚನೆಯನ್ನು ಇನ್ನಷ್ಟು ಉತ್ತಮಗೊಳಿಸುವ ಅಗತ್ಯವಿದೆ, ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ, ಮ್ಯಾಗ್ನೆಟಿಕ್ ಕೋರ್ ವಸ್ತು, ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಂವೇದನೆಯೊಂದಿಗೆ ಶೋಧಕಗಳನ್ನು ಪಡೆಯಲು ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್ ಹೊಂದಾಣಿಕೆ, ಕಡಿಮೆ ಶಬ್ದ, ಮತ್ತು ಉತ್ತಮ ರಚನಾತ್ಮಕ ಫಿಟ್. ಪ್ರಸ್ತುತ, MEMS ತಂತ್ರಜ್ಞಾನವನ್ನು ಆಧರಿಸಿದ ಎರಡು ಆಯಾಮದ ಫ್ಲಕ್ಸ್ಗೇಟ್ ಸಂವೇದಕ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನವು ಸಾಕಷ್ಟು ಪ್ರಬುದ್ಧವಾಗಿದೆ. MEMS ತಂತ್ರಜ್ಞಾನದ ಅಭಿವೃದ್ಧಿಯೊಂದಿಗೆ ಎಂದು ನಂಬಲಾಗಿದೆ, ಸಂಯೋಜಿತ MEMS ಮೂರು-ಆಕ್ಸಿಸ್ ಫ್ಲಕ್ಸ್ಗೇಟ್ ಸಂವೇದಕವು ದೂರದಲ್ಲಿರಬಾರದು.
