Прагрэс даследаванняў феррозондового датчыка на аснове мікраэлектрамеханічнай сістэмы (МЭМС)

Каманда Чэнь Цзяміна з Акадэміі навук Кітая: Прагрэс даследаванняў феррозондовых датчыкаў на аснове мікраэлектрамеханічных сістэм (МЭМС)

Наступныя артыкулы з рэдакцыі магнітных матэрыялаў і прыбораў, і аўтар з рэдакцыі Магнітнага Часопіса

прадстаўленне каманды

Спадар. Чэнь Цзямін, даследчык ст "Дзяржаўная ключавая лабараторыя сэнсарнай тэхнікі" Інстытута інавацый аэракасмічнай інфармацыі Акадэміі навук Кітая, навуковы кіраўнік дактарантуры, кандыдат ст "Праграма «Сто талентаў»." Кітайскай акадэміі навук, спецыяльны даследчык (зямляцтва) Японскага таварыства садзейнічання навуцы (JSPS), Член таварыства IEEE Magnetics, член Нацыянальнага савета па матэрыялах і прыладах, эксперт групы экспертаў па магнітных матэрыялах.

Электронная нагрузка з рэгуляваным пастаянным токам - зарадны тэстар скарбаў - старэнне модуля разраду - рэзістар хуткай зарадкі і разрадкі

Ён займаўся даследаваннем новых сэнсарных матэрыялаў, магнітныя датчыкі, спінтронная фізіка, матэрыялаў і прыстасаванняў на працягу доўгага часу. Ён старшынстваваў і ўдзельнічаў у Японіі "План прарыўных тэхналогій" праект, Фонд навуковых даследаванняў Японскага таварыства садзейнічання навуцы фундаментальных даследаванняў S-ўзроўню праекта, Праект A-level, Праект B-level, спецыяльны даследчы праект і праект Advanced Storage Technology Association, г.д., і ў цяперашні час адказвае за асноўныя нацыянальныя даследаванні і распрацоўкі. Ёсць шмат навукова-даследчых праектаў, такіх як запланаваны праект маладых навукоўцаў, Праект Нацыянальнага фонду натуральных навук, Праект Пекінскага фонду натуральных навук, Праект талентаў Кітайскай акадэміі навук, Праект па распрацоўцы прыбораў і абсталявання Кітайскай акадэміі навук, і праект, даручаны прадпрыемству.

Электронны модуль для зарадкі скарбаў з рэгуляванай пастаяннай нагрузкай

Кіраўніцтва па артыкулах

Флуксгендавыя датчыкі - гэта тып вектарных магнітных датчыкаў, якія могуць выяўляць слабыя нізкачашчынныя або магнітныя палі пастаяннага току. З-за іх пераваг у дазволе, тэмпературная стабільнасць, дакладнасць і чуласць, яны шырока выкарыстоўваюцца ў магнітнай навігацыі пазіцыянавання, выяўленне прасторы, выяўленне мінералаў, Геамагнітнае выяўленне, выяўленне току і іншыя палі. У мэтах задавальнення новых прыкладанняў мікра-кампанентаў і сістэм, мініяцюрызацыя феррозондовых датчыкаў стала гарачай кропкай даследаванняў феррозондовых датчыкаў датчыкі. Мікраэлектра-механічная сістэма (МЭМС) апрацоўка забяспечвае тэхнічную аснову для мініяцюрызацыі феррозондовых датчыкаў. У гэтым артыкуле абагульняюцца асноўныя прынцыпы феррозондовых датчыкаў, і выкладае гісторыю развіцця тэхналогіі датчыкаў мікрафлюксвента, уключаючы тэхналогію мікраапрацоўкі, Тэхналогія друкаваных плат і тэхналогія MEMS. Працэс распрацоўкі тэхналогіі феррозондавай структуры MEMS і статус распрацоўкі артаганальнай феррозондавай структуры MEMS падведзены, і перспектывы будучых даследаванняў у гэтай галіне.

Ключавыя словы: феррозондовый датчык; МЭМС; магнітнае вымярэнне; прымяненне

1 Уводзіны

Флуксгендавыя датчыкі - гэта клас вектарных магнітных датчыкаў, якія могуць выяўляць слабыя нізкачашчынныя або магнітныя палі пастаяннага току. Традыцыйныя феррозондовыя датчыкі шырока выкарыстоўваюцца ў магнітнай навігацыі, выяўленне прасторы, выяўленне мінералаў, геамагнітнае выяўленне, выяўленне току і іншыя палі дзякуючы іх перавагам у дазволе, тэмпературная стабільнасць, дакладнасць і адчувальнасць. Розныя мікра дроны, партатыўныя прылады, мікраспадарожнікі, датчыкі мікратоку, маленькія электронныя компасы, біямедыцына і іншыя вобласці прымянення маюць больш высокія патрабаванні да якасці, аб'ём, энергаспажыванне і інтэграцыя феррозондов. У мэтах задавальнення новых прыкладанняў мікра-кампанентаў і сістэм, мініяцюрызацыя феррозондовых датчыкаў стала гарачай кропкай даследаванняў феррозондовых датчыкаў.

2 Прынцып і структура цвёрдага феррозонда

паралельны феррозонд - Прагрэс даследаванняў феррозондового датчыка на аснове мікраэлектрамеханічнай сістэмы (МЭМС)

3 Гісторыя мініяцюрызацыі Fluxgate
3.1 Мікрамашынны феррозонд
3.2 Fluxgate PCB
3.3 Флуксгенд MEMS
4 Флуксгейтавыя даследаванні MEMS
4.1 Тэхналогіі
4.2 Структура
4.3 Артаганальны феррозонд
5 Прымяненне MEMS Fluxgate
5.1 Робаты
5.2 Бягучы тэст
5.3 Біямагнітнае выяўленне
5.4 Даследаванне космасу
6 Эпілог

у заключэнне

За апошнія тры дзесяцігоддзі, феррозонды дасягнулі вялікага прагрэсу ў мініяцюрызацыі, і праблемы высокага шуму, нізкая адчувальнасць, і вялікі тэмпературны дрэйф, выкліканы мініяцюрызацыяй феррозондаў, былі палепшаны. Тэхналогія MEMS у цяперашні час з'яўляецца гарачай кропкай у мініяцюрызацыі феррозондов. Феррозонды, якія выкарыстоўваюць тэхналогію MEMS, маюць выдатныя характарыстыкі, такія як малы памер, нізкі кошт, высокая інтэграцыя і высокае адпаведнасць, і шырока выкарыстоўваліся ў многіх галінах.
У будучыні, МЭМС-феррозонды павінны дадаткова аптымізаваць сваю структуру, вытворчы працэс, матэрыял магнітнага стрыжня, і супастаўленне ланцугоў для атрымання зондаў з больш высокай адчувальнасцю, больш нізкі ўзровень шуму, і лепшая канструктыўная адпаведнасць. Зараз, тэхналогія двухмернага феррозондового датчыка, заснаваная на тэхналогіі MEMS, з'яўляецца даволі спелай. Лічыцца, што з развіццём тэхналогіі MEMS, убудаваны трохвосевы феррозондовый датчык MEMS не павінен знаходзіцца далёка.