Rannsóknarframvinda Fluxgate skynjara byggt á ör rafvélakerfi (MEMS)

Lið Chen Jiamin frá kínversku vísindaakademíunni: Rannsóknarframfarir á fluxgate skynjara sem byggjast á örrafmagnískum kerfum (MEMS)

Eftirfarandi greinar eru frá ritstjórn segulefna og tækja, og höfundur er frá ritstjórn Magnetic Journal

lið kynning

herra. Chen Jiamin, rannsakandi á "Lykilrannsóknarstofa ríkisins í skynjunartækni" frá Aerospace Information Innovation Institute of the Chinese Academy of Sciences, doktorsleiðbeinandi, frambjóðandi í "Hundrað hæfileikaáætlun" frá kínversku vísindaakademíunni, sérstakur rannsóknarmaður (félagsskapur) frá Japan Society for the Promotion of Science (JSPS), IEEE Magnetics Meðlimur í félaginu, meðlimur í National Council of Materials and Devices Sérfræðingur í sérfræðihópi segulefna.

Stillanleg rafeindaálag með stöðugum straumi - hleðslu fjársjóðsprófari - öldrunarútskriftareining - hraðhleðslu- og afhleðsluviðnám

Hann hefur tekið þátt í rannsóknum á nýjum skynjunarefnum, segulmagnaðir skynjarar, spintronic eðlisfræði, efni og tæki í langan tíma. Hann hefur stýrt og tekið þátt í Japan "Truflandi tækninýsköpunaráætlun" verkefni, Japan Society for the Promotion of Science, vísindarannsóknarsjóður grunnrannsókna S-stigi verkefni, A-stigi verkefni, B-stigi verkefni, sérstakt rannsóknarverkefni og verkefni Advanced Storage Technology Association, o.s.frv., og er nú í forsvari fyrir innlendar lykilrannsóknir og þróun. Það eru mörg vísindarannsóknarverkefni eins og fyrirhugað verkefni ungra vísindamanna, National Natural Science Foundation verkefni, Beijing Natural Science Foundation verkefni, Hæfileikaverkefni Kínverska vísindaakademíunnar, Kínverska vísindaakademían þróunarverkefni tækja og búnaðarvirkni, og fyrirtæki falið verkefni.

Stillanleg stöðug straum rafræn hleðsla fjársjóðsprófunareining

Greinarleiðbeiningar

Fluxgate skynjarar eru tegund af vektor segulskynjara sem geta greint veik lágtíðni eða DC segulsvið. Vegna kosta þeirra í upplausn, hitastöðugleiki, nákvæmni og næmni, þau eru mikið notuð í segulleiðsögustaðsetningu, rýmisgreining, uppgötvun steinefna, Jarðsegulgreining, straumgreining og önnur svið. Til að mæta nýjum forritum öríhluta og kerfa, smæðing fluxgate skynjara hefur orðið að rannsóknarreitur fluxgate skynjara. Ör-raf vélrænt kerfi (MEMS) vinnsla veitir tæknilegan grundvöll fyrir smæðun fluxgate skynjara. Þessi grein dregur saman grundvallarreglur fluxgate skynjara, og útskýrir þróunarsögu micro-fluxgate skynjara tækni, þar á meðal örvinnslutækni, PCB tækni og MEMS tækni. Þróunarferli MEMS fluxgate uppbyggingu tækni og þróunarstaða MEMS hornrétta fluxgate eru teknar saman, og er horft til framtíðarrannsókna á þessu sviði.

Lykilorð: fluxgate skynjari; MEMS; segulmæling; umsókn

1 Kynning

Fluxgate skynjarar eru flokkur vektor segulskynjara sem geta greint veik lágtíðni eða DC segulsvið. Hefðbundnir fluxgate skynjarar eru mikið notaðir í segulleiðsögustaðsetningu, rýmisgreining, uppgötvun steinefna, jarðsegulgreining, straumskynjun og önnur svið vegna kosta þeirra í upplausn, hitastöðugleiki, nákvæmni og næmni. Ýmsir ördrónar, lófatæki, ör gervihnöttum, örstraumsskynjarar, litlir rafrænir áttavitar, líflæknisfræði og önnur notkunarsvið gera meiri kröfur um gæði, bindi, orkunotkun og samþættingu fluxgates. Til að mæta nýjum forritum öríhluta og kerfa, smæðing fluxgate skynjara hefur orðið að rannsóknarsvæði fluxgate skynjara.

2 Meginregla og uppbygging solid fluxgate

samhliða fluxgate - Rannsóknarframvinda Fluxgate skynjara byggt á ör rafvélakerfi (MEMS)

3 Fluxgate smækkunarsaga
3.1 Örvélað Fluxgate
3.2 PCB Fluxgate
3.3 MEMS Fluxgate
4 MEMS Fluxgate rannsóknir
4.1 Tækni
4.2 Uppbygging
4.3 Orthogonal Fluxgate
5 Umsókn um MEMS Fluxgate
5.1 Vélmenni
5.2 Núverandi próf
5.3 Lífsegulgreining
5.4 Geimskoðun
6 Eftirmáli

að lokum

Undanfarna þrjá áratugi, fluxgates hafa tekið miklum framförum í smæðun, og vandamálin með miklum hávaða, lágt næmi, og mikið hitastig sem orsakast af smæðingu flæðigátta hefur verið bætt. MEMS tæknin er um þessar mundir heitur reitur í smæðun fluxgates. Fluxgates sem nota MEMS tækni hafa framúrskarandi eiginleika eins og smæð, lítill kostnaður, mikil samþætting og mikil samsvörun, og hafa verið mikið notaðar á mörgum sviðum.
Í framtíðinni, MEMS fluxgates þurfa að fínstilla uppbyggingu þeirra enn frekar, framleiðsluferli, segulkjarna efni, og hringrásarsamsvörun til að fá rannsaka með hærra næmi, minni hávaði, og betri burðarvirki passa. Sem stendur, tvívíddar fluxgate skynjaratæknin sem byggir á MEMS tækni er nokkuð þroskuð. Það er talið að með þróun MEMS tækni, innbyggði MEMS þriggja ása fluxgate skynjarinn ætti ekki að vera langt í burtu.