Investigationis Progressus Fluxgate Sensorem Ex Micro Electro Mechanica System (MEMS)

Manipulus Chen Jiamin ex Academia Scientiarum Sinensis: Progressus investigationis in sensoriis fluxgatis secundum systemata microelectromechanical (MEMS)

Articuli sequentes sunt ab editorial Dicasterii magneticae materiarum et machinarum, et auctor est ab editorial Dicasterii Magnetic Journal

quadrigis introductio

Dominus. Chen Jiamin, indagator "Publica Key Laboratorium Sensus Technologiae" of the Aerospace Information Innovatio Instituti Academiae Scientiarum Sinensis, doctoralis supervisoris, candidatum "Centum talenta Program" Academiae Scientiarum Sinensium, specialis researcher (societas) Societas Iaponiae ad promotionem Scientiae (JSPS), IEEE Magnetics Sodalis societatis, membrum Consilii Nationalis Materiarum et Machinarum Magneticarum Materiarum Peritus Group expert.

Product assidue current electronic onus - praecipiens thesaurum robustum - canus missionem moduli - ieiunium crimen missionem resistor

In investigationibus novarum materiarum sensibilium versatus est, magneticae sensoriis, spintronic Physica, materiae ac machinas diu. Praesedit et particeps fuit Iaponiae "Disruptive Technology Innovation Plan" project, Societas Iaponia ad promotionem investigationis scientificae inquisitionis fundus fundamentalis investigationis S-level project, A-gradu project, B-gradu project, speciale indagator project et Advanced At technologiae Associationis project, etc., et nunc in custodia nationalis clavium investigationis et evolutionis Praeest Multae investigationis scientificae incepta, quae iuvenum phisicam instituunt, National Natural Science Foundation project, Beijing Naturalis Scientiae Foundation project, Seres talentum Academiae Scientiarum, Sinica Academia Scientiarum instrumento et instrumento evolutionis functionis, et inceptum commissum project.

Adjustable constant current electronic onus praecipientes probator moduli thesauri

Articulus dux

Sensoriis fluxgate sunt species vectoris sensoriis magneticis, quae deprehendere possunt humilem frequentiam vel DC campis magneticis.. Propter utilitates suas in proposito, temperatus stabilitatem, subtilitatem et sensum, sunt late in magnetica navigatione positioning, spatium deprehensio, mineralis deprehensio, Deprehensio geomagnetica, vena deprehensio et aliis agris. Ut occurrant applicationes micro-componentium et systematum emergentium, minuaturizatio sensoriis fluxgati facta est investigatio hotspot fluxgate sensoriis. Micro-electro-mechanicas (MEMS) processus praebet technicum fundamentum ad minuendum fluxgate sensoriis. Haec charta praecipua principia sensoriis fluxgatae compendiat, et explicat progressionem historicam technologiarum micro-fluxgate sensorem, comprehendo micromachining technology, PCB technology et MEMS technology. Processus evolutionis mems structurae technologiae fluxgatae et status evolutionis MEMS fluxgati orthogonalis perstringuntur, et futurae investigationis focus in hoc campo exspectatur.

Clavis verba: fluxgate sensorem; MEMS; magneticae mensurae; application

1 Introductio

Fluxgate sensoriis sunt genus vectoris sensoriis magnetici, qui debiles humilis frequentiam vel DC agros magneticos deprehendere possunt.. Sensoriis fluxgatis traditio late adhibetur in positionibus navigationis magneticae, spatium deprehensio, mineralis deprehensio, geomagnetic deprehendatur, current deprehensio et aliis agris ob utilitates suas in proposito, temperatus stabilitatem, subtilitas ac sensus. Varii Micro fuci, cogitationes handheld, Micro satellites, Micro current sensoriis, parva electronic circini, biomedicina et aliae applicationes agrorum habent altiora requisita pro qualitate, magnitudo, potentia consummatio et integratio fluxgatorum. Ut occurrant applicationes micro-componentium et systematum emergentium, minuaturizatio sensoriis fluxgati facta est investigatio hotspot de sensoriis fluxgatis.

2 Principium ac structura fluxgate solidi

parallel fluxgate - Investigationis Progressus Fluxgate Sensorem Ex Micro Electro Mechanica System (MEMS)

3 Fluxgate miniaturization history
3.1 Micromachined Fluxgate
3.2 PCB Fluxgate
3.3 MEMS Fluxgate
4 MEMS Fluxgate Research
4.1 Technology
4.2 Structure
4.3 Orthogonale Fluxgate
5 Applicationem MEMS Fluxgate
5.1 Robots
5.2 Current Test
5.3 Deprehensio biomagnetica
5.4 Spatium Explorationis
6 Epilogus

finitione

Super praeteritum tria decennia, fluxgates magnas progressus fecerunt in miniaturization, quaestiones magno strepitu, humilis sensus, et magna temperatura calliditate causata per minuaturizationem fluxgatorum emendatis. MEMS technologia in loco calido in minuaturizatione fluxgatorum est. MEMS technologiae fluxgates utens praeclaras notas habent ut parvae magnitudinis, Sumptus parvus, princeps integration et princeps matching, et late in multis agris.
In futuro, MEMS fluxgates necesse est ulterius structuram suam optimize, processus vestibulum, core materia magnetica, circuituque adaptare speculatur superiorum sensus obtinere, Infra sonitus, ac magis structurarum fit. Hoc tempore, sensorem fluxgate dimensiva duo technologia secundum MEMS technologia satis matura. Creditur cum evolutione MEMS technologiae, MEMS integrati tres-axis sensoris fluxgati non longe absunt.