Progresi i kërkimit të sensorit Fluxgate Bazuar në Sistemin Mikro Elektro Mekanik (MEMS)

Ekipi i Chen Jiamin nga Akademia Kineze e Shkencave: Progresi i kërkimit mbi sensorët e fluksit të bazuar në sistemet mikroelektromekanike (MEMS)

Artikujt e mëposhtëm janë nga departamenti i redaksisë së materialeve dhe pajisjeve magnetike, dhe autori është nga departamenti i redaksisë së Magnetic Journal

prezantimi i ekipit

Zoti. Chen Jiamin, studiues i "Laboratori Shtetëror i Teknologjisë së Ndjesisë" i Institutit të Inovacionit të Informacionit Hapësinor Ajror të Akademisë Kineze të Shkencave, një mbikëqyrës doktorature, një kandidat i "Programi i njëqind talenteve" të Akademisë Kineze të Shkencave, një studiues i veçantë (shoqëri) të Shoqatës Japoneze për Promovimin e Shkencës (JSPS), IEEE Magnetics Anëtar i shoqërisë, anëtar i Këshillit Kombëtar të Materialeve dhe Pajisjeve Ekspertë të Grupit të Ekspertëve të Materialeve Magnetike.

Ngarkesa elektronike e rregullueshme me rrymë konstante - karikimi i testuesit të thesarit - moduli i shkarkimit të plakjes - rezistenca e ngarkimit dhe shkarkimit të shpejtë

Ai ka qenë i angazhuar në kërkimin e materialeve të reja ndijuese, sensorë magnetikë, fizika spintronike, materiale dhe pajisje për një kohë të gjatë. Ai ka kryesuar dhe ka marrë pjesë në Japoni "Plani përçarës i inovacionit të teknologjisë" projekti, Projekti i fondit të kërkimit themelor në nivel S të Shoqërisë Japoneze për Promovimin e Shkencës, Projekti i nivelit A, Projekti i nivelit B, projekti i posaçëm i studiuesve dhe projekti i Shoqatës së Teknologjisë së Avancuar të Storage, etj., dhe aktualisht është përgjegjës për kërkimin dhe zhvillimin kyç kombëtar Ka shumë projekte kërkimore shkencore si projekti i planifikuar për shkencëtarët e rinj, Projekti i Fondacionit Kombëtar të Shkencave të Natyrës, Projekti i Fondacionit të Shkencave Natyrore të Pekinit, Projekti i talenteve të Akademisë Kineze të Shkencave, Projekti i zhvillimit të funksionit të instrumenteve dhe pajisjeve të Akademisë Kineze të Shkencave, dhe projekti i besuar i ndërmarrjes.

Moduli kontrollues i thesarit i ngarkimit elektronik me rrymë konstante të rregullueshëm

Udhëzues artikulli

Sensorët Fluxgate janë një lloj sensorësh magnetikë vektorë që mund të zbulojnë fusha magnetike të dobëta me frekuencë të ulët ose DC. Për shkak të avantazheve të tyre në zgjidhje, stabiliteti i temperaturës, saktësinë dhe ndjeshmërinë, ato përdoren gjerësisht në pozicionimin e lundrimit magnetik, zbulimi i hapësirës, zbulimi i mineraleve, Zbulimi gjeomagnetik, zbulimi aktual dhe fusha të tjera. Për të përmbushur aplikacionet e reja të mikro-komponentëve dhe sistemeve, Miniaturizimi i sensorëve fluxgate është bërë një pikë e nxehtë kërkimore e fluxgate sensorë. Sistemi mikro-elektro-mekanik (MEMS) përpunimi ofron një bazë teknike për miniaturizimin e sensorëve të fluksit. Ky punim përmbledh parimet bazë të sensorëve të fluksit, dhe shpjegon historinë e zhvillimit të teknologjisë së sensorëve mikro-fluxgate, duke përfshirë teknologjinë e mikropërpunimit, Teknologjia PCB dhe teknologjinë MEMS. Procesi i zhvillimit të teknologjisë së strukturës MEMS fluxgate dhe statusi i zhvillimit të MEMS fluxgate ortogonal janë përmbledhur, dhe synohet fokusimi i ardhshëm i kërkimit në këtë fushë.

Fjalë kyçe: sensori i fluksit; MEMS; matje magnetike; aplikacion

1 Prezantimi

Sensorët Fluxgate janë një klasë e sensorëve magnetikë vektorë që mund të zbulojnë fusha magnetike të dobëta me frekuencë të ulët ose DC. Sensorët tradicionalë të fluksit përdoren gjerësisht në pozicionimin e navigimit magnetik, zbulimi i hapësirës, zbulimi i mineraleve, zbulimi gjeomagnetik, zbulimi aktual dhe fusha të tjera për shkak të avantazheve të tyre në rezolucion, stabiliteti i temperaturës, saktësi dhe ndjeshmëri. Mikro dronë të ndryshëm, pajisje dore, mikro satelitë, sensorë mikro rrymë, busulla të vogla elektronike, biomjekësia dhe fushat e tjera të aplikimit kanë kërkesa më të larta për cilësinë, vëllimi, konsumi i energjisë dhe integrimi i fluksgates. Për të përmbushur aplikacionet e reja të mikro-komponentëve dhe sistemeve, Miniaturizimi i sensorëve fluxgate është bërë një pikë e nxehtë kërkimore e sensorëve të fluxgate.

2 Parimi dhe struktura e fluksit të ngurtë

fluxgate paralele - Progresi i kërkimit të sensorit Fluxgate Bazuar në Sistemin Mikro Elektro Mekanik (MEMS)

3 Historia e miniaturizimit të Fluxgate
3.1 Fluxgate me mikromakinë
3.2 PCB Fluxgate
3.3 MEMS Fluxgate
4 Kërkimi MEMS Fluxgate
4.1 Teknologjia
4.2 Struktura
4.3 Fluxporta ortogonale
5 Aplikimi i MEMS Fluxgate
5.1 Robotët
5.2 Testi aktual
5.3 Zbulimi biomagnetik
5.4 Eksplorimi i Hapësirës
6 Epilogu

në përfundim

Gjatë tre dekadave të fundit, fluxgates kanë bërë përparim të madh në miniaturizimin, dhe problemet e zhurmës së lartë, ndjeshmëri e ulët, dhe zhvendosja e madhe e temperaturës e shkaktuar nga miniaturizimi i portave të rrjedhës janë përmirësuar. Teknologjia MEMS është aktualisht një pikë e nxehtë në miniaturizimin e fluxgates. Fluxgates duke përdorur teknologjinë MEMS kanë karakteristika të shkëlqyera si përmasat e vogla, çmim i ulët, integrim i lartë dhe përputhje e lartë, dhe janë përdorur gjerësisht në shumë fusha.
Në të ardhmen, MEMS fluxgates duhet të optimizojnë më tej strukturën e tyre, procesi i prodhimit, materiali i bërthamës magnetike, dhe përputhjen e qarkut për të marrë sonda me ndjeshmëri më të lartë, zhurmë më e ulët, dhe përshtatje më të mirë strukturore. Aktualisht, teknologjia dydimensionale e sensorit të fluksit të bazuar në teknologjinë MEMS është mjaft e pjekur. Besohet se me zhvillimin e teknologjisë MEMS, sensori i integruar i fluksit me tre boshte MEMS nuk duhet të jetë larg.