Mikro Elektro Mekanik Sisteme Dayalı Fluxgate Sensörünün Araştırma İlerlemesi (MEMS)

Chen Jiamin'in Çin Bilimler Akademisi'nden ekibi: Mikroelektromekanik sistemlere dayalı fluxgate sensörlerinde araştırma ilerlemesi (MEMS)

Aşağıdaki makaleler manyetik malzeme ve cihazların editör departmanından alınmıştır., ve yazar Magnetic Journal'ın yazı işleri bölümündendir.

ekip tanıtımı

Bay. Chen Jiamin, araştırmacısı "Eyalet Anahtar Algılama Teknolojisi Laboratuvarı" Çin Bilimler Akademisi Havacılık ve Uzay Enformasyon İnovasyon Enstitüsü'nün, doktora danışmanı, bir aday "Yüz Yetenek Programı" Çin Bilimler Akademisi'nin, özel bir araştırmacı (kardeşlik) Japonya Bilimi Teşvik Derneği'nin (JSPS), IEEE Magnetics Topluluğun Üyesi, Ulusal Malzeme ve Cihaz Konseyi üyesi Manyetik Malzemeler Uzman Grubu uzmanı.

Ayarlanabilir sabit akım elektronik yükü - şarj hazine test cihazı - yaşlanma deşarj modülü - hızlı şarj ve deşarj direnci

Yeni algılama malzemelerinin araştırmasıyla meşgul olmuştur., manyetik sensörler, spintronik fizik, malzeme ve cihazlar uzun süre. Japonya'nın başkanlığını yaptı ve katıldı. "Yıkıcı Teknoloji İnovasyon Planı" proje, Japonya Bilimi Teşvik Derneği bilimsel araştırma fonu temel araştırma S-seviyesi projesi, A düzeyinde proje, B düzeyinde proje, özel araştırmacı projesi ve Advanced Storage Technology Association projesi, vesaire., ve şu anda ulusal anahtar araştırma ve geliştirmeden sorumlu, planlanan genç bilim insanı projesi gibi birçok bilimsel araştırma projesi var., Ulusal Doğa Bilimleri Vakfı projesi, Pekin Doğa Bilimleri Vakfı projesi, Çin Bilimler Akademisi yetenek projesi, Çin Bilimler Akademisi enstrüman ve ekipman fonksiyon geliştirme projesi, ve kurumsal emanet projesi.

Ayarlanabilir sabit akım elektronik yük şarjlı hazine test cihazı modülü

Makale kılavuzu

Fluxgate sensörleri, zayıf düşük frekanslı veya DC manyetik alanları algılayabilen bir tür vektör manyetik sensördür.. Çözünürlükteki avantajlarından dolayı, sıcaklık kararlılığı, doğruluk ve hassasiyet, manyetik navigasyon konumlandırmasında yaygın olarak kullanılırlar, boşluk algılama, mineral tespiti, jeomanyetik algılama, akım algılama ve diğer alanlar. Ortaya çıkan mikro bileşen ve sistem uygulamalarını karşılamak için, fluxgate sensörlerinin minyatürleştirilmesi, fluxgate'in araştırma sıcak noktası haline geldi sensörler. Mikro-elektro-mekanik Sistem (MEMS) işleme, fluxgate sensörlerinin minyatürleştirilmesi için teknik bir temel sağlar. Bu makale, fluxgate sensörlerinin temel ilkelerini özetlemektedir., ve mikro fluxgate sensör teknolojisinin gelişim geçmişini açıklıyor, mikro işleme teknolojisi dahil, PCB teknolojisi ve MEMS teknolojisi. MEMS fluxgate yapı teknolojisinin geliştirme süreci ve MEMS ortogonal fluxgate'in geliştirme durumu özetlenmiştir., ve bu alanda gelecekteki araştırma odağı bekleniyor.

anahtar kelimeler: fluxgate sensörü; MEMS; manyetik ölçüm; başvuru

1 giriiş

Fluxgate sensörleri, zayıf düşük frekanslı veya DC manyetik alanları algılayabilen bir vektör manyetik sensör sınıfıdır.. Geleneksel fluxgate sensörleri, manyetik navigasyon konumlandırmasında yaygın olarak kullanılmaktadır., boşluk algılama, mineral tespiti, jeomanyetik algılama, çözünürlükteki avantajları nedeniyle akım tespiti ve diğer alanlar, sıcaklık kararlılığı, kesinlik ve hassasiyet. Çeşitli mikro dronlar, el cihazları, mikro uydular, mikro akım sensörleri, küçük elektronik pusulalar, biyotıp ve diğer uygulama alanlarının kalite için daha yüksek gereksinimleri vardır., hacim, güç tüketimi ve akış kapılarının entegrasyonu. Ortaya çıkan mikro bileşen ve sistem uygulamalarını karşılamak için, fluxgate sensörlerinin minyatürleştirilmesi, fluxgate sensörlerinin araştırma noktası haline geldi.

2 Katı fluxgate prensibi ve yapısı

paralel akış kapısı - Mikro Elektro Mekanik Sisteme Dayalı Fluxgate Sensörünün Araştırma İlerlemesi (MEMS)

3 Fluxgate minyatürleştirme geçmişi
3.1 Mikro işlenmiş Fluxgate
3.2 PCB Fluxgate
3.3 MEMS Fluxgate
4 MEMS Fluxgate Araştırması
4.1 teknoloji
4.2 Yapı
4.3 Ortogonal Fluxgate
5 MEMS Fluxgate uygulaması
5.1 robotlar
5.2 Şimdiki test
5.3 biyomanyetik algılama
5.4 Uzay araştırması
6 sonsöz

Sonuç olarak

Son otuz yılda, Fluxgate'ler minyatürleştirmede büyük ilerleme kaydetti, ve yüksek gürültü sorunları, düşük hassasiyet, ve akış kapılarının minyatürleştirilmesinden kaynaklanan büyük sıcaklık kayması iyileştirildi. MEMS teknolojisi şu anda fluxgate'lerin minyatürleştirilmesinde önemli bir noktadır.. MEMS teknolojisini kullanan fluxgate'ler, küçük boyut gibi mükemmel özelliklere sahiptir., düşük maliyetli, yüksek entegrasyon ve yüksek eşleştirme, ve birçok alanda yaygın olarak kullanılmaktadır..
Gelecekte, MEMS akış kapılarının yapılarını daha da optimize etmesi gerekiyor, üretim süreci, manyetik çekirdek malzemesi, ve daha yüksek hassasiyete sahip problar elde etmek için devre eşleştirme, daha düşük gürültü, ve daha iyi yapısal uyum. Şu anda, MEMS teknolojisine dayalı iki boyutlu fluxgate sensör teknolojisi oldukça olgunlaşmıştır.. MEMS teknolojisinin gelişmesiyle birlikte olduğuna inanılmaktadır., entegre MEMS üç eksenli fluxgate sensörü çok uzakta olmamalıdır.