माइक्रो इलेक्ट्रो मैकेनिकल सिस्टम पर आधारित फ्लक्सगेट सेंसर की अनुसंधान प्रगति (एमईएमएस)
चीनी विज्ञान अकादमी से चेन जियामिन की टीम: माइक्रोइलेक्ट्रोमैकेनिकल सिस्टम पर आधारित फ्लक्सगेट सेंसर पर अनुसंधान प्रगति (एमईएमएस)
निम्नलिखित लेख चुंबकीय सामग्री और उपकरणों के संपादकीय विभाग से हैं, और लेखक मैग्नेटिक जर्नल के संपादकीय विभाग से हैं
टीम परिचय
श्री. चेन जियामिन, के शोधकर्ता "सेंसिंग टेक्नोलॉजी की राज्य प्रमुख प्रयोगशाला" चीनी विज्ञान अकादमी के एयरोस्पेस सूचना नवाचार संस्थान के, एक डॉक्टरेट पर्यवेक्षक, का एक उम्मीदवार "सौ प्रतिभा कार्यक्रम" चीनी विज्ञान अकादमी के, एक विशेष शोधकर्ता (अध्येतावृत्ति) विज्ञान को बढ़ावा देने के लिए जापान सोसायटी की (जेएसपीएस), आईईईई मैग्नेटिक्स सोसायटी के सदस्य, राष्ट्रीय सामग्री और उपकरण परिषद के सदस्य चुंबकीय सामग्री विशेषज्ञ समूह विशेषज्ञ.
समायोज्य निरंतर वर्तमान इलेक्ट्रॉनिक लोड - खजाना परीक्षक चार्ज करना - एजिंग डिस्चार्ज मॉड्यूल - तेज़ चार्ज और डिस्चार्ज अवरोधक
वह नई संवेदी सामग्रियों के अनुसंधान में लगे हुए हैं, चुंबकीय सेंसर, स्पिंट्रोनिक भौतिकी, लंबे समय तक सामग्री और उपकरण. उन्होंने जापान की अध्यक्षता की और उसमें भाग लिया "विघटनकारी प्रौद्योगिकी नवाचार योजना" परियोजना, जापान सोसायटी फॉर द प्रमोशन ऑफ साइंस का वैज्ञानिक अनुसंधान फंड बुनियादी अनुसंधान एस-लेवल प्रोजेक्ट, ए-स्तरीय परियोजना, बी-स्तरीय परियोजना, विशेष शोधकर्ता परियोजना और उन्नत भंडारण प्रौद्योगिकी एसोसिएशन परियोजना, वगैरह।, और वर्तमान में राष्ट्रीय प्रमुख अनुसंधान और विकास के प्रभारी हैं, कई वैज्ञानिक अनुसंधान परियोजनाएं हैं जैसे कि नियोजित युवा वैज्ञानिक परियोजना, राष्ट्रीय प्राकृतिक विज्ञान फाउंडेशन परियोजना, बीजिंग प्राकृतिक विज्ञान फाउंडेशन परियोजना, चीनी विज्ञान अकादमी प्रतिभा परियोजना, चीनी विज्ञान अकादमी उपकरण और उपकरण फ़ंक्शन विकास परियोजना, और उद्यम को सौंपी गई परियोजना.
एडजस्टेबल निरंतर वर्तमान इलेक्ट्रॉनिक लोड चार्जिंग खजाना परीक्षक मॉड्यूल
आलेख मार्गदर्शिका
फ्लक्सगेट सेंसर एक प्रकार के वेक्टर चुंबकीय सेंसर हैं जो कमजोर कम आवृत्ति या डीसी चुंबकीय क्षेत्र का पता लगा सकते हैं. रिज़ॉल्यूशन में उनके फायदे के कारण, तापमान स्थिरता, सटीकता और संवेदनशीलता, इनका व्यापक रूप से चुंबकीय नेविगेशन स्थिति में उपयोग किया जाता है, अंतरिक्ष का पता लगाना, खनिज का पता लगाना, भू-चुंबकीय पहचान, वर्तमान पहचान और अन्य क्षेत्र. सूक्ष्म घटकों और प्रणालियों के उभरते अनुप्रयोगों को पूरा करने के लिए, फ्लक्सगेट सेंसर का लघुकरण फ्लक्सगेट का एक अनुसंधान हॉटस्पॉट बन गया है सेंसर. माइक्रो-इलेक्ट्रो-मैकेनिकल सिस्टम (एमईएमएस) प्रसंस्करण फ्लक्सगेट सेंसर के लघुकरण के लिए एक तकनीकी आधार प्रदान करता है. यह पेपर फ्लक्सगेट सेंसर के बुनियादी सिद्धांतों का सारांश प्रस्तुत करता है, और माइक्रो-फ्लक्सगेट सेंसर प्रौद्योगिकी के विकास के इतिहास को उजागर करता है, माइक्रोमशीनिंग प्रौद्योगिकी सहित, पीसीबी प्रौद्योगिकी और एमईएमएस प्रौद्योगिकी. एमईएमएस फ्लक्सगेट संरचना प्रौद्योगिकी की विकास प्रक्रिया और एमईएमएस ऑर्थोगोनल फ्लक्सगेट की विकास स्थिति को संक्षेप में प्रस्तुत किया गया है, और इस क्षेत्र में भविष्य में अनुसंधान पर ध्यान केंद्रित करने की संभावना है.
मुख्य शब्द: फ्लक्सगेट सेंसर; एमईएमएस; चुंबकीय माप; आवेदन
1 परिचय
फ्लक्सगेट सेंसर वेक्टर चुंबकीय सेंसर का एक वर्ग है जो कमजोर कम आवृत्ति या डीसी चुंबकीय क्षेत्र का पता लगा सकता है. पारंपरिक फ़्लक्सगेट सेंसर का व्यापक रूप से चुंबकीय नेविगेशन स्थिति में उपयोग किया जाता है, अंतरिक्ष का पता लगाना, खनिज का पता लगाना, भू-चुंबकीय पहचान, रिज़ॉल्यूशन में उनके फायदे के कारण वर्तमान पहचान और अन्य क्षेत्र, तापमान स्थिरता, परिशुद्धता और संवेदनशीलता. विभिन्न सूक्ष्म ड्रोन, हाथ से चलने वाले उपकरण, सूक्ष्म उपग्रह, माइक्रो करंट सेंसर, छोटे इलेक्ट्रॉनिक कम्पास, बायोमेडिसिन और अन्य अनुप्रयोग क्षेत्रों में गुणवत्ता की उच्च आवश्यकताएं हैं, आयतन, बिजली की खपत और फ्लक्सगेट्स का एकीकरण. सूक्ष्म घटकों और प्रणालियों के उभरते अनुप्रयोगों को पूरा करने के लिए, फ्लक्सगेट सेंसर का लघुकरण फ्लक्सगेट सेंसर का एक अनुसंधान हॉटस्पॉट बन गया है.
2 ठोस फ्लक्सगेट का सिद्धांत और संरचना
समानांतर फ्लक्सगेट - माइक्रो इलेक्ट्रो मैकेनिकल सिस्टम पर आधारित फ्लक्सगेट सेंसर की अनुसंधान प्रगति (एमईएमएस)
3 फ्लक्सगेट लघुकरण इतिहास
3.1 माइक्रोमशीनीकृत फ्लक्सगेट
3.2 पीसीबी फ्लक्सगेट
3.3 एमईएमएस फ्लक्सगेट
4 एमईएमएस फ्लक्सगेट अनुसंधान
4.1 तकनीकी
4.2 संरचना
4.3 ऑर्थोगोनल फ्लक्सगेट
5 एमईएमएस फ्लक्सगेट का अनुप्रयोग
5.1 रोबोटों
5.2 वर्तमान परीक्षण
5.3 बायोमैग्नेटिक डिटेक्शन
5.4 अंतरिक्ष की खोज
6 उपसंहार
निष्कर्ष के तौर पर
पिछले तीन दशकों में, फ्लक्सगेट्स ने लघुकरण में काफी प्रगति की है, और उच्च शोर की समस्याएँ, कम संवेदनशीलता, और फ्लक्सगेट्स के लघुकरण के कारण होने वाले बड़े तापमान बहाव में सुधार किया गया है. एमईएमएस तकनीक वर्तमान में फ्लक्सगेट्स के लघुकरण में एक हॉट स्पॉट है. एमईएमएस तकनीक का उपयोग करने वाले फ्लक्सगेट्स में छोटे आकार जैसी उत्कृष्ट विशेषताएं हैं, कम लागत, उच्च एकीकरण और उच्च मिलान, और कई क्षेत्रों में व्यापक रूप से उपयोग किया गया है.
भविष्य में, एमईएमएस फ्लक्सगेट्स को अपनी संरचना को और अधिक अनुकूलित करने की आवश्यकता है, निर्माण प्रक्रिया, चुंबकीय कोर सामग्री, और उच्च संवेदनशीलता वाली जांच प्राप्त करने के लिए सर्किट मिलान, कम शोर, और बेहतर संरचनात्मक फिट. वर्तमान में, एमईएमएस तकनीक पर आधारित द्वि-आयामी फ्लक्सगेट सेंसर तकनीक काफी परिपक्व है. ऐसा माना जाता है कि एमईएमएस प्रौद्योगिकी के विकास के साथ, एकीकृत एमईएमएस तीन-अक्ष फ्लक्सगेट सेंसर अधिक दूर नहीं होना चाहिए.
