Раванди тадқиқоти сенсори Fluxgate дар асоси системаи микроэлектромеханикӣ (MEMS)

Гурӯҳи Чен Ҷиамин аз Академияи илмҳои Чин: Пешрафти тадқиқот оид ба сенсорҳои флюсгейт дар асоси системаҳои микроэлектромеханикӣ (MEMS)

Маколахои зерин аз редакциям материалхо ва асбобхои магнитй, ва муаллиф аз шӯъбаи таҳририяи Маҷаллаи Magnetic

муаррифии даста

Ҷаноб. Чен Ҷиамин, муҳаққиқи ш "Лабораторияи асосии давлатии технологияи ҳассос" Институти инноватсияи иттилоотии аэрокосмосии Академияи илмҳои Чин, рохбари докторй, номзади "Барномаи «Сад истеъдод»." Академияи илмҳои Хитой, муҳаққиқи махсус (шарикӣ) Чамъияти Япония оид ба пропагандаи илм (JSPS), IEEE Magnetics узви ҷомеа, узви Шӯрои миллии мавод ва дастгоҳҳои коршиноси гурӯҳи маводи магнитӣ.

Сарбории электронии ҷорӣ доимии танзимшаванда - пуркунандаи санҷиши хазина - модули разряди пиршавӣ - муқовимати барқ ва холӣ зуд

Вай бо тадкики материалхои нави хискунанда машгул аст, сенсорҳои магнитӣ, физикаи спинтронӣ, масолеху дастгоххо ба муддати дароз. Вай дар Япония сарварй карда, иштирок дошт "Нақшаи инноватсионии технологияҳои вайронкунанда" лоиҳа, Лоиҳаи Фонди тадқиқоти илмии Ҷамъияти Пешбурди Илми Ҷопон оид ба тадқиқоти асосии сатҳи S, Лоиҳаи дараҷаи А, Лоиҳаи дараҷаи B, лоиҳаи махсуси тадқиқотӣ ва лоиҳаи Ассотсиатсияи технологияҳои нигаҳдории пешрафта, ва гайра., ва дар айни замон масъули тадқиқот ва таҳияи калидии миллӣ мебошад, ки лоиҳаҳои зиёди тадқиқоти илмӣ мавҷуданд, аз қабили лоиҳаи ба нақша гирифташудаи олими ҷавон, Лоиҳаи Бунёди Миллии Илмҳои Табиатшиносӣ, Лоиҳаи Бунёди илмҳои табиатшиносии Пекин, Лоиҳаи истеъдодҳои Академияи илмҳои Чин, Лоиҳаи рушди функсияҳои асбобҳо ва таҷҳизотҳои Академияи илмҳои Чин, ва лоињаи бовариноки корхона.

Модули санҷиши ганҷинаи пуркунандаи сарбории электронии доимии танзимшаванда

Дастури мақола

Сенсорҳои Fluxgate як намуди сенсорҳои магнитии векторӣ мебошанд, ки метавонанд майдонҳои магнитии басомади паст ё DC-ро муайян кунанд. Аз сабаби афзалиятҳои онҳо дар ҳалли, устувории ҳарорат, дақиқ ва ҳассосият, онҳо дар мавқеъгирии навигатсионии магнитӣ васеъ истифода мешаванд, кашфи фазо, ошкор намудани маъдан, Муайянкунии геомагнитӣ, муайянкунии ҷорӣ ва дигар соҳаҳо. Бо мақсади қонеъ гардонидани барномаҳои пайдошавандаи микрокомпонентҳо ва системаҳо, миниатюризатсияи сенсорҳои fluxgate ба нуқтаи тадқиқотии fluxgate табдил ёфт сенсорҳо. Системаи микроэлектромеханикӣ (MEMS) коркард барои миниатюризатсияи сенсорҳои fluxgate заминаи техникӣ фароҳам меорад. Ин мақола принсипҳои асосии сенсорҳои fluxgate-ро ҷамъбаст мекунад, ва таърихи рушди технологияи сенсорҳои микрофлюксгейтро шарҳ медиҳад, аз чумла технологияи микромеханик, Технологияи PCB ва технологияи MEMS. Раванди рушди технологияи сохтори fluxgate MEMS ва вазъи рушди флюсгейт ортогоналии MEMS ҷамъбаст карда шудааст., ва тамаркузи тадқиқоти оянда дар ин соҳа пешбинӣ шудааст.

Калимаҳои калидӣ: сенсори fluxgate; MEMS; андозагирии магнитӣ; ариза

1 Муқаддима

Сенсорҳои Fluxgate як синфи сенсорҳои магнитии векторӣ мебошанд, ки метавонанд майдонҳои магнитии басомади паст ё доимиро муайян кунанд. Сенсорҳои анъанавии fluxgate дар мавқеъгирии навигатсионии магнитӣ ба таври васеъ истифода мешаванд, кашфи фазо, ошкор намудани маъдан, кашфи геомагнитӣ, муайянкунии ҷорӣ ва дигар соҳаҳо бо сабаби бартариятҳои худ дар ҳалли, устувории ҳарорат, дақиқ ва ҳассосият. Микро дронҳои гуногун, дастгоҳҳои дастӣ, моҳвораҳои хурд, сенсорҳои микро ҷорӣ, қутбнамоҳои хурди электронӣ, биотибб ва дигар соҳаҳои татбиқ ба сифат талаботи баландтар доранд, ҳаҷм, истеъмоли қувваи барқ ва ҳамгироии fluxgates. Бо мақсади қонеъ гардонидани барномаҳои пайдошавандаи микрокомпонентҳо ва системаҳо, миниатюризатсияи сенсорҳои fluxgate ба нуқтаи тадқиқотии сенсорҳои fluxgate табдил ёфт.

2 Принсип ва сохтори флюсгейтҳои сахт

fluxgate параллелӣ - Раванди тадқиқоти сенсори Fluxgate дар асоси системаи микроэлектромеханикӣ (MEMS)

3 Таърихи миниатюризатсияи Fluxgate
3.1 Micromachined Fluxgate
3.2 PCB Fluxgate
3.3 MEMS Fluxgate
4 Тадқиқоти MEMS Fluxgate
4.1 Технология
4.2 Сохтор
4.3 Fluxgate ортогоналӣ
5 Истифодаи MEMS Fluxgate
5.1 Роботхо
5.2 Санҷиши ҷорӣ
5.3 Муайянкунии биомагнитӣ
5.4 Тадкикоти кайхон
6 Эпилог

хулоса

Дар давоми се дахсолаи охир, fluxgates дар миниатюризатсия пешравии калон ба даст оварданд, ва проблемахои садои баланд, ҳассосияти паст, ва тағирёбии бузурги ҳарорат, ки дар натиҷаи миниатюризатсияи флюсгейтҳо ба вуҷуд омадааст, беҳтар карда шуд. Технологияи MEMS дар айни замон як нуқтаи доғ дар миниатюризатсияи флюсгейтҳо мебошад. Fluxgates бо истифода аз технологияи MEMS дорои хусусиятҳои аъло ба монанди андозаи хурд мебошанд, камхарҷ, ҳамгироии баланд ва мувофиқати баланд, ва дар бисёр соҳаҳо васеъ истифода шудаанд.
Дар оянда, MEMS fluxgates бояд сохтори худро минбаъд беҳтар созанд, раванди истеҳсолӣ, маводи асосии магнитӣ, ва мувофиқати схема барои ба даст овардани зондҳо бо ҳассосияти баландтар, садои паст, ва мутобиқати беҳтари сохторӣ. Дар айни ҳол, технологияи сенсори дученакаи fluxgate дар асоси технологияи MEMS хеле пухта аст. Гумон меравад, ки бо рушди технологияи MEMS, сенсори интегралии MEMS се меҳвари fluxgate набояд дур бошад.