Navorsingsvordering van Fluxgate-sensor gebaseer op mikro-elektro-meganiese stelsel (MEMS)

Chen Jiamin se span van die Chinese Akademie vir Wetenskappe: Navorsingsvordering oor flukspoortsensors gebaseer op mikro-elektromeganiese stelsels (MEMS)

Die volgende artikels is van die redaksionele afdeling van magnetiese materiale en toestelle, en die skrywer is van die redaksionele afdeling van Magnetic Journal

span bekendstelling

Mnr. Chen Jiamin, navorser van die "Staatssleutellaboratorium vir waarnemingstegnologie" van die Lugvaartinligtingsinnovasie-instituut van die Chinese Akademie vir Wetenskappe, 'n doktorale studieleier, 'n kandidaat van die "Honderd talente program" van die Chinese Akademie van Wetenskappe, 'n spesiale navorser (gemeenskap) van die Japanse Vereniging vir die Bevordering van Wetenskap (JSPS), IEEE Magnetics Lid van die vereniging, lid van die Nasionale Raad van Materiale en Toestelle Magnetiese Materiaal Deskundige Groep deskundige.

Verstelbare konstante stroom elektroniese las - laai skattoetser - veroudering ontslag module - vinnige laai- en ontladingsweerstand

Hy was besig met die navorsing van nuwe waarnemingsmateriaal, magnetiese sensors, spintroniese fisika, materiaal en toestelle vir 'n lang tyd. Hy het voorgesit en aan Japan s'n deelgeneem "Ontwrigtende tegnologie-innovasieplan" projek, die Japanse Vereniging vir die Bevordering van Wetenskap se wetenskaplike navorsingsfonds basiese navorsing S-vlak projek, A-vlak projek, B-vlak projek, spesiale navorserprojek en Advanced Storage Technology Association-projek, ens., en is tans in beheer van nasionale sleutelnavorsing en -ontwikkeling Daar is baie wetenskaplike navorsingsprojekte soos beplande jong wetenskaplike projek, Nasionale Natuurwetenskapstigting-projek, Beijing Natural Science Foundation-projek, Chinese Akademie vir Wetenskappe talent projek, Chinese Akademie vir Wetenskappe instrument en toerusting funksie ontwikkelingsprojek, en onderneming toevertroude projek.

Verstelbare konstante stroom elektroniese lading laai skat toetser module

Artikelgids

Fluxgate sensors is 'n tipe vektor magnetiese sensors wat swak lae-frekwensie of DC magnetiese velde kan opspoor. As gevolg van hul voordele in resolusie, temperatuurstabiliteit, akkuraatheid en sensitiwiteit, hulle word wyd gebruik in magnetiese navigasieposisionering, spasie opsporing, minerale opsporing, Geomagnetiese opsporing, stroomopsporing en ander velde. Ten einde te voldoen aan die opkomende toepassings van mikro-komponente en stelsels, die miniaturisering van fluxgate-sensors het 'n navorsingsbrandpunt van fluxgate geword sensors. Mikro-elektromeganiese stelsel (MEMS) verwerking verskaf 'n tegniese basis vir die miniaturisering van flukspoortsensors. Hierdie vraestel som die basiese beginsels van fluxgate sensors op, en lê die ontwikkelingsgeskiedenis van mikro-fluxgate-sensortegnologie uiteen, insluitend mikrobewerkingstegnologie, PCB tegnologie en MEMS-tegnologie. Die ontwikkelingsproses van MEMS fluxgate-struktuurtegnologie en die ontwikkelingstatus van MEMS ortogonale fluxgate word opgesom, en die toekomstige navorsingsfokus in hierdie veld word geprospekteer.

Sleutelwoorde: fluxgate sensor; MEMS; magnetiese meting; aansoek

1 Inleiding

Fluxgate-sensors is 'n klas vektormagnetiese sensors wat swak lae-frekwensie- of DC-magnetiese velde kan opspoor. Tradisionele fluxgate-sensors word wyd gebruik in magnetiese navigasieposisionering, spasie opsporing, minerale opsporing, geomagnetiese opsporing, huidige opsporing en ander velde as gevolg van hul voordele in resolusie, temperatuurstabiliteit, akkuraatheid en sensitiwiteit. Verskeie mikro drones, handtoestelle, mikro satelliete, mikrostroomsensors, klein elektroniese kompasse, biomedisyne en ander toepassingsvelde het hoër vereistes vir die kwaliteit, volume, kragverbruik en integrasie van vloedhekke. Ten einde te voldoen aan die opkomende toepassings van mikro-komponente en stelsels, die miniaturisering van fluxgate-sensors het 'n navorsingsbrandpunt van flukspoortsensors geword.

2 Beginsel en struktuur van soliede fluxgate

parallelle vloedhek - Navorsingsvordering van Fluxgate-sensor gebaseer op mikro-elektro-meganiese stelsel (MEMS)

3 Fluxgate miniaturisering geskiedenis
3.1 Mikrogemasjineerde Fluxgate
3.2 PCB Fluxgate
3.3 MEMS Fluxgate
4 MEMS Fluxgate Navorsing
4.1 Tegnologie
4.2 Struktuur
4.3 Ortogonale Fluxgate
5 Toepassing van MEMS Fluxgate
5.1 Robotte
5.2 Huidige toets
5.3 Biomagnetiese opsporing
5.4 Verkenning van die ruimte
6 Epiloog

ten slotte

Oor die afgelope drie dekades, fluxgates het groot vordering gemaak in miniaturisering, en die probleme van hoë geraas, lae sensitiwiteit, en groot temperatuurverskuiwing wat veroorsaak word deur die miniaturisering van fluksgate is verbeter. MEMS-tegnologie is tans 'n warm plek in die miniaturisering van vloedhekke. Fluxgate wat MEMS-tegnologie gebruik, het uitstekende eienskappe soos klein grootte, lae koste, hoë integrasie en hoë passing, en is wyd gebruik in baie velde.
In die toekoms, MEMS fluxgates moet hul struktuur verder optimaliseer, vervaardigingsproses, magnetiese kern materiaal, en stroombaanpassing om probes met hoër sensitiwiteit te verkry, laer geraas, en beter strukturele pas. Huidiglik, die tweedimensionele fluxgate-sensortegnologie gebaseer op MEMS-tegnologie is redelik volwasse. Daar word geglo dat met die ontwikkeling van MEMS-tegnologie, die geïntegreerde MEMS-drie-as-fluxgate-sensor behoort nie ver weg te wees nie.