مائڪرو اليڪٽررو ميڪيڪل سسٽم جي بنياد تي فلڪس گيٽ سينسر جي تحقيق جي ترقي (ايم ايم ايس)

چيني اڪيڊمي آف سائنسز مان چن جيامين جي ٽيم: fluxgate sensors تي تحقيق جي ترقي microelectromechanical سسٽم جي بنياد تي (ايم ايم ايس)

هيٺيون مضمون مقناطيسي مواد ۽ ڊوائيسز جي ادارتي کاتي مان آهن, ۽ ليکڪ مقناطيسي جرنل جي ايڊيٽوريل ڊپارٽمينٽ مان آهي

ٽيم جو تعارف

مسٽر. چن جيامين, جي محقق "رياستي اهم ليبارٽري آف سينسنگ ٽيڪنالاجي" چيني اڪيڊمي آف سائنسز جي ايرو اسپيس انفارميشن انوويشن انسٽيٽيوٽ جو, هڪ ڊاڪٽريٽ سپروائيزر, جي اميدوار "سو ٽيلنٽ پروگرام" چيني اڪيڊمي آف سائنسز جو, هڪ خاص محقق (رفاقت) جاپان سوسائٽي فار پروموشن آف سائنس (جي ايس پي ايس), IEEE ميگنيٽڪس سوسائٽي جو ميمبر, مواد ۽ ڊوائيسز جي قومي ڪائونسل جو ميمبر مقناطيسي مواد ماهر گروپ ماهر.

ترتيب ڏيڻ وارو مسلسل موجوده اليڪٽرانڪ لوڊ - چارج ڪرڻ وارو خزانو ٽيسٽر - aging discharge module - تيز چارج ۽ خارج ٿيڻ واري مزاحمت

هو نئين حساس مواد جي تحقيق ۾ مصروف آهي, مقناطيسي سينسر, اسپنٽرانڪ فزڪس, هڪ ڊگهي وقت لاء مواد ۽ ڊوائيسز. هن جاپان جي صدارت ڪئي ۽ شرڪت ڪئي "تباهي واري ٽيڪنالاجي جدت جو منصوبو" پروجيڪٽ, جاپان سوسائٽي فار دي پروموشن آف سائنس جي سائنسي ريسرچ فنڊ بنيادي ريسرچ ايس-سطح پروجيڪٽ, اي-سطح پروجيڪٽ, بي-سطح پروجيڪٽ, خاص محقق پروجيڪٽ ۽ ترقي يافته اسٽوريج ٽيڪنالاجي ايسوسيئيشن پروجيڪٽ, وغيره, ۽ هن وقت قومي اهم تحقيق ۽ ترقي جو انچارج آهي اتي ڪيترائي سائنسي تحقيقي منصوبا آهن جهڙوڪ منصوبابندي ڪيل نوجوان سائنسدان پروجيڪٽ, نيشنل قدرتي سائنس فائونڊيشن پروجيڪٽ, بيجنگ قدرتي سائنس فائونڊيشن پروجيڪٽ, چيني اڪيڊمي آف سائنسز ٽيلينٽ پروجيڪٽ, چيني اڪيڊمي آف سائنسز جو اوزار ۽ سامان فنڪشن ڊولپمينٽ پروجيڪٽ, ۽ انٽرپرائز سپرد پروجيڪٽ.

ترتيب ڏيڻ وارو مسلسل موجوده برقي لوڊ چارج خزانو ٽيسٽر ماڊل

آرٽيڪل گائيڊ

Fluxgate sensors هڪ قسم جا ویکٹر مقناطيسي سينسر آهن جيڪي ڪمزور گهٽ فريڪوئنسي يا DC مقناطيسي شعبن کي ڳولي سگهن ٿا.. ڇاڪاڻ ته قرارداد ۾ انهن جي فائدن جي ڪري, حرارت جي استحڪام, درستگي ۽ حساسيت, اهي وڏي پيماني تي مقناطيسي نيويگيشن پوزيشن ۾ استعمال ٿيندا آهن, خلا جي ڳولا, معدنيات جي ڳولا, جيو مقناطيسي تشخيص, موجوده ڳولڻ ۽ ٻيا شعبا. مائڪرو اجزاء ۽ سسٽم جي اڀرندڙ ايپليڪيشنن کي پورا ڪرڻ لاء, fluxgate sensors جي miniaturization fluxgate جي هڪ ريسرچ هٽسپاٽ بڻجي چڪو آهي سينسر. مائڪرو-اليڪٽررو-مڪينيڪل سسٽم (ايم ايم ايس) پروسيسنگ fluxgate sensors جي miniaturization لاء هڪ ٽيڪنيڪل بنياد مهيا ڪري. هي مقالو fluxgate sensors جي بنيادي اصولن جو خلاصو, ۽ مائڪرو فلڪس گيٽ سينسر ٽيڪنالاجي جي ترقي جي تاريخ کي بيان ڪري ٿو, micromachining ٽيڪنالاجي سميت, PCB ٽيڪنالاجي ۽ MEMS ٽيڪنالاجي. MEMS fluxgate ساخت جي ٽيڪنالاجي جي ترقي جي عمل ۽ MEMS orthogonal fluxgate جي ترقي جي صورتحال کي اختصار ڪيو ويو آهي, ۽ هن فيلڊ ۾ مستقبل جي تحقيق جي توجه جو امڪان آهي.

اهم لفظ: fluxgate sensor; ايم ايم ايس; مقناطيسي ماپ; درخواست

1 تعارف

فلڪس گيٽ سينسرز ویکٹر مقناطيسي سينسر جو هڪ طبقو آهي جيڪي ڪمزور گهٽ فريکوئنسي يا ڊي سي مقناطيسي شعبن کي ڳولي سگهن ٿا.. روايتي fluxgate sensors وڏي پيماني تي مقناطيسي نيويگيشن پوزيشن ۾ استعمال ٿيندا آهن, خلا جي ڳولا, معدنيات جي ڳولا, geomagnetic معلوم ڪرڻ, موجوده ڳولڻ ۽ ٻين شعبن جي ڪري انهن جي فائدن جي قرارداد ۾, حرارت جي استحڪام, درستگي ۽ حساسيت. مختلف مائڪرو ڊرونز, handheld ڊوائيسز, مائڪرو سيٽلائيٽس, مائڪرو موجوده سينسر, ننڍي اليڪٽرانڪ compasses, biomedicine ۽ ٻين اپليڪيشن جي شعبن جي معيار لاء اعلي گهرجون آهن, حجم, بجلي جو استعمال ۽ fluxgates جي انضمام. مائڪرو اجزاء ۽ سسٽم جي اڀرندڙ ايپليڪيشنن کي پورا ڪرڻ لاء, fluxgate sensors جي miniaturization fluxgate sensors جو هڪ ريسرچ هٽ اسپاٽ بڻجي چڪو آهي.

2 مضبوط فلڪس گيٽ جو اصول ۽ ڍانچي

متوازي fluxgate - مائڪرو اليڪٽررو ميڪيڪل سسٽم جي بنياد تي فلڪس گيٽ سينسر جي تحقيق جي ترقي (ايم ايم ايس)

3 Fluxgate miniaturization جي تاريخ
3.1 Micromachined Fluxgate
3.2 پي سي بي فلڪس گيٽ
3.3 ايم ايم ايس فلڪس گيٽ
4 ايم ايم ايس فلڪس گيٽ ريسرچ
4.1 ٽيڪنالاجي
4.2 ساخت
4.3 Orthogonal Fluxgate
5 MEMS Fluxgate جي درخواست
5.1 روبوٽ
5.2 موجوده ٽيسٽ
5.3 حياتياتي مقناطيسي تشخيص
5.4 خلائي تحقيق
6 Epilogue

نتيجي ۾

گذريل ٽن ڏهاڪن کان, fluxgates miniaturization ۾ وڏي ترقي ڪئي آهي, ۽ اعلي شور جا مسئلا, گھٽ حساسيت, ۽ fluxgates جي miniaturization سبب گرمي پد جي وڏي وهڪري کي بهتر ڪيو ويو آهي. MEMS ٽيڪنالاجي في الحال fluxgates جي miniaturization ۾ هڪ گرم جاء آهي. MEMS ٽيڪنالاجي استعمال ڪندي Fluxgates شاندار خاصيتون آهن جهڙوڪ ننڍڙي سائيز, گھٽ قيمت, اعلي انضمام ۽ اعلي ميلاپ, ۽ وڏي پيماني تي ڪيترن ئي شعبن ۾ استعمال ڪيو ويو آهي.
مستقبل ۾, MEMS fluxgates انهن جي جوڙجڪ کي وڌيڪ بهتر ڪرڻ جي ضرورت آهي, پيداوار جي عمل, مقناطيسي بنيادي مواد, ۽ اعلي حساسيت سان تحقيقات حاصل ڪرڻ لاء سرڪٽ جي ميلاپ, گهٽ شور, ۽ بهتر ڍانچي فٽ. في الحال, MEMS ٽيڪنالاجي تي ٻڌل ٻه-dimensional fluxgate sensor ٽيڪنالاجي ڪافي بالغ آهي. اهو يقين آهي ته MEMS ٽيڪنالاجي جي ترقي سان, مربوط MEMS ٽي محور فلڪس گيٽ سينسر پري نه هجڻ گهرجي.