मायक्रो इलेक्ट्रो मेकॅनिकल प्रणालीवर आधारित फ्लक्सगेट सेन्सरची संशोधन प्रगती (MEMS)
चायनीज अकादमी ऑफ सायन्सेस चे चेन जियामिनची टीम: मायक्रोइलेक्ट्रोमेकॅनिकल प्रणालीवर आधारित फ्लक्सगेट सेन्सर्सवर संशोधन प्रगती (MEMS)
खालील लेख चुंबकीय साहित्य आणि उपकरणांच्या संपादकीय विभागातील आहेत, आणि लेखक मॅग्नेटिक जर्नलच्या संपादकीय विभागातील आहेत
संघ परिचय
श्री. चेन जियामिन, चे संशोधक "संवेदन तंत्रज्ञानाची राज्य की प्रयोगशाळा" चायनीज अॅकॅडमी ऑफ सायन्सेसच्या एरोस्पेस इन्फॉर्मेशन इनोव्हेशन इन्स्टिट्यूटचे, डॉक्टरेट पर्यवेक्षक, चा उमेदवार "शंभर प्रतिभांचा कार्यक्रम" चायनीज अकादमी ऑफ सायन्सेसचे, एक विशेष संशोधक (फेलोशिप) जपान सोसायटी फॉर द प्रमोशन ऑफ सायन्सचे (जेएसपीएस), IEEE Magnetics सोसायटीचे सदस्य, नॅशनल कौन्सिल ऑफ मटेरियल्स अँड डिव्हायसेसचे सदस्य चुंबकीय साहित्य तज्ञ गट तज्ञ.
समायोज्य स्थिर वर्तमान इलेक्ट्रॉनिक लोड - चार्जिंग ट्रेझर टेस्टर - वृद्धत्व डिस्चार्ज मॉड्यूल - जलद चार्ज आणि डिस्चार्ज रेझिस्टर
ते नवीन संवेदन सामग्रीच्या संशोधनात गुंतले आहेत, चुंबकीय सेन्सर्स, स्पिन्ट्रॉनिक भौतिकशास्त्र, बराच काळ साहित्य आणि उपकरणे. त्यांनी जपानचे अध्यक्षपद भूषवले आहे आणि त्यात भाग घेतला आहे "विघटनकारी तंत्रज्ञान नवकल्पना योजना" प्रकल्प, जपान सोसायटी फॉर द प्रमोशन ऑफ सायन्सचा वैज्ञानिक संशोधन निधी मूलभूत संशोधन एस-स्तरीय प्रकल्प, ए-स्तरीय प्रकल्प, बी-स्तरीय प्रकल्प, विशेष संशोधक प्रकल्प आणि प्रगत स्टोरेज तंत्रज्ञान असोसिएशन प्रकल्प, इ., आणि सध्या राष्ट्रीय प्रमुख संशोधन आणि विकासाचे प्रभारी आहेत नियोजित तरुण वैज्ञानिक प्रकल्प यासारखे अनेक वैज्ञानिक संशोधन प्रकल्प आहेत, नॅशनल नॅचरल सायन्स फाउंडेशन प्रकल्प, बीजिंग नॅचरल सायन्स फाउंडेशन प्रकल्प, चीनी विज्ञान अकादमी प्रतिभा प्रकल्प, चायनीज अॅकॅडमी ऑफ सायन्सेस इन्स्ट्रुमेंट अँड इक्विपमेंट फंक्शन डेव्हलपमेंट प्रोजेक्ट, आणि एंटरप्राइज सोपवलेला प्रकल्प.
समायोज्य स्थिर वर्तमान इलेक्ट्रॉनिक लोड चार्जिंग ट्रेझर टेस्टर मॉड्यूल
लेख मार्गदर्शक
फ्लक्सगेट सेन्सर हे वेक्टर मॅग्नेटिक सेन्सर्सचे एक प्रकार आहेत जे कमकुवत कमी-फ्रिक्वेंसी किंवा डीसी चुंबकीय क्षेत्र शोधू शकतात. रिझोल्यूशनमध्ये त्यांच्या फायद्यांमुळे, तापमान स्थिरता, अचूकता आणि संवेदनशीलता, ते चुंबकीय नेव्हिगेशन पोझिशनिंगमध्ये मोठ्या प्रमाणावर वापरले जातात, जागा शोध, खनिज शोध, भूचुंबकीय शोध, वर्तमान शोध आणि इतर फील्ड. सूक्ष्म-घटक आणि प्रणालींच्या उदयोन्मुख अनुप्रयोगांची पूर्तता करण्यासाठी, फ्लक्सगेट सेन्सर्सचे सूक्ष्मीकरण हे फ्लक्सगेटचे संशोधन हॉटस्पॉट बनले आहे सेन्सर्स. मायक्रो-इलेक्ट्रो-मेकॅनिकल सिस्टम (MEMS) प्रक्रिया फ्लक्सगेट सेन्सर्सच्या सूक्ष्मीकरणासाठी तांत्रिक आधार प्रदान करते. हा पेपर फ्लक्सगेट सेन्सर्सच्या मूलभूत तत्त्वांचा सारांश देतो, आणि मायक्रो-फ्लक्सगेट सेन्सर तंत्रज्ञानाचा विकास इतिहास स्पष्ट करतो, मायक्रोमशिनिंग तंत्रज्ञानाचा समावेश आहे, पीसीबी तंत्रज्ञान आणि MEMS तंत्रज्ञान. एमईएमएस फ्लक्सगेट संरचना तंत्रज्ञानाची विकास प्रक्रिया आणि एमईएमएस ऑर्थोगोनल फ्लक्सगेटच्या विकासाची स्थिती सारांशित केली आहे, आणि या क्षेत्रातील भविष्यातील संशोधन फोकस अपेक्षित आहे.
मुख्य शब्द: फ्लक्सगेट सेन्सर; MEMS; चुंबकीय मापन; अर्ज
1 परिचय
फ्लक्सगेट सेन्सर्स हे वेक्टर मॅग्नेटिक सेन्सर्सचे वर्ग आहेत जे कमकुवत कमी-फ्रिक्वेंसी किंवा डीसी चुंबकीय क्षेत्र शोधू शकतात. पारंपारिक फ्लक्सगेट सेन्सर चुंबकीय नेव्हिगेशन पोझिशनिंगमध्ये मोठ्या प्रमाणावर वापरले जातात, जागा शोध, खनिज शोध, भूचुंबकीय शोध, रिझोल्यूशनमधील त्यांच्या फायद्यांमुळे वर्तमान शोध आणि इतर फील्ड, तापमान स्थिरता, अचूकता आणि संवेदनशीलता. विविध सूक्ष्म ड्रोन, हातातील उपकरणे, सूक्ष्म उपग्रह, सूक्ष्म वर्तमान सेन्सर्स, लहान इलेक्ट्रॉनिक कंपास, बायोमेडिसिन आणि इतर अनुप्रयोग क्षेत्रांमध्ये गुणवत्तेसाठी उच्च आवश्यकता आहेत, खंड, वीज वापर आणि फ्लक्सगेट्सचे एकत्रीकरण. सूक्ष्म-घटक आणि प्रणालींच्या उदयोन्मुख अनुप्रयोगांची पूर्तता करण्यासाठी, फ्लक्सगेट सेन्सर्सचे सूक्ष्मीकरण हे फ्लक्सगेट सेन्सर्सचे संशोधन हॉटस्पॉट बनले आहे.
2 सॉलिड फ्लक्सगेटचे तत्त्व आणि रचना
समांतर फ्लक्सगेट - मायक्रो इलेक्ट्रो मेकॅनिकल प्रणालीवर आधारित फ्लक्सगेट सेन्सरची संशोधन प्रगती (MEMS)
3 फ्लक्सगेट लघुकरण इतिहास
3.1 मायक्रोमचिन फ्लक्सगेट
3.2 पीसीबी फ्लक्सगेट
3.3 एमईएमएस फ्लक्सगेट
4 एमईएमएस फ्लक्सगेट संशोधन
4.1 तंत्रज्ञान
4.2 रचना
4.3 ऑर्थोगोनल फ्लक्सगेट
5 एमईएमएस फ्लक्सगेटचा अर्ज
5.1 रोबोट्स
5.2 सध्याची चाचणी
5.3 बायोमॅग्नेटिक डिटेक्शन
5.4 स्पेस एक्सप्लोरेशन
6 उपसंहार
अनुमान मध्ये
गेल्या तीन दशकांत, फ्लक्सगेट्सने लघुकरणात मोठी प्रगती केली आहे, आणि उच्च आवाजाच्या समस्या, कमी संवेदनशीलता, आणि फ्लक्सगेट्सच्या सूक्ष्मीकरणामुळे मोठ्या तापमानाचा प्रवाह सुधारला गेला आहे. एमईएमएस तंत्रज्ञान सध्या फ्लक्सगेट्सच्या लघुकरणामध्ये एक हॉट स्पॉट आहे. एमईएमएस तंत्रज्ञान वापरणाऱ्या फ्लक्सगेट्समध्ये लहान आकारासारखी उत्कृष्ट वैशिष्ट्ये आहेत, कमी खर्च, उच्च एकत्रीकरण आणि उच्च जुळणी, आणि बर्‍याच क्षेत्रात मोठ्या प्रमाणावर वापरले गेले आहे.
भविष्यात, एमईएमएस फ्लक्सगेट्सना त्यांची रचना अधिक अनुकूल करणे आवश्यक आहे, उत्पादन प्रक्रिया, चुंबकीय कोर साहित्य, आणि उच्च संवेदनशीलतेसह प्रोब मिळविण्यासाठी सर्किट जुळणी, कमी आवाज, आणि उत्तम स्ट्रक्चरल फिट. सध्या, एमईएमएस तंत्रज्ञानावर आधारित द्विमितीय फ्लक्सगेट सेन्सर तंत्रज्ञान खूपच परिपक्व आहे. असे मानले जाते की एमईएमएस तंत्रज्ञानाच्या विकासासह, एकात्मिक MEMS थ्री-एक्सिस फ्लक्सगेट सेन्सर दूर नसावा.
