Kamajuan Panalungtikan ngeunaan Sénsor Fluxgate Dumasar kana Sistem Mékanis Éléktro Mikro (MEMS)

Tim Chen Jiamin ti Akademi Élmu Cina: Panaliti kamajuan dina sénsor fluxgate dumasar kana sistem microelectromechanical (MEMS)

Artikel-artikel di handap ieu ti departemén redaksi bahan sareng alat magnét, sareng panulisna ti jurusan redaksi Jurnal Magnetik

bubuka tim

Bapa. Chen Jiamin, panalungtik tina "Laboratorium konci kaayaan Téhnologi Sensing" tina Aerospace Information Innovation Institute of Chinese Academy of Sciences, pangawas doktor, calon tina "Program Ratusan Bakat" tina Akademi Élmu Cina, panalungtik husus (silaturahmi) tina Masarakat Jepang pikeun Promosi Élmu (JSPS), IEEE Magnetics Anggota masarakat, anggota Déwan Nasional Bahan sarta Alat Magnét Bahan Ahli Grup ahli.

Adjustable beban éléktronik konstan ayeuna - ngecas tester harta - modul ngurangan sepuh - muatan gancang sarta ngurangan résistor

Anjeunna geus kalibet dina panalungtikan bahan sensing anyar, sénsor magnét, fisika spintronic, bahan jeung alat keur lila. Anjeunna geus presided leuwih tur ilubiung dina Jepang "Plan Inovasi Téhnologi Disruptive" proyék, The Japan Society for the Promotion of Science's dana panalungtikan ilmiah dasar panalungtikan S-tingkat proyék, proyék A-tingkat, proyék B-tingkat, proyék panalungtik husus sarta Advanced Panyimpenan Téhnologi Association proyék, jsb., sareng ayeuna tanggung jawab panalungtikan sareng pamekaran konci nasional Aya seueur proyék panalungtikan ilmiah sapertos proyék élmuwan ngora anu direncanakeun., Proyék Yayasan Élmu Pengetahuan Alam Nasional, Proyék Yayasan Élmu Pengetahuan Alam Beijing, Proyék bakat Akademi Élmu Cina, Cina Akademi Élmu instrumen jeung proyék ngembangkeun fungsi alat, sareng proyék amanah perusahaan.

Adjustable konstan ayeuna beban éléktronik ngecas modul tester harta

Panungtun artikel

Sensor Fluxgate mangrupikeun jinis sénsor magnét véktor anu tiasa ngadeteksi médan magnét frekuensi rendah atanapi DC. Kusabab kaunggulan maranéhanana dina resolusi, stabilitas suhu, akurasi sarta sensitipitas, aranjeunna loba dipaké dina posisi navigasi magnét, deteksi spasi, deteksi mineral, Deteksi géomagnétik, deteksi ayeuna jeung widang lianna. Dina raraga minuhan aplikasi munculna mikro-komponén jeung sistem, miniaturisasi sensor fluxgate geus jadi hotspot panalungtikan fluxgate sénsor. Mikro-éléktromékanis System (MEMS) processing nyadiakeun dasar teknis pikeun miniaturization sensor fluxgate. Tulisan ieu nyimpulkeun prinsip dasar sénsor fluxgate, sarta expounds sajarah ngembangkeun téhnologi sensor micro-fluxgate, kaasup téhnologi micromachining, téhnologi PCB jeung téhnologi MEMS. Prosés pamekaran téknologi struktur fluxgate MEMS sareng status pangembangan fluxgate ortogonal MEMS diringkeskeun., sarta fokus panalungtikan kahareup dina widang ieu prospekted.

kecap konci: sénsor fluxgate; MEMS; pangukuran magnét; aplikasi

1 Bubuka

Sensor Fluxgate mangrupikeun kelas sénsor magnét véktor anu tiasa ngadeteksi médan magnét frekuensi rendah atanapi DC. Sensor fluxgate tradisional seueur dianggo dina posisi navigasi magnét, deteksi spasi, deteksi mineral, deteksi géomagnétik, deteksi ayeuna jeung widang séjén alatan kaunggulan maranéhanana dina resolusi, stabilitas suhu, precision jeung sensitipitas. Rupa-rupa drones mikro, alat-alat handheld, satelit mikro, sensor ayeuna mikro, kompas éléktronik leutik, biomedicine jeung widang aplikasi sejenna boga syarat nu leuwih luhur pikeun kualitas, volume, konsumsi kakuatan sarta integrasi fluxgates. Dina raraga minuhan aplikasi munculna mikro-komponén jeung sistem, miniaturisasi sensor fluxgate geus jadi hotspot panalungtikan sensor fluxgate.

2 Prinsip jeung struktur fluxgate padet

fluxgate paralel - Kamajuan Panalungtikan ngeunaan Sénsor Fluxgate Dumasar kana Sistem Mékanis Éléktro Mikro (MEMS)

3 sajarah miniaturization Fluxgate
3.1 Micromachined Fluxgate
3.2 PCB Fluxgate
3.3 MEMS Fluxgate
4 MEMS Fluxgate Panalungtikan
4.1 Téknologi
4.2 Struktur
4.3 Ortogonal Fluxgate
5 Aplikasi MEMS Fluxgate
5.1 Robot
5.2 Test ayeuna
5.3 Deteksi biomagnétik
5.4 Éksplorasi Angkasa
6 Epilog

kasimpulanana

Salila tilu dekade kaliwat, fluxgates geus nyieun kamajuan hébat dina miniaturization, jeung masalah noise tinggi, sensitipitas low, sarta drift hawa badag disababkeun ku miniaturization of fluxgates geus ningkat. Téknologi MEMS ayeuna mangrupikeun titik panas dina miniaturisasi fluxgates. Fluxgates ngagunakeun téhnologi MEMS boga ciri alus teuing kayaning ukuran leutik, biaya murah, integrasi tinggi na cocog tinggi, sarta geus loba dipaké dina loba widang.
Di masa anu payun, Fluxgates MEMS kedah langkung ngaoptimalkeun strukturna, prosés manufaktur, bahan inti magnét, sarta circuit cocog pikeun ménta panyilidikan kalawan sensitipitas luhur, noise handap, jeung pas struktural hadé. Ayeuna, téhnologi sensor fluxgate dua diménsi dumasar kana téhnologi MEMS cukup dewasa. Hal ieu dipercaya yén kalawan ngembangkeun téhnologi MEMS, sensor fluxgate MEMS terpadu tilu sumbu teu kudu jauh.