Fluxgate სენსორის კვლევის პროგრესი მიკროელექტრომექანიკურ სისტემაზე დაფუძნებული (MEMS)

Fluxgate სენსორის კვლევის პროგრესი მიკროელექტრომექანიკურ სისტემაზე დაფუძნებული (MEMS)

ჩენ ჯიამინის გუნდი ჩინეთის მეცნიერებათა აკადემიიდან: კვლევის პროგრესი fluxgate სენსორებზე, რომლებიც დაფუძნებულია მიკროელექტრომექანიკურ სისტემებზე (MEMS)

შემდეგი სტატიები არის მაგნიტური მასალებისა და მოწყობილობების სარედაქციო განყოფილებიდან, ავტორი კი Magnetic Journal-ის სარედაქციო განყოფილებიდანაა

გუნდის გაცნობა

ბატონი. ჩენ ჯიამინი, -ის მკვლევარი "სენსორული ტექნოლოგიების სახელმწიფო საკვანძო ლაბორატორია" ჩინეთის მეცნიერებათა აკადემიის საჰაერო კოსმოსური ინფორმაციის ინოვაციების ინსტიტუტის, დოქტორანტი, კანდიდატი "პროგრამა ასი ნიჭი" ჩინეთის მეცნიერებათა აკადემიის, სპეციალური მკვლევარი (ამხანაგობა) იაპონიის მეცნიერების ხელშეწყობის საზოგადოების (JSPS), IEEE Magnetics საზოგადოების წევრი, მასალებისა და მოწყობილობების ეროვნული საბჭოს წევრი მაგნიტური მასალების ექსპერტთა ჯგუფის ექსპერტი.

რეგულირებადი მუდმივი დენის ელექტრონული დატვირთვა - საგანძურის დამუხტვის შემმოწმებელი - დაბერების გამონადენი მოდული - სწრაფი დატენვის და გამონადენის რეზისტორები

ის ეწეოდა ახალი სენსორული მასალების კვლევას, მაგნიტური სენსორები, სპინტრონიული ფიზიკა, მასალები და მოწყობილობები დიდი ხნის განმავლობაში. იგი ხელმძღვანელობდა და მონაწილეობას იღებდა იაპონიაში "დამრღვევი ტექნოლოგიების ინოვაციის გეგმა" პროექტი, იაპონიის მეცნიერების ხელშეწყობის საზოგადოების სამეცნიერო კვლევის ფონდის ძირითადი კვლევის S-დონის პროექტი, A დონის პროექტი, B დონის პროექტი, სპეციალური მკვლევარის პროექტი და Advanced Storage Technology Association-ის პროექტი, და ა.შ., და ამჟამად პასუხისმგებელია ეროვნულ საკვანძო კვლევასა და განვითარებაზე. არსებობს მრავალი სამეცნიერო კვლევითი პროექტი, როგორიცაა დაგეგმილი ახალგაზრდა მეცნიერის პროექტი, ეროვნული საბუნებისმეტყველო ფონდის პროექტი, პეკინის საბუნებისმეტყველო ფონდის პროექტი, ჩინეთის მეცნიერებათა აკადემიის ნიჭიერი პროექტი, ჩინეთის მეცნიერებათა აკადემიის ხელსაწყოებისა და აღჭურვილობის ფუნქციის განვითარების პროექტი, და საწარმოს მინდობილი პროექტი.

რეგულირებადი მუდმივი დენის ელექტრონული დატვირთვის დამუხტვის განძის შემმოწმებელი მოდული

სტატიის სახელმძღვანელო

Fluxgate სენსორები არის ვექტორული მაგნიტური სენსორების ტიპი, რომელსაც შეუძლია აღმოაჩინოს სუსტი დაბალი სიხშირის ან DC მაგნიტური ველები.. რეზოლუციაში მათი უპირატესობების გამო, ტემპერატურის სტაბილურობა, სიზუსტე და მგრძნობელობა, ისინი ფართოდ გამოიყენება მაგნიტური ნავიგაციის პოზიციონირებაში, სივრცის გამოვლენა, მინერალების გამოვლენა, გეომაგნიტური გამოვლენა, მიმდინარე გამოვლენა და სხვა ველები. მიკრო კომპონენტებისა და სისტემების განვითარებადი აპლიკაციების დასაკმაყოფილებლად, fluxgate სენსორების მინიატურიზაცია გახდა fluxgate-ის კვლევის ცხელი წერტილი სენსორები. მიკროელექტრომექანიკური სისტემა (MEMS) დამუშავება უზრუნველყოფს ტექნიკურ საფუძველს fluxgate სენსორების მინიატურიზაციისთვის. ეს ნაშრომი აჯამებს fluxgate სენსორების ძირითად პრინციპებს, და ასახავს მიკრო-ფლუქსგეიტის სენსორის ტექნოლოგიის განვითარების ისტორიას, მიკროდამუშავების ტექნოლოგიის ჩათვლით, PCB ტექნოლოგია და MEMS ტექნოლოგია. შეჯამებულია MEMS fluxgate სტრუქტურის ტექნოლოგიის განვითარების პროცესი და MEMS ორთოგონალური fluxgate-ის განვითარების სტატუსი, და პერსპექტიულია მომავალი კვლევის ფოკუსირება ამ სფეროში.

საკვანძო სიტყვები: fluxgate სენსორი; MEMS; მაგნიტური გაზომვა; განაცხადი

1 შესავალი

Fluxgate სენსორები არის ვექტორული მაგნიტური სენსორების კლასი, რომელსაც შეუძლია აღმოაჩინოს სუსტი დაბალი სიხშირის ან DC მაგნიტური ველები.. ტრადიციული fluxgate სენსორები ფართოდ გამოიყენება მაგნიტური ნავიგაციის პოზიციონირებაში, სივრცის გამოვლენა, მინერალების გამოვლენა, გეომაგნიტური გამოვლენა, მიმდინარე გამოვლენა და სხვა ველები გარჩევადობაში მათი უპირატესობების გამო, ტემპერატურის სტაბილურობა, სიზუსტე და მგრძნობელობა. სხვადასხვა მიკროდრონები, ხელის მოწყობილობები, მიკრო თანამგზავრები, მიკრო დენის სენსორები, პატარა ელექტრონული კომპასები, ბიომედიცინასა და გამოყენების სხვა სფეროებს ხარისხზე უფრო მაღალი მოთხოვნები აქვთ, მოცულობა, ენერგიის მოხმარება და fluxgates-ის ინტეგრაცია. მიკრო კომპონენტებისა და სისტემების განვითარებადი აპლიკაციების დასაკმაყოფილებლად, fluxgate სენსორების მინიატურიზაცია გახდა fluxgate სენსორების კვლევის ცხელი წერტილი.

2 მყარი ნაკადის კარიბჭის პრინციპი და სტრუქტურა

პარალელური fluxgate - Fluxgate სენსორის კვლევის პროგრესი მიკროელექტრომექანიკურ სისტემაზე დაფუძნებული (MEMS)

3 Fluxgate მინიატურიზაციის ისტორია
3.1 მიკრომექანიკური Fluxgate
3.2 PCB Fluxgate
3.3 MEMS Fluxgate
4 MEMS Fluxgate Research
4.1 ტექნიკა
4.2 სტრუქტურა
4.3 ორთოგონალური Fluxgate
5 MEMS Fluxgate-ის გამოყენება
5.1 რობოტები
5.2 მიმდინარე ტესტი
5.3 ბიომაგნიტური გამოვლენა
5.4 კოსმოსური კვლევა
6 ეპილოგი

საბოლოოდ

ბოლო სამი ათწლეულის განმავლობაში, fluxgates-მა დიდი პროგრესი მიაღწია მინიატურიზაციაში, და მაღალი ხმაურის პრობლემები, დაბალი მგრძნობელობა, და გაუმჯობესდა დიდი ტემპერატურული დრიფტი, რომელიც გამოწვეულია fluxgates-ის მინიატურიზაციით. MEMS ტექნოლოგია ამჟამად ცხელი წერტილია fluxgates-ის მინიატურიზაციაში. Fluxgates გამოყენებით MEMS ტექნოლოგია აქვს შესანიშნავი მახასიათებლები, როგორიცაა მცირე ზომა, დაბალი ფასი, მაღალი ინტეგრაცია და მაღალი შესატყვისი, და ფართოდ გამოიყენება მრავალ სფეროში.
Მომავალში, MEMS fluxgates საჭიროებს მათი სტრუქტურის შემდგომი ოპტიმიზაციას, საწარმოო პროცესი, მაგნიტური ბირთვის მასალა, და წრედის შესატყვისი უფრო მაღალი მგრძნობელობის მქონე ზონდების მისაღებად, დაბალი ხმაური, და უკეთესი სტრუქტურული მორგება. Ამჟამად, MEMS ტექნოლოგიაზე დაფუძნებული ორგანზომილებიანი fluxgate სენსორის ტექნოლოგია საკმაოდ მომწიფებულია. ითვლება, რომ MEMS ტექნოლოგიის განვითარებით, ინტეგრირებული MEMS სამღერძიანი fluxgate სენსორი არ უნდა იყოს შორს.