Ilọsiwaju Iwadi ti Sensọ Fluxgate Da lori Eto Imọ-ẹrọ Micro Electro (MEMS)

Ẹgbẹ Chen Jiamin lati Ile-ẹkọ giga ti Imọ-jinlẹ Kannada: Ilọsiwaju iwadii lori awọn sensọ fluxgate ti o da lori awọn ọna ṣiṣe microelectromechanical (MEMS)

Awọn nkan atẹle wa lati ẹka olootu ti awọn ohun elo oofa ati awọn ẹrọ, ati awọn onkowe ni lati awọn Olootu Eka ti Magnetic Journal

ifihan egbe

Ọgbẹni. Chen Jiamin, oluwadi ti awọn "State Key yàrá ti oye Technology" ti Aerospace Information Innovation Institute of Chinese Academy of Sciences, alabojuto dokita, oludije ti awọn "Ọgọrun Talents Program" ti awọn Chinese Academy of Sciences, oluwadi pataki kan (idapo) ti Awujọ Ilu Japan fun Igbega Imọ-jinlẹ (JSPS), IEEE Magnetik Omo egbe ti awujo, ọmọ ẹgbẹ ti National Council of Materials and Devices Magnetic Materials Expert Group iwé.

Adijositabulu ibakan lọwọlọwọ fifuye itanna - gbigba agbara oluyẹwo - module yosita ti ogbo - fast idiyele ati yosita resistor

O ti ṣe alabapin ninu iwadi ti awọn ohun elo imọ-itumọ tuntun, se sensosi, spintronic fisiksi, awọn ohun elo ati awọn ẹrọ fun igba pipẹ. O ti ṣe alakoso ati kopa ninu Japan's "Disruptive Technology Innovation Eto" ise agbese, awọn Japan Society fun Igbega ti Imọ ká ijinle sayensi iwadi inawo ipilẹ iwadi S-ipele ise agbese, A-ipele ise agbese, B-ipele ise agbese, pataki oluwadi ise agbese ati To ti ni ilọsiwaju Ibi Technology Association ise agbese, ati be be lo., ati pe o wa lọwọlọwọ ni idiyele ti iwadii bọtini orilẹ-ede ati idagbasoke Ọpọlọpọ awọn iṣẹ akanṣe iwadii imọ-jinlẹ bii iṣẹ akanṣe onimọ-jinlẹ ọdọ ti a gbero, National Natural Science Foundation ise agbese, Beijing Natural Science Foundation ise agbese, Chinese Academy of Sciences talenti ise agbese, Ile-ẹkọ giga ti Ilu Kannada ti Imọ-ẹrọ ati iṣẹ akanṣe idagbasoke iṣẹ ẹrọ, ati ise agbese ti a fi lelẹ ile-iṣẹ.

Adijositabulu ibakan lọwọlọwọ itanna fifuye gbigba agbara iṣura ndan module

Ìwé guide

Awọn sensọ Fluxgate jẹ iru awọn sensosi oofa vector ti o le rii igbohunsafẹfẹ alailagbara tabi awọn aaye oofa DC. Nitori awọn anfani wọn ni ipinnu, otutu iduroṣinṣin, išedede ati ifamọ, wọn jẹ lilo pupọ ni ipo lilọ kiri oofa, aaye erin, erupe erin, Wiwa geomagnetic, wiwa lọwọlọwọ ati awọn aaye miiran. Lati le pade awọn ohun elo ti o nyoju ti awọn paati micro-ati awọn ọna ṣiṣe, miniaturization ti awọn sensọ fluxgate ti di aaye iwadii ti fluxgate sensosi. Micro-electro-darí System (MEMS) processing pese ipilẹ imọ-ẹrọ fun miniaturization ti awọn sensọ fluxgate. Iwe yii ṣe akopọ awọn ipilẹ ipilẹ ti awọn sensọ fluxgate, ati ṣe alaye itan idagbasoke ti imọ-ẹrọ sensọ micro-fluxgate, pẹlu micromachining ọna ẹrọ, PCB ọna ẹrọ ati MEMS ọna ẹrọ. Ilana idagbasoke ti imọ-ẹrọ eto fluxgate MEMS ati ipo idagbasoke ti MEMS orthogonal fluxgate ni akopọ, ati idojukọ iwadi iwaju ni aaye yii jẹ ifojusọna.

Awọn ọrọ pataki: fluxgate sensọ; MEMS; oofa wiwọn; ohun elo

1 Ifaara

Awọn sensọ Fluxgate jẹ kilasi ti awọn sensọ oofa vector ti o le rii igbohunsafẹfẹ-kekere alailagbara tabi awọn aaye oofa DC. Awọn sensọ fluxgate ti aṣa jẹ lilo pupọ ni ipo lilọ kiri oofa, aaye erin, erupe erin, geomagnetic erin, wiwa lọwọlọwọ ati awọn aaye miiran nitori awọn anfani wọn ni ipinnu, otutu iduroṣinṣin, konge ati ifamọ. Orisirisi micro drones, amusowo ẹrọ, bulọọgi satẹlaiti, micro lọwọlọwọ sensosi, kekere itanna Kompasi, biomedicine ati awọn aaye ohun elo miiran ni awọn ibeere ti o ga julọ fun didara, iwọn didun, agbara agbara ati Integration ti fluxgates. Lati le pade awọn ohun elo ti o nyoju ti awọn paati micro-ati awọn ọna ṣiṣe, miniaturization ti awọn sensọ fluxgate ti di aaye iwadii ti awọn sensọ fluxgate.

2 Ilana ati igbekalẹ ti fluxgate to lagbara

ni afiwe fluxgate - Ilọsiwaju Iwadi ti Sensọ Fluxgate Da lori Eto Imọ-ẹrọ Micro Electro (MEMS)

3 Fluxgate miniaturization itan
3.1 Micromachined Fluxgate
3.2 PCB Fluxgate
3.3 MEMS Fluxgate
4 MEMS Fluxgate Iwadi
4.1 Imọ ọna ẹrọ
4.2 Ilana
4.3 Orthogonal Fluxgate
5 Ohun elo MEMS Fluxgate
5.1 Awọn roboti
5.2 Idanwo lọwọlọwọ
5.3 Wiwa biomagnetic
5.4 Iwakiri aaye
6 Epilogue

ni paripari

Ninu awọn ọdun mẹta sẹhin, fluxgates ti ṣe ilọsiwaju nla ni miniaturization, ati awọn iṣoro ti ariwo giga, kekere ifamọ, ati fiseete otutu nla ti o ṣẹlẹ nipasẹ miniaturization ti awọn ṣiṣan ṣiṣan ti ni ilọsiwaju. Imọ-ẹrọ MEMS lọwọlọwọ jẹ aaye gbigbona ni miniaturization ti awọn ṣiṣan. Fluxgates nipa lilo imọ-ẹrọ MEMS ni awọn abuda to dara julọ gẹgẹbi iwọn kekere, owo pooku, ga Integration ati ki o ga ibamu, ati pe a ti lo ni ọpọlọpọ awọn aaye.
Ni ojo iwaju, Awọn ṣiṣan MEMS nilo lati mu igbekalẹ wọn pọ si siwaju sii, ilana iṣelọpọ, ohun elo mojuto oofa, ati ibaramu Circuit lati gba awọn iwadii pẹlu ifamọ ti o ga julọ, kekere ariwo, ati ki o dara igbekale fit. Ni asiko yi, imọ-ẹrọ sensọ fluxgate onisẹpo meji ti o da lori imọ-ẹrọ MEMS jẹ ogbo pupọ. O gbagbọ pe pẹlu idagbasoke ti imọ-ẹrọ MEMS, sensọ fluxgate MEMS ti irẹpọ ko yẹ ki o jinna.