Progreso da investigación do sensor Fluxgate baseado nun sistema micro electromecánico (MEMS)

O equipo de Chen Jiamin da Academia Chinesa de Ciencias: Avances da investigación en sensores fluxgate baseados en sistemas microelectromecánicos (MEMS)

Os seguintes artigos son do departamento editorial de materiais e dispositivos magnéticos, e o autor é do departamento editorial de Magnetic Journal

presentación do equipo

Señor. Chen Jiamin, investigador do "Laboratorio Estatal de Tecnoloxía de Detección" do Instituto de Innovación de Información Aeroespacial da Academia Chinesa de Ciencias, un supervisor de doutoramento, un candidato da "Programa Cen Talentos" da Academia Chinesa de Ciencias, un investigador especial (confraternidade) da Sociedade Xaponesa para a Promoción da Ciencia (JSPS), Membro da sociedade IEEE Magnetics, membro do Consello Nacional de Materiais e Dispositivos Experto do Grupo de Expertos en Materiais Magnéticos.

Carga electrónica de corrente constante regulable - probador de tesouros de carga - módulo de descarga de envellecemento - resistencia de carga e descarga rápida

Dedicouse á investigación de novos materiais sensoriais, sensores magnéticos, física espintrónica, materiais e dispositivos durante moito tempo. Presidiu e participou na de Xapón "Plan de Innovación Tecnolóxica Disruptiva" proxecto, o proxecto de nivel S de investigación básica do fondo de investigación científica da Sociedade Xaponesa para a Promoción da Ciencia, Proxecto de nivel A, Proxecto de nivel B, proxecto especial de investigador e proxecto da Asociación de Tecnoloxía Avanzada de Almacenamento, etc., e actualmente está a cargo da investigación e desenvolvemento clave nacionais. Hai moitos proxectos de investigación científica, como o proxecto de novos científicos planificados., Proxecto da National Natural Science Foundation, Proxecto de Beijing Natural Science Foundation, Proxecto de talento da Academia Chinesa de Ciencias, Proxecto de desenvolvemento de funcións de equipos e instrumentos da Academia Chinesa de Ciencias, e proxecto encomendado á empresa.

Módulo probador de tesouros de carga electrónica de carga de corrente constante axustable

Guía de artigos

Os sensores Fluxgate son un tipo de sensores magnéticos vectoriais que poden detectar campos magnéticos débiles de baixa frecuencia ou CC.. Polas súas vantaxes na resolución, estabilidade da temperatura, precisión e sensibilidade, son moi utilizados no posicionamento de navegación magnética, detección espacial, detección de minerais, Detección xeomagnética, detección actual e outros campos. Co fin de satisfacer as aplicacións emerxentes de microcompoñentes e sistemas, a miniaturización dos sensores de fluxgate converteuse nun foco de investigación de fluxgate sensores. Sistema Micro-electro-mecánico (MEMS) o procesamento proporciona unha base técnica para a miniaturización de sensores de fluxgate. Este artigo resume os principios básicos dos sensores de fluxgate, e expón a historia do desenvolvemento da tecnoloxía de sensores micro-fluxgate, incluíndo tecnoloxía de micromecanizado, Tecnoloxía PCB e tecnoloxía MEMS. Resúmense o proceso de desenvolvemento da tecnoloxía de estrutura de fluxgate MEMS e o estado de desenvolvemento do fluxgate ortogonal MEMS, e prospecciónase o foco de investigación futuro neste campo.

Palabras clave: sensor de fluxgate; MEMS; medición magnética; aplicación

1 Introdución

Os sensores Fluxgate son unha clase de sensores magnéticos vectoriais que poden detectar campos magnéticos débiles de baixa frecuencia ou CC.. Os sensores fluxgate tradicionais son amplamente utilizados no posicionamento de navegación magnética, detección espacial, detección de minerais, detección geomagnética, detección actual e outros campos polas súas vantaxes na resolución, estabilidade da temperatura, precisión e sensibilidade. Varios micro drones, dispositivos de man, microsatélites, microsensores de corrente, pequenos compás electrónicos, a biomedicina e outros campos de aplicación teñen maiores requisitos de calidade, volume, consumo de enerxía e integración de fluxgates. Co fin de satisfacer as aplicacións emerxentes de microcompoñentes e sistemas, a miniaturización dos sensores de fluxgate converteuse nun punto de investigación dos sensores de fluxgate.

2 Principio e estrutura do fluxgate sólido

Fluxgate paralelo - Progreso da investigación do sensor Fluxgate baseado nun sistema micro electromecánico (MEMS)

3 Historial de miniaturización Fluxgate
3.1 Fluxgate micromecanizado
3.2 PCB Fluxgate
3.3 MEMS Fluxgate
4 Investigación MEMS Fluxgate
4.1 Tecnoloxía
4.2 Estrutura
4.3 Fluxgate ortogonal
5 Aplicación de MEMS Fluxgate
5.1 Robots
5.2 Proba actual
5.3 Detección biomagnética
5.4 Exploración espacial
6 Epílogo

En conclusión

Durante as últimas tres décadas, os fluxgates fixeron grandes avances na miniaturización, e os problemas do alto ruído, baixa sensibilidade, e mellorouse a gran deriva de temperatura causada pola miniaturización de fluxgates. A tecnoloxía MEMS é actualmente un punto quente na miniaturización de fluxgates. Os fluxgates que usan tecnoloxía MEMS teñen excelentes características, como o pequeno tamaño, baixo coste, alta integración e alta coincidencia, e foron moi utilizados en moitos campos.
No futuro, Os fluxgates MEMS precisan optimizar aínda máis a súa estrutura, proceso de fabricación, material do núcleo magnético, e adecuación de circuítos para obter sondas con maior sensibilidade, menor ruído, e mellor axuste estrutural. Agora mesmo, a tecnoloxía de sensor de fluxgate bidimensional baseada na tecnoloxía MEMS é bastante madura. Crese que co desenvolvemento da tecnoloxía MEMS, o sensor de fluxgate de tres eixes MEMS integrado non debe estar lonxe.