Prugressu di a Ricerca di u Sensore Fluxgate Basatu nantu à u Sistema Micro Electro Mechanical (MEMS)

A squadra di Chen Jiamin da l'Academia Cinese di Scienze: Prugressu di a ricerca nantu à i sensori di fluxgate basati nantu à sistemi microelettromeccanici (MEMS)

L'articuli seguenti sò da u dipartimentu editoriale di materiali magnetichi è dispusitivi, è l'autore hè di u dipartimentu editoriale di Magnetic Journal

introduzione di a squadra

Mr. Chen Jiamin, ricercatore di u "Laboratoriu Chjave Statale di Tecnulugia Sensing" di l'Istitutu di Innovazione di l'Informazione Aerospaziale di l'Academia Cinese di Scienze, un supervisore di dutturatu, un candidatu di u "U prugramma Centu Talenti" di l'Accademia Cinese di Scienze, un ricercatore speciale (fraternità) di a Società Giapponese per a Promozione di a Scienza (JSPS), IEEE Magnetics Membru di a sucità, membru di u Cunsigliu Naziunale di Materiali è Dispositivi espertu di u Gruppu d'Esperti di Materiali Magnetici.

Carica elettronica di corrente costante regolabile - tester di tesoru di carica - modulu di scaricamentu invechja - carica rapida è resistenza di scaricamentu

Hè statu impegnatu in a ricerca di novi materiali sensing, sensori magnetichi, fisica spintronica, materiali è dispusitivi per un longu tempu. Hà presidutu è participatu à u Giappone "Pianu d'Innovazione Tecnulugia Disruptive" prughjettu, a Società Giapponese per a Prumuzione di a Scienza di u fondu di ricerca scientifica di a ricerca di basa di u prughjettu S-level, Prughjettu di livellu A, Prughjettu di livellu B, prughjettu di ricerca spiciali è prughjettu Advanced Storage Technology Association, ecc., è hè attualmente incaricatu di a ricerca è di u sviluppu chjave naziunale Ci sò parechji prughjetti di ricerca scientifica cum'è u prughjettu di u ghjovanu scientist pianificatu, Prughjettu National Natural Science Foundation, Prughjettu Beijing Natural Science Foundation, Prughjettu di talentu di l'Academia Cinese di Scienze, Prughjettu di sviluppu di l'instrumentu è l'equipaggiu di l'Accademia Cinese di Scienze, è prughjettu di l'impresa affidata.

Modulu di tesoru di tesoru di carica di carica elettronica di corrente costante regolabile

Guida di l'articulu

I sensori Fluxgate sò un tipu di sensori magnetichi vettoriali chì ponu detectà campi magnetichi debuli di bassa frequenza o DC.. Per via di i so vantaghji in a risoluzione, stabilità di a temperatura, accuratezza è sensibilità, sò largamente usati in u posizionamentu di navigazione magnetica, deteczione di u spaziu, rilevazione di minerali, Rilevazione geomagnetica, rilevazione attuale è altri campi. Per risponde à l'applicazioni emergenti di micro-cumpunenti è sistemi, a miniaturizazione di i sensori di fluxgate hè diventatu un hotspot di ricerca di flussu sensori. Sistema Micro-electro-meccanicu (MEMS) U processu furnisce una basa tecnica per a miniaturizazione di i sensori di fluxgate. Stu documentu riassume i principii basi di i sensori di fluxgate, è spiega a storia di sviluppu di a tecnulugia di sensori micro-fluxgate, inclusa a tecnulugia di micromachine, tecnulugia PCB è a tecnulugia MEMS. U prucessu di sviluppu di a tecnulugia di struttura MEMS fluxgate è u statutu di sviluppu di MEMS fluxgate ortogonale sò riassunti, è u futuru focus di ricerca in questu campu hè pruspettiva.

Parolle chjave: sensor di fluxgate; MEMS; misurazione magnetica; applicazione

1 Introduzione

I sensori Fluxgate sò una classe di sensori magnetichi vettoriali chì ponu detectà campi magnetichi debuli di bassa frequenza o DC.. I sensori di fluxgate tradiziunali sò largamente usati in u posizionamentu di navigazione magnetica, deteczione di u spaziu, rilevazione di minerali, rilevazione geomagnetica, rilevazione attuale è altri campi per via di i so vantaghji in a risoluzione, stabilità di a temperatura, precisione è sensibilità. Diversi micro droni, dispusitivi portatili, micro satelliti, micro sensori di corrente, petite bussole elettroniche, a biomedicina è altri campi d'applicazione anu esigenze più altu per a qualità, vulume, cunsumu di energia è integrazione di fluxgates. Per risponde à l'applicazioni emergenti di micro-cumpunenti è sistemi, a miniaturizazione di i sensori di fluxgate hè diventatu un hotspot di ricerca di i sensori di fluxgate.

2 Principiu è struttura di u flussu solidu

Fluxgate parallelu - Prugressu di a Ricerca di u Sensore Fluxgate Basatu nantu à u Sistema Micro Electro Mechanical (MEMS)

3 Storia di a miniaturizazione di Fluxgate
3.1 Fluxgate micromacinato
3.2 PCB Fluxgate
3.3 MEMS Fluxgate
4 Ricerca MEMS Fluxgate
4.1 Tecnulugia
4.2 Struttura
4.3 Fluxgate ortogonale
5 Applicazione di MEMS Fluxgate
5.1 Roboti
5.2 Test attuale
5.3 Rilevazione biomagnetica
5.4 Esplorazione spaziale
6 Epilogu

in cunclusioni

In l'ultimi trè decennii, fluxgates anu fattu un grande prugressu in a miniaturizazione, è i prublemi di altu rumore, bassa sensibilità, è a grande deriva di temperatura causata da a miniaturizazione di i flussi sò stati migliurati. A tecnulugia MEMS hè attualmente un puntu caldu in a miniaturizazione di i flussi. I Fluxgates chì utilizanu a tecnulugia MEMS anu caratteristiche eccellenti cum'è una piccula dimensione, low cost, alta integrazione è alta corrispondenza, è sò stati largamente usati in parechji campi.
In u futuru, I fluxgate MEMS anu bisognu di ottimisà più a so struttura, prucessu di fabricazione, materiale di core magneticu, è circuit matching per ottene sonde cù sensibilità più altu, rumore più bassu, è megliu in forma strutturale. Attualmente, a tecnulugia di sensori di flussu bidimensionale basatu nantu à a tecnulugia MEMS hè abbastanza matura. Hè cresce chì cù u sviluppu di a tecnulugia MEMS, u sensoru integratu MEMS fluxgate à trè assi ùn deve esse luntanu.