A mikroelektromechanikai rendszeren alapuló fluxgate érzékelő kutatási előrehaladása (MEMS)

Chen Jiamin csapata a Kínai Tudományos Akadémiától: A mikroelektromechanikai rendszereken alapuló fluxgate érzékelők kutatásának előrehaladása (MEMS)

A következő cikkek a mágneses anyagok és eszközök szerkesztőségétől származnak, a szerző pedig a Magnetic Journal szerkesztőségéből származik

csapat bemutatkozása

úr. Chen Jiamin, kutatója a "State Key Laboratory of Sensing Technology" a Kínai Tudományos Akadémia Repülési Információs Innovációs Intézetének munkatársa, doktori témavezető, jelöltje a "Száz Tehetség Program" a Kínai Tudományos Akadémia, speciális kutató (közösség) a Japán Tudományfejlesztési Társaság tagja (JSPS), IEEE Magnetics A társaság tagja, az Országos Anyag- és Eszköztanács tagja Mágneses Anyagok Szakértői Csoport szakértője.

Állítható állandó áramú elektronikus terhelés - töltés kincsvizsgáló - öregedő kisülési modul - gyorstöltő és kisütési ellenállás

Új érzékelő anyagok kutatásával foglalkozott, mágneses érzékelők, spintronikus fizika, anyagok és eszközök hosszú ideig. Ő elnökölt és részt vett Japánban "Bomlasztó technológiai innovációs terv" projekt, a Japan Society for the Promotion of Science tudományos kutatási alap alapkutatási S-szintű projektje, A-szintű projekt, B-szintű projekt, speciális kutatói projekt és Advanced Storage Technology Association projekt, stb., és jelenleg a nemzeti kulcsfontosságú kutatásért és fejlesztésért felelős. Számos tudományos kutatási projekt létezik, mint például a tervezett fiatal tudós projekt, Országos Természettudományi Alapítvány projektje, Peking Természettudományi Alapítvány projektje, Kínai Tudományos Akadémia tehetségkutató projektje, A Kínai Tudományos Akadémia műszer- és berendezésfunkciójának fejlesztési projektje, és a vállalkozás által megbízott projekt.

Állítható állandó áramú elektronikus terhelés töltő kincsvizsgáló modul

Cikk útmutató

A fluxgate érzékelők olyan vektoros mágneses érzékelők, amelyek képesek érzékelni a gyenge alacsony frekvenciájú vagy egyenáramú mágneses tereket. Felbontásbeli előnyeik miatt, hőmérsékleti stabilitás, pontosság és érzékenység, széles körben használják a mágneses navigációs helymeghatározásban, térérzékelés, ásványfelderítés, Geomágneses érzékelés, áramérzékelés és egyéb mezők. A mikrokomponensek és rendszerek feltörekvő alkalmazásainak kielégítése érdekében, a fluxgate érzékelők miniatürizálása a fluxgate kutatási központjává vált érzékelők. Mikro-elektro-mechanikus rendszer (MEMS) feldolgozás technikai alapot ad a fluxgate érzékelők miniatürizálásához. Ez a cikk összefoglalja a fluxgate érzékelők alapelveit, és kifejti a mikro-fluxgate érzékelő technológia fejlődési történetét, beleértve a mikromegmunkálási technológiát, PCB technológia és MEMS technológia. Összefoglalva a MEMS fluxgate szerkezeti technológia fejlesztési folyamatát és a MEMS ortogonális fluxgate fejlesztési állapotát, és a jövőbeni kutatási fókusz ezen a területen várható.

Kulcsszavak: fluxusgate érzékelő; MEMS; mágneses mérés; Alkalmazás

1 Bevezetés

A Fluxgate érzékelők a vektor mágneses érzékelők egy osztálya, amelyek képesek érzékelni a gyenge alacsony frekvenciájú vagy egyenáramú mágneses tereket. A hagyományos fluxgate érzékelőket széles körben használják a mágneses navigációs helymeghatározásban, térérzékelés, ásványfelderítés, geomágneses érzékelés, áramérzékelés és egyéb mezők felbontásbeli előnyei miatt, hőmérsékleti stabilitás, pontosság és érzékenység. Különféle mikro drónok, kézi eszközök, mikro műholdak, mikroáram érzékelők, kis elektronikus iránytűk, a biomedicina és más alkalmazási területek magasabb minőségi követelményeket támasztanak, hangerő, energiafogyasztás és fluxgate integrálása. A mikrokomponensek és rendszerek feltörekvő alkalmazásainak kielégítése érdekében, a fluxgate érzékelők miniatürizálása a fluxgate érzékelők kutatási központjává vált.

2 Szilárd fluxuskapu elve és szerkezete

párhuzamos fluxgate - A mikroelektromechanikai rendszeren alapuló fluxgate érzékelő kutatási előrehaladása (MEMS)

3 Fluxgate miniatürizálás története
3.1 Mikromegmunkált Fluxgate
3.2 PCB Fluxgate
3.3 MEMS Fluxgate
4 MEMS Fluxgate kutatás
4.1 Technológia
4.2 Szerkezet
4.3 Ortogonális Fluxgate
5 A MEMS Fluxgate alkalmazása
5.1 Robotok
5.2 Aktuális teszt
5.3 Biomágneses érzékelés
5.4 Űrkutatás
6 Epilógus

Következtetésképpen

Az elmúlt három évtizedben, A fluxgates nagy előrelépést tett a miniatürizálás terén, és a magas zajproblémák, alacsony érzékenység, és a fluxuskapuk miniatürizálása által okozott nagy hőmérséklet-eltolódást javították. A MEMS technológia jelenleg a fluxuskapuk miniatürizálásának egyik leghíresebb pontja. A MEMS technológiát használó fluxuskapuk kiváló tulajdonságokkal rendelkeznek, mint például a kis méret, alacsony költségű, magas integráció és magas illeszkedés, és számos területen széles körben alkalmazták.
A jövőben, A MEMS fluxgate-eknek tovább kell optimalizálniuk szerkezetüket, gyártási folyamat, mágneses mag anyaga, és az áramkör illesztése nagyobb érzékenységű szondák előállításához, alacsonyabb zajszint, és jobb szerkezeti illeszkedés. Jelenleg, A MEMS technológián alapuló kétdimenziós fluxgate érzékelő technológia meglehetősen kiforrott. Úgy gondolják, hogy a MEMS technológia fejlődésével, az integrált MEMS háromtengelyes fluxgate érzékelő ne legyen messze.