മൈക്രോ ഇലക്ട്രോ മെക്കാനിക്കൽ സിസ്റ്റത്തെ അടിസ്ഥാനമാക്കിയുള്ള ഫ്ലക്സ്ഗേറ്റ് സെൻസറിന്റെ ഗവേഷണ പുരോഗതി (MEMS)

ചൈനീസ് അക്കാദമി ഓഫ് സയൻസസിൽ നിന്നുള്ള ചെൻ ജിയാമിന്റെ ടീം: മൈക്രോ ഇലക്ട്രോ മെക്കാനിക്കൽ സിസ്റ്റങ്ങളെ അടിസ്ഥാനമാക്കിയുള്ള ഫ്ലക്സ്ഗേറ്റ് സെൻസറുകളെക്കുറിച്ചുള്ള ഗവേഷണ പുരോഗതി (MEMS)

കാന്തിക വസ്തുക്കളുടെയും ഉപകരണങ്ങളുടെയും എഡിറ്റോറിയൽ വിഭാഗത്തിൽ നിന്നുള്ളതാണ് ഇനിപ്പറയുന്ന ലേഖനങ്ങൾ, മാഗ്നറ്റിക് ജേർണലിന്റെ എഡിറ്റോറിയൽ വിഭാഗത്തിൽ നിന്നുള്ളയാളാണ് രചയിതാവ്

ടീം ആമുഖം

മിസ്റ്റർ. ചെൻ ജിയാമിൻ, എന്ന ഗവേഷകൻ "സ്റ്റേറ്റ് കീ ലബോറട്ടറി ഓഫ് സെൻസിംഗ് ടെക്നോളജി" ചൈനീസ് അക്കാദമി ഓഫ് സയൻസസിന്റെ എയ്‌റോസ്‌പേസ് ഇൻഫർമേഷൻ ഇന്നൊവേഷൻ ഇൻസ്റ്റിറ്റ്യൂട്ടിന്റെ, ഒരു ഡോക്ടറൽ സൂപ്പർവൈസർ, യുടെ ഒരു സ്ഥാനാർത്ഥി "നൂറ് പ്രതിഭകളുടെ പ്രോഗ്രാം" ചൈനീസ് അക്കാദമി ഓഫ് സയൻസസിന്റെ, ഒരു പ്രത്യേക ഗവേഷകൻ (കൂട്ടായ്മ) ജപ്പാൻ സൊസൈറ്റി ഫോർ ദ പ്രമോഷൻ ഓഫ് സയൻസ് (ജെ.എസ്.പി.എസ്), IEEE മാഗ്നെറ്റിക്സ് സൊസൈറ്റി അംഗം, നാഷണൽ കൗൺസിൽ ഓഫ് മെറ്റീരിയൽസ് ആൻഡ് ഡിവൈസസ് മാഗ്നറ്റിക് മെറ്റീരിയൽസ് എക്സ്പെർട്ട് ഗ്രൂപ്പ് അംഗം.

ക്രമീകരിക്കാവുന്ന സ്ഥിരമായ നിലവിലെ ഇലക്ട്രോണിക് ലോഡ് - ചാർജിംഗ് ട്രഷർ ടെസ്റ്റർ - പ്രായമാകൽ ഡിസ്ചാർജ് മൊഡ്യൂൾ - ഫാസ്റ്റ് ചാർജും ഡിസ്ചാർജ് റെസിസ്റ്ററും

പുതിയ സെൻസിംഗ് മെറ്റീരിയലുകളുടെ ഗവേഷണത്തിൽ ഏർപ്പെട്ടിരിക്കുകയാണ് അദ്ദേഹം, കാന്തിക സെൻസറുകൾ, സ്പിൻട്രോണിക് ഭൗതികശാസ്ത്രം, വളരെക്കാലം മെറ്റീരിയലുകളും ഉപകരണങ്ങളും. ജപ്പാനിൽ അദ്ദേഹം അദ്ധ്യക്ഷത വഹിക്കുകയും പങ്കെടുക്കുകയും ചെയ്തിട്ടുണ്ട് "വിനാശകരമായ സാങ്കേതിക നവീകരണ പദ്ധതി" പദ്ധതി, ജപ്പാൻ സൊസൈറ്റി ഫോർ പ്രമോഷൻ ഓഫ് സയൻസ് സയന്റിഫിക് റിസർച്ച് ഫണ്ട് അടിസ്ഥാന ഗവേഷണ എസ്-ലെവൽ പ്രോജക്റ്റ്, എ-ലെവൽ പദ്ധതി, ബി-ലെവൽ പദ്ധതി, പ്രത്യേക ഗവേഷക പദ്ധതിയും അഡ്വാൻസ്ഡ് സ്റ്റോറേജ് ടെക്നോളജി അസോസിയേഷൻ പദ്ധതിയും, തുടങ്ങിയവ., നിലവിൽ ദേശീയ പ്രധാന ഗവേഷണത്തിന്റെയും വികസനത്തിന്റെയും ചുമതല വഹിക്കുന്നു. ആസൂത്രണം ചെയ്ത യുവ ശാസ്ത്രജ്ഞൻ പദ്ധതി പോലുള്ള നിരവധി ശാസ്ത്ര ഗവേഷണ പദ്ധതികൾ ഉണ്ട്, നാഷണൽ നാച്ചുറൽ സയൻസ് ഫൗണ്ടേഷൻ പദ്ധതി, ബീജിംഗ് നാച്ചുറൽ സയൻസ് ഫൗണ്ടേഷൻ പദ്ധതി, ചൈനീസ് അക്കാദമി ഓഫ് സയൻസസ് ടാലന്റ് പ്രോജക്റ്റ്, ചൈനീസ് അക്കാദമി ഓഫ് സയൻസസ് ഇൻസ്ട്രുമെന്റ് ആൻഡ് എക്യുപ്‌മെന്റ് ഫംഗ്ഷൻ വികസന പദ്ധതി, എന്റർപ്രൈസ് ഏൽപ്പിച്ച പദ്ധതിയും.

ക്രമീകരിക്കാവുന്ന സ്ഥിരമായ നിലവിലെ ഇലക്ട്രോണിക് ലോഡ് ചാർജിംഗ് ട്രഷർ ടെസ്റ്റർ മൊഡ്യൂൾ

ലേഖന ഗൈഡ്

ഫ്ലക്സ്ഗേറ്റ് സെൻസറുകൾ ഒരു തരം വെക്റ്റർ മാഗ്നറ്റിക് സെൻസറുകളാണ്, അവയ്ക്ക് ദുർബലമായ ലോ-ഫ്രീക്വൻസി അല്ലെങ്കിൽ ഡിസി കാന്തിക ഫീൽഡുകൾ കണ്ടെത്താനാകും.. റെസല്യൂഷനിലെ അവരുടെ നേട്ടങ്ങൾ കാരണം, താപനില സ്ഥിരത, കൃത്യതയും സംവേദനക്ഷമതയും, കാന്തിക നാവിഗേഷൻ പൊസിഷനിംഗിൽ അവ വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കുന്നു, ബഹിരാകാശ കണ്ടെത്തൽ, ധാതു കണ്ടെത്തൽ, ജിയോമാഗ്നറ്റിക് കണ്ടെത്തൽ, നിലവിലെ കണ്ടെത്തലും മറ്റ് ഫീൽഡുകളും. മൈക്രോ ഘടകങ്ങളുടെയും സിസ്റ്റങ്ങളുടെയും ഉയർന്നുവരുന്ന ആപ്ലിക്കേഷനുകൾ നിറവേറ്റുന്നതിനായി, ഫ്ലക്സ്ഗേറ്റ് സെൻസറുകളുടെ മിനിയേച്ചറൈസേഷൻ ഫ്ലക്സ്ഗേറ്റിന്റെ ഒരു ഗവേഷണ കേന്ദ്രമായി മാറിയിരിക്കുന്നു സെൻസറുകൾ. മൈക്രോ-ഇലക്ട്രോ മെക്കാനിക്കൽ സിസ്റ്റം (MEMS) പ്രോസസ്സിംഗ് ഫ്ലക്സ്ഗേറ്റ് സെൻസറുകളുടെ മിനിയേച്ചറൈസേഷനുള്ള ഒരു സാങ്കേതിക അടിസ്ഥാനം നൽകുന്നു. ഈ പേപ്പർ ഫ്ലക്സ്ഗേറ്റ് സെൻസറുകളുടെ അടിസ്ഥാന തത്വങ്ങൾ സംഗ്രഹിക്കുന്നു, കൂടാതെ മൈക്രോ ഫ്ലക്സ്ഗേറ്റ് സെൻസർ സാങ്കേതികവിദ്യയുടെ വികസന ചരിത്രം വിശദീകരിക്കുന്നു, മൈക്രോമച്ചിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യ ഉൾപ്പെടെ, പിസിബി സാങ്കേതികവിദ്യ കൂടാതെ MEMS സാങ്കേതികവിദ്യയും. MEMS ഫ്ലക്സ്ഗേറ്റ് ഘടന സാങ്കേതികവിദ്യയുടെ വികസന പ്രക്രിയയും MEMS ഓർത്തോഗണൽ ഫ്ലക്സ്ഗേറ്റിന്റെ വികസന നിലയും സംഗ്രഹിച്ചിരിക്കുന്നു, ഈ മേഖലയിലെ ഭാവി ഗവേഷണ കേന്ദ്രീകരണം പ്രതീക്ഷിക്കുന്നു.

പ്രധാന വാക്കുകൾ: ഫ്ലക്സ്ഗേറ്റ് സെൻസർ; MEMS; കാന്തിക അളവ്; അപേക്ഷ

1 ആമുഖം

ഫ്ലക്സ്ഗേറ്റ് സെൻസറുകൾ ദുർബലമായ ലോ-ഫ്രീക്വൻസി അല്ലെങ്കിൽ ഡിസി മാഗ്നെറ്റിക് ഫീൽഡുകൾ കണ്ടെത്താൻ കഴിയുന്ന വെക്റ്റർ മാഗ്നറ്റിക് സെൻസറുകളുടെ ഒരു വിഭാഗമാണ്.. മാഗ്നറ്റിക് നാവിഗേഷൻ പൊസിഷനിംഗിൽ പരമ്പരാഗത ഫ്ലക്സ്ഗേറ്റ് സെൻസറുകൾ വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കുന്നു, ബഹിരാകാശ കണ്ടെത്തൽ, ധാതു കണ്ടെത്തൽ, ജിയോമാഗ്നറ്റിക് ഡിറ്റക്ഷൻ, നിലവിലെ കണ്ടെത്തലും മറ്റ് ഫീൽഡുകളും റെസല്യൂഷനിലെ ഗുണങ്ങൾ കാരണം, താപനില സ്ഥിരത, കൃത്യതയും സംവേദനക്ഷമതയും. വിവിധ മൈക്രോ ഡ്രോണുകൾ, ഹാൻഡ്ഹെൽഡ് ഉപകരണങ്ങൾ, സൂക്ഷ്മ ഉപഗ്രഹങ്ങൾ, മൈക്രോ കറന്റ് സെൻസറുകൾ, ചെറിയ ഇലക്ട്രോണിക് കോമ്പസുകൾ, ബയോമെഡിസിനും മറ്റ് ആപ്ലിക്കേഷൻ ഫീൽഡുകൾക്കും ഗുണനിലവാരത്തിന് ഉയർന്ന ആവശ്യകതകളുണ്ട്, വ്യാപ്തം, വൈദ്യുതി ഉപഭോഗവും ഫ്ലക്സ്ഗേറ്റുകളുടെ സംയോജനവും. മൈക്രോ ഘടകങ്ങളുടെയും സിസ്റ്റങ്ങളുടെയും ഉയർന്നുവരുന്ന ആപ്ലിക്കേഷനുകൾ നിറവേറ്റുന്നതിനായി, ഫ്ലക്സ്ഗേറ്റ് സെൻസറുകളുടെ മിനിയേച്ചറൈസേഷൻ ഫ്ലക്സ്ഗേറ്റ് സെൻസറുകളുടെ ഒരു ഗവേഷണ കേന്ദ്രമായി മാറിയിരിക്കുന്നു.

2 സോളിഡ് ഫ്ലക്സ്ഗേറ്റിന്റെ തത്വവും ഘടനയും

സമാന്തര ഫ്ലക്സ്ഗേറ്റ് - മൈക്രോ ഇലക്ട്രോ മെക്കാനിക്കൽ സിസ്റ്റത്തെ അടിസ്ഥാനമാക്കിയുള്ള ഫ്ലക്സ്ഗേറ്റ് സെൻസറിന്റെ ഗവേഷണ പുരോഗതി (MEMS)

3 ഫ്ലക്സ്ഗേറ്റ് മിനിയേച്ചറൈസേഷൻ ചരിത്രം
3.1 മൈക്രോമെഷീൻ ഫ്ലക്സ്ഗേറ്റ്
3.2 പിസിബി ഫ്ലക്സ്ഗേറ്റ്
3.3 MEMS ഫ്ലക്സ്ഗേറ്റ്
4 MEMS ഫ്ലക്സ്ഗേറ്റ് ഗവേഷണം
4.1 സാങ്കേതികവിദ്യ
4.2 ഘടന
4.3 ഓർത്തോഗണൽ ഫ്ലക്സ്ഗേറ്റ്
5 MEMS ഫ്ലക്സ്ഗേറ്റിന്റെ പ്രയോഗം
5.1 റോബോട്ടുകൾ
5.2 നിലവിലെ ടെസ്റ്റ്
5.3 ബയോമാഗ്നറ്റിക് ഡിറ്റക്ഷൻ
5.4 ബഹിരാകാശ പര്യവേഷണം
6 ഉപസംഹാരം

ഉപസംഹാരമായി

കഴിഞ്ഞ മൂന്ന് പതിറ്റാണ്ടുകളായി, ഫ്ളക്സ്ഗേറ്റുകൾ മിനിയേച്ചറൈസേഷനിൽ വലിയ പുരോഗതി കൈവരിച്ചു, ഉയർന്ന ശബ്ദത്തിന്റെ പ്രശ്നങ്ങളും, കുറഞ്ഞ സംവേദനക്ഷമത, ഫ്ലക്സ്ഗേറ്റുകളുടെ മിനിയേച്ചറൈസേഷൻ മൂലമുണ്ടാകുന്ന വലിയ താപനില വ്യതിയാനവും മെച്ചപ്പെടുത്തിയിട്ടുണ്ട്. ഫ്ലക്സ്ഗേറ്റുകളുടെ ചെറുവൽക്കരണത്തിൽ MEMS സാങ്കേതികവിദ്യ നിലവിൽ ഒരു ഹോട്ട് സ്പോട്ടാണ്. MEMS സാങ്കേതികവിദ്യ ഉപയോഗിക്കുന്ന ഫ്ലക്സ്ഗേറ്റുകൾക്ക് ചെറിയ വലിപ്പം പോലുള്ള മികച്ച സവിശേഷതകളുണ്ട്, ചെലവുകുറഞ്ഞത്, ഉയർന്ന സംയോജനവും ഉയർന്ന പൊരുത്തവും, കൂടാതെ പല മേഖലകളിലും വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കപ്പെട്ടിട്ടുണ്ട്.
ഭാവിയിൽ, MEMS ഫ്ലക്സ്ഗേറ്റുകൾക്ക് അവയുടെ ഘടന കൂടുതൽ ഒപ്റ്റിമൈസ് ചെയ്യേണ്ടതുണ്ട്, നിര്മ്മാണ പ്രക്രിയ, കാന്തിക കോർ മെറ്റീരിയൽ, ഉയർന്ന സംവേദനക്ഷമതയുള്ള പേടകങ്ങൾ ലഭിക്കുന്നതിന് സർക്യൂട്ട് പൊരുത്തപ്പെടുത്തലും, താഴ്ന്ന ശബ്ദം, മികച്ച ഘടനാപരമായ ഫിറ്റും. നിലവിൽ, MEMS സാങ്കേതികവിദ്യയെ അടിസ്ഥാനമാക്കിയുള്ള ദ്വിമാന ഫ്ലക്സ്ഗേറ്റ് സെൻസർ സാങ്കേതികവിദ്യ വളരെ പക്വതയുള്ളതാണ്. MEMS സാങ്കേതികവിദ്യയുടെ വികാസത്തോടെ അത് വിശ്വസിക്കപ്പെടുന്നു, സംയോജിത MEMS ത്രീ-ആക്സിസ് ഫ്ലക്സ്ഗേറ്റ് സെൻസർ വളരെ അകലെയായിരിക്കരുത്.