Progress tar-Riċerka tas-Sensor Fluxgate Ibbażat fuq Sistema Mikro-Electro Mechanical (MEMS)

It-tim ta 'Chen Jiamin mill-Akkademja tax-Xjenzi Ċiniża: Progress tar-riċerka fuq sensuri fluxgate bbażati fuq sistemi mikroelettromekkaniċi (MEMS)

L-artikoli li ġejjin huma mid-dipartiment editorjali ta 'materjali u tagħmir manjetiku, u l-awtur huwa mid-dipartiment editorjali ta 'Magnetic Journal

introduzzjoni tat-tim

Mr. Chen Jiamin, riċerkatur tal- "Laboratorju Ewlenin tal-Istat tat-Teknoloġija tas-Sensing" tal-Istitut tal-Innovazzjoni tal-Informazzjoni Aerospazjali tal-Akkademja tax-Xjenzi Ċiniża, superviżur tad-dottorat, kandidat tal- "Programm ta' Mitt Talenti" tal-Akkademja Ċiniża tax-Xjenzi, riċerkatur speċjali (kumpanija) tas-Soċjetà tal-Ġappun għall-Promozzjoni tax-Xjenza (JSPS), IEEE Magnetics Membru tas-soċjetà, membru tal-Kunsill Nazzjonali tal-Materjali u Apparat espert tal-Grupp ta 'Esperti dwar Materjali Manjetiċi.

Tagħbija elettronika kurrenti kostanti aġġustabbli - iċċarġjar teżor tester - modulu ta 'discharge aging - reżistenza veloċi ta 'ċarġ u skariku

Huwa kien involut fir-riċerka ta 'materjali sensing ġodda, Sensuri manjetiċi, il-fiżika spintronika, materjali u apparati għal żmien twil. Huwa ppreseda u pparteċipa fil-Ġappun "Pjan ta' Innovazzjoni Teknoloġika li Tfixkel" proġett, is-Soċjetà tal-Ġappun għall-Promozzjoni tax-Xjenza tal-fond tar-riċerka xjentifika tal-proġett ta 'livell S ta' riċerka bażika, Proġett ta' livell A, Proġett ta' livell B, proġett speċjali ta 'riċerkatur u proġett ta' Assoċjazzjoni tat-Teknoloġija Avvanzata tal-Ħżin, eċċ., u bħalissa huwa responsabbli mir-riċerka u l-iżvilupp ewlenin nazzjonali Hemm ħafna proġetti ta 'riċerka xjentifika bħal proġett ippjanat ta' xjenzat żagħżugħ, Proġett tal-Fondazzjoni Nazzjonali tax-Xjenza Naturali, Proġett tal-Fondazzjoni tax-Xjenza Naturali ta 'Beijing, Proġett ta 'talent tal-Akkademja tax-Xjenzi Ċiniża, Proġett ta 'żvilupp tal-funzjoni tal-istrument u t-tagħmir tal-Akkademja Ċiniża tax-Xjenzi, u l-intrapriża fdata proġett.

Modulu tat-teżor tat-teżor tal-iċċarġjar tat-tagħbija elettronika kurrenti kostanti aġġustabbli

Gwida tal-artiklu

Is-sensuri Fluxgate huma tip ta 'sensors manjetiċi tal-vettur li jistgħu jiskopru kampi manjetiċi dgħajfa ta' frekwenza baxxa jew DC.. Minħabba l-vantaġġi tagħhom fir-riżoluzzjoni, stabbiltà tat-temperatura, preċiżjoni u sensittività, huma użati ħafna fil-pożizzjonament tan-navigazzjoni manjetika, skoperta spazjali, sejbien ta' minerali, Sejbien ġeomanjetiku, sejbien kurrenti u oqsma oħra. Sabiex jintlaħqu l-applikazzjonijiet emerġenti ta 'mikro-komponenti u sistemi, il-minjaturizzazzjoni ta 'sensors fluxgate saret hotspot ta' riċerka ta 'fluxgate sensuri. Sistema mikro-elettro-mekkanika (MEMS) l-ipproċessar jipprovdi bażi teknika għall-minjaturizzazzjoni ta 'sensors fluxgate. Dan id-dokument jiġbor fil-qosor il-prinċipji bażiċi ta 'sensors fluxgate, u jesponi l-istorja tal-iżvilupp tat-teknoloġija tas-sensorju mikro-fluxgate, inkluża t-teknoloġija tal-mikromagni, Teknoloġija PCB u t-teknoloġija MEMS. Il-proċess ta 'żvilupp tat-teknoloġija tal-istruttura tal-fluxgate MEMS u l-istatus tal-iżvilupp tal-fluxgate ortogonali MEMS huma mqassra, u l-fokus futur tar-riċerka f'dan il-qasam huwa prospettiv.

Kliem ewlieni: sensur tal-fluxgate; MEMS; kejl manjetiku; applikazzjoni

1 Introduzzjoni

Is-sensuri Fluxgate huma klassi ta’ sensuri manjetiċi tal-vettur li jistgħu jiskopru kampi manjetiċi dgħajfa ta’ frekwenza baxxa jew DC. Is-sensuri tal-fluxgate tradizzjonali jintużaw ħafna fil-pożizzjonament tan-navigazzjoni manjetika, skoperta spazjali, sejbien ta' minerali, skoperta ġeomanjetika, sejbien kurrenti u oqsma oħra minħabba l-vantaġġi tagħhom fir-riżoluzzjoni, stabbiltà tat-temperatura, preċiżjoni u sensittività. Diversi mikro drones, apparat li jinżamm fl-idejn, mikro satelliti, Sensuri tal-kurrent mikro, boxxli elettroniċi żgħar, il-bijomediċina u oqsma oħra ta 'applikazzjoni għandhom rekwiżiti ogħla għall-kwalità, volum, konsum ta 'enerġija u integrazzjoni ta' fluxgates. Sabiex jintlaħqu l-applikazzjonijiet emerġenti ta 'mikro-komponenti u sistemi, il-minjaturizzazzjoni ta 'sensors fluxgate saret hotspot ta' riċerka ta 'sensors fluxgate.

2 Prinċipju u struttura ta 'fluxgate solidu

fluxgate paralleli - Progress tar-Riċerka tas-Sensor Fluxgate Ibbażat fuq Sistema Mikro-Electro Mechanical (MEMS)

3 Storja tal-minjaturizzazzjoni tal-Fluxgate
3.1 Fluxgate micromachined
3.2 PCB Fluxgate
3.3 MEMS Fluxgate
4 MEMS Fluxgate Riċerka
4.1 Teknoloġija
4.2 Struttura
4.3 Fluxgate ortogonali
5 Applikazzjoni ta' MEMS Fluxgate
5.1 Robots
5.2 Test kurrenti
5.3 Sejbien bijomanjetiku
5.4 Esplorazzjoni Spazjali
6 Epilogu

fil-konklużjoni

Matul l-aħħar tliet deċennji, fluxgates għamlu progress kbir fil-minjaturizzazzjoni, u l-problemi ta 'ħoss għoli, sensittività baxxa, u drift kbir fit-temperatura ikkawżat mill-minjaturizzazzjoni tal-fluxgates ġew imtejba. It-teknoloġija MEMS bħalissa hija hot spot fil-minjaturizzazzjoni tal-fluxgates. Fluxgates li jużaw it-teknoloġija MEMS għandhom karatteristiċi eċċellenti bħal daqs żgħir, prezz baxx, integrazzjoni għolja u tqabbil għoli, u ntużaw ħafna f'ħafna oqsma.
Fil-futur, MEMS fluxgates jeħtieġ li jottimizzaw aktar l-istruttura tagħhom, proċess tal-manifattura, materjal tal-qalba manjetika, u t-tqabbil taċ-ċirkwit biex jinkisbu sondi b'sensittività ogħla, inqas storbju, u tajbin strutturali aħjar. Bhalissa, it-teknoloġija tas-sensor tal-fluxgate bidimensjonali bbażata fuq it-teknoloġija MEMS hija pjuttost matura. Huwa maħsub li bl-iżvilupp tat-teknoloġija MEMS, is-sensor tal-fluxgate bi tliet assi MEMS integrat m'għandux ikun 'il bogħod.