Напредък на научните изследвания на сензор с fluxgate, базиран на микро електромеханична система (MEMS)

Екипът на Chen Jiamin от Китайската академия на науките: Напредък в изследванията на fluxgate сензори, базирани на микроелектромеханични системи (MEMS)

Следните статии са от редакционния отдел на магнитни материали и устройства, а авторът е от редакцията на Magnetic Journal

представяне на екипа

г-н. Чен Дзямин, изследовател на "Държавна ключова лаборатория по сензорни технологии" от Института за аерокосмическа информация към Китайската академия на науките, докторантски ръководител, кандидат на "Програма Сто таланта" на Китайската академия на науките, специален изследовател (съдружие) на Японското общество за насърчаване на науката (JSPS), IEEE Magnetics Член на обществото, член на Националния съвет по материали и устройства Експертна група за магнитни материали.

Регулируем електронен товар с постоянен ток - зареждане на тестер за съкровища - стареещ разряден модул - резистор за бързо зареждане и разреждане

Той се занимава с изследване на нови сензорни материали, магнитни сензори, спинтронна физика, материали и устройства за дълго време. Той е председателствал и участвал в Япония "План за разрушителни технологични иновации" проект, фондът за научни изследвания на Японското общество за насърчаване на науката за основни изследвания S-ниво, Проект на ниво А, Проект на B ниво, специален изследователски проект и проект на Advanced Storage Technology Association, и т.н., и в момента отговаря за националните ключови изследвания и разработки. Има много научноизследователски проекти, като например планиран проект за млади учени, Проект на Националната природонаучна фондация, Проект на Пекинската фондация за природни науки, Проект за таланти на Китайската академия на науките, Проект за разработване на функции за инструменти и оборудване на Китайската академия на науките, и поверен на предприятието проект.

Регулируем постоянен ток електронен модул за зареждане на съкровища

Ръководство за статии

Сензорите Fluxgate са вид векторни магнитни сензори, които могат да откриват слаби нискочестотни или постоянни магнитни полета. Поради предимствата им в резолюцията, температурна стабилност, точност и чувствителност, те се използват широко в магнитното навигационно позициониране, откриване на пространството, откриване на минерали, Геомагнитно откриване, откриване на ток и други полета. За да отговори на нововъзникващите приложения на микрокомпоненти и системи, миниатюризацията на fluxgate сензори се превърна в изследователска гореща точка на fluxgate сензори. Микро-електро-механична система (MEMS) обработката осигурява техническа основа за миниатюризацията на fluxgate сензори. Тази статия обобщава основните принципи на fluxgate сензорите, и разяснява историята на развитието на микрофлуксгейт сензорната технология, включително технология за микрообработка, PCB технология и MEMS технология. Процесът на разработка на MEMS fluxgate структурна технология и статусът на развитие на MEMS ортогонален fluxgate са обобщени, и се предвижда бъдещият фокус на научните изследвания в тази област.

Ключови думи: fluxgate сензор; MEMS; магнитно измерване; приложение

1 Въвеждането

Сензорите Fluxgate са клас векторни магнитни сензори, които могат да откриват слаби нискочестотни или постоянни магнитни полета. Традиционните fluxgate сензори се използват широко в магнитното навигационно позициониране, откриване на пространството, откриване на минерали, геомагнитно откриване, откриване на ток и други полета поради техните предимства в резолюцията, температурна стабилност, прецизност и чувствителност. Различни микро дронове, ръчни устройства, микро сателити, микротокови сензори, малки електронни компаси, биомедицината и други области на приложение имат по-високи изисквания за качество, сила на звука, консумация на енергия и интегриране на fluxgates. За да отговори на нововъзникващите приложения на микрокомпоненти и системи, миниатюризацията на fluxgate сензори се превърна в изследователска гореща точка на fluxgate сензори.

2 Принцип и структура на твърд fluxgate

паралелен fluxgate - Напредък на научните изследвания на сензор с fluxgate, базиран на микро електромеханична система (MEMS)

3 История на миниатюризацията на Fluxgate
3.1 Флуксгейт с микромашина
3.2 PCB Fluxgate
3.3 MEMS Fluxgate
4 MEMS Fluxgate Research
4.1 технология
4.2 Структура
4.3 Ортогонален fluxgate
5 Приложение на MEMS Fluxgate
5.1 роботи
5.2 Текущ тест
5.3 Биомагнитно откриване
5.4 Изследване на космоса
6 Епилог

в заключение

През последните три десетилетия, fluxgates постигнаха голям напредък в миниатюризацията, и проблемите с високия шум, ниска чувствителност, и големият температурен дрейф, причинен от миниатюризацията на fluxgates, е подобрен. MEMS технологията в момента е гореща точка в миниатюризацията на fluxgates. Флуксгейтовете, използващи технологията MEMS, имат отлични характеристики като малък размер, ниска цена, висока интеграция и високо съвпадение, и са били широко използвани в много области.
В бъдеще, MEMS fluxgates трябва допълнително да оптимизират своята структура, производствен процес, материал на магнитната сърцевина, и съвпадение на верига за получаване на сонди с по-висока чувствителност, по-нисък шум, и по-добро структурно прилягане. В момента, двумерната fluxgate сензорна технология, базирана на технологията MEMS, е доста зряла. Смята се, че с развитието на технологията MEMS, интегрираният MEMS триосен fluxgate сензор не трябва да е далеч.