פאָרשונג פּראָגרעס פון פלוקסגאַטע סענסאָר באזירט אויף מיקראָ עלעקטראָ מעטשאַניקאַל סיסטעם (MEMS)

Chen Jiamin ס מאַנשאַפֿט פון די כינעזיש אַקאַדעמי פון ססיענסעס: פאָרשונג פּראָגרעס אויף פלוקסגאַטע סענסאָרס באזירט אויף מיקראָעלעקטראָמעטשאַניקאַל סיסטעמען (MEMS)

די פאלגענדע אַרטיקלען זענען פֿון דער רעדאקציע פון מאַגנעטיק מאַטעריאַלס און דעוויסעס, און דער מחבר איז פֿון דער לייט אָפּטיילונג פון מאַגנעטיק דזשאָורנאַל

מאַנשאַפֿט הקדמה

הער. טשען דזשיאמין, פאָרשער פון די "שטאַט שליסל לאַבאָראַטאָרי פון סענסינג טעכנאָלאָגיע" פון די אַעראָספּאַסע אינפֿאָרמאַציע יננאָוואַטיאָן אינסטיטוט פון די כינעזיש אַקאַדעמי פון ססיענסעס, אַ דאָקטאָראַל מאַשגיעך, אַ קאַנדידאַט פון די "הונדערט טאלאנטן פראגראם" פון די כינעזיש אַקאַדעמי פון ססיענסעס, אַ ספּעציעלער פאָרשער (חברותאשאפט) פון די יאַפּאַן געזעלשאפט פֿאַר די העכערונג פון וויסנשאַפֿט (JSPS), IEEE מאַגנעטיקס מיטגליד פון דער געזעלשאַפט, מיטגליד פון דער נאַשאַנאַל קאָונסיל פון מאַטעריאַלס און דעוויסעס מאַגנעטיק מאַטעריאַלס עקספּערט גרופע.

אַדזשאַסטאַבאַל קעסיידערדיק קראַנט עלעקטראָניש מאַסע - טשאַרדזשינג אוצר טעסטער - יידזשינג אָפּזאָגן מאָדולע - שנעל אָפּצאָל און אָפּזאָגן רעסיסטאָר

ער איז געווען פאַרקנאַסט אין דער פאָרשונג פון נייַע סענסינג מאַטעריאַלס, מאַגנעטיק סענסאָרס, ספּינטראָניק פיזיק, מאַטעריאַלס און דעוויסעס פֿאַר אַ לאַנג צייַט. ער האט פּריזידאַד און אנטייל אין יאַפּאַן ס "דיסראַפּטיוו טעכנאָלאָגיע יננאָוואַטיאָן פּלאַן" פּרויעקט, די יאַפּאַן געזעלשאפט פֿאַר די העכערונג פון וויסנשאַפֿט ס וויסנשאפטלעכע פאָרשונג פאָנד יקערדיק פאָרשונג ס-מדרגה פּרויעקט, א-מדרגה פּרויעקט, ב-מדרגה פּרויעקט, ספּעציעלע פאָרשער פּרויעקט און אַוואַנסירטע סטאָרידזש טעכנאָלאָגיע אַססאָסיאַטיאָן פּרויעקט, אאז"ו ו, און איז דערווייַל אין באַשולדיקונג פון נאציאנאלע שליסל פאָרשונג און אַנטוויקלונג עס זענען פילע וויסנשאפטלעכע פאָרשונג פּראַדזשעקס אַזאַ ווי פּלאַננעד יונג געלערנטער פּרויעקט, נאַשאַנאַל נאַטוראַל וויסנשאַפֿט וויקיפּעדיע פּרויעקט, בעידזשינג נאַטוראַל וויסנשאַפֿט וויקיפּעדיע פּרויעקט, כינעזיש אַקאַדעמי פון ססיענסעס טאַלאַנט פּרויעקט, כינעזיש אַקאַדעמי פון ססיענסעס קיילע און ויסריכט פונקציאָנירן אַנטוויקלונג פּרויעקט, און פאַרנעמונג ענטראַסטיד פּרויעקט.

אַדזשאַסטאַבאַל קעסיידערדיק קראַנט עלעקטראָניש מאַסע טשאַרדזשינג אוצר טעסטער מאָדולע

אַרטיקל פירער

פלוקסגאַטע סענסאָרס זענען אַ טיפּ פון וועקטאָר מאַגנעטיק סענסאָרס וואָס קענען דעטעקט שוואַך נידעריק-אָפטקייַט אָדער דק מאַגנעטיק פעלדער. ווייַל פון זייער אַדוואַנטידזשיז אין האַכלאָטע, טעמפּעראַטור פעסטקייַט, אַקיעראַסי און סענסיטיוויטי, זיי זענען וויידלי געניצט אין מאַגנעטיק נאַוויגאַציע פּאַזישאַנינג, פּלאַץ דיטעקשאַן, מינעראַל דיטעקשאַן, געאָמאַגנעטיק דיטעקשאַן, קראַנט דיטעקשאַן און אנדערע פעלדער. אין סדר צו טרעפן די ימערדזשינג אַפּלאַקיישאַנז פון מיקראָ קאַמפּאָונאַנץ און סיסטעמען, די מיניאַטוריזאַטיאָן פון פלוקסגאַטע סענסאָרס איז געווארן אַ פאָרשונג האָצפּאָט פון פלוקסגאַטע סענסאָרס. מיקראָ-עלעקטראָ-מעטשאַניקאַל סיסטעם (MEMS) פּראַסעסינג גיט אַ טעכניש יקער פֿאַר די מיניאַטוריזאַטיאָן פון פלוקסגאַטע סענסאָרס. דער פּאַפּיר סאַמערייזיז די גרונט פּרינסאַפּאַלז פון פלוקסגאַטע סענסאָרס, און דערקלערט די אַנטוויקלונג געשיכטע פון מיקראָ-פלוקסגאַטע סענסער טעכנאָלאָגיע, אַרייַנגערעכנט מיקראָמאַשינינג טעכנאָלאָגיע, פּקב טעכנאָלאָגיע און MEMS טעכנאָלאָגיע. דער אַנטוויקלונג פּראָצעס פון MEMS פלוקסגאַטע סטרוקטור טעכנאָלאָגיע און דער אַנטוויקלונג סטאַטוס פון MEMS אָרטאָגאָנאַל פלוקסגאַטע זענען סאַמערייזד, און דער צוקונפֿט פאָרשונג פאָקוס אין דעם פעלד איז פּראָספּעקטעד.

שליסל ווערטער: פלוקסגאַטע סענסער; MEMS; מאַגנעטיק מעזשערמאַנט; אַפּלאַקיישאַן

1 הקדמה

פלוקסגאַטע סענסאָרס זענען אַ קלאַס פון וועקטאָר מאַגנעטיק סענסאָרס וואָס קענען דעטעקט שוואַך נידעריק-אָפטקייַט אָדער דק מאַגנעטיק פעלדער. טראַדיציאָנעל פלוקסגאַטע סענסאָרס זענען וויידלי געניצט אין מאַגנעטיק נאַוויגאַציע פּאַזישאַנינג, פּלאַץ דיטעקשאַן, מינעראַל דיטעקשאַן, דזשיאַמאַגנעטיק דיטעקשאַן, קראַנט דיטעקשאַן און אנדערע פעלדער רעכט צו זייער אַדוואַנטידזשיז אין האַכלאָטע, טעמפּעראַטור פעסטקייַט, פּינטלעכקייַט און סענסיטיוויטי. פאַרשידן מיקראָ דראָנעס, כאַנדכעלד דעוויסעס, מיקראָ סאַטאַלייץ, מיקראָ קראַנט סענסאָרס, קליין עלעקטראָניש קאָמפּאַססעס, ביאָמעדיסינע און אנדערע אַפּלאַקיישאַן פעלדער האָבן העכער קוואַליטעט באדערפענישן, באַנד, מאַכט קאַנסאַמשאַן און ינאַגריישאַן פון פלוקסגאַטעס. אין סדר צו טרעפן די ימערדזשינג אַפּלאַקיישאַנז פון מיקראָ קאַמפּאָונאַנץ און סיסטעמען, די מיניאַטוריזאַטיאָן פון פלוקסגאַטע סענסאָרס איז געווארן אַ פאָרשונג האָצפּאָט פון פלוקסגאַטע סענסאָרס.

2 פּרינציפּ און סטרוקטור פון האַרט פלוקסגאַטע

פּאַראַלעל פלוקסגאַטע - פאָרשונג פּראָגרעס פון פלוקסגאַטע סענסאָר באזירט אויף מיקראָ עלעקטראָ מעטשאַניקאַל סיסטעם (MEMS)

3 געשיכטע פון פלוקסגאַטע מיניאַטוריזאַטיאָן
3.1 מיקראָמאַטשינעד פלוקסגאַטע
3.2 PCB Fluxgate
3.3 MEMS Fluxgate
4 MEMS Fluxgate פאָרשונג
4.1 טעכנאָלאָגיע
4.2 סטרוקטור
4.3 אָרטאָגאָנאַל פלוקסגאַטע
5 אַפּלאַקיישאַן פון MEMS Fluxgate
5.1 ראָובאַץ
5.2 קראַנט טעסט
5.3 ביאָמאַגנעטיק דיטעקשאַן
5.4 ספעיס עקספּלאָראַטיאָן
6 עפּילאָג

אין מסקנא

איבער די לעצטע דריי יאָרצענדלינג, פלוקסגאַטעס האָבן געמאכט גרויס פּראָגרעס אין מיניאַטוריזאַטיאָן, און די פראבלעמען פון הויך ראַש, נידעריק סענסיטיוויטי, און גרויס טעמפּעראַטור דריפט געפֿירט דורך די מיניאַטוריזאַטיאָן פון פלוקסגאַטעס זענען ימפּרוווד. MEMS טעכנאָלאָגיע איז דערווייַל אַ הייס אָרט אין די מיניאַטוריזאַטיאָן פון פלוקסגאַטעס. פלוקסגאַטעס ניצן MEMS טעכנאָלאָגיע האָבן ויסגעצייכנט קעראַקטעריסטיקס אַזאַ ווי קליין גרייס, ביליג, הויך ינאַגריישאַן און הויך ריכטן, און האָבן שוין וויידלי געניצט אין פילע פעלדער.
אין דער צוקונפֿט, MEMS פלוקסגאַטעס דאַרפֿן צו אַפּטאַמייז זייער סטרוקטור, מאַנופאַקטורינג פּראָצעס, מאַגנעטיק האַרץ מאַטעריאַל, און קרייַז וואָס ריכטן זיך צו קריגן פּראָבעס מיט העכער סענסיטיוויטי, נידעריקער ראַש, און בעסער סטראַקטשעראַל פּאַסיק. איצט, די צוויי-דימענשאַנאַל פלוקסגאַטע סענסער טעכנאָלאָגיע באזירט אויף MEMS טעכנאָלאָגיע איז גאַנץ דערוואַקסן. עס איז געגלויבט אַז מיט דער אַנטוויקלונג פון מעמס טעכנאָלאָגיע, די ינאַגרייטיד MEMS דריי-אַקס פלוקסגאַטע סענסער זאָל נישט זיין ווייַט אַוועק.