Fluxgate Sentsorearen Ikerketaren Aurrerapena Sistema Mikro Elektro Mekanikoan oinarrituta (MEMS)

Txinako Zientzien Akademiako Chen Jiaminen taldea: Sistema mikroelekromekanikoetan oinarritutako fluxgate sentsoreen ikerketaren aurrerapena (MEMS)

Material eta gailu magnetikoen erredakzio saileko artikuluak dira, eta egilea Magnetic Journal-eko erredakzio sailekoa da

taldearen aurkezpena

jauna. Chen Jiamin, ikertzailea "Sentsazio Teknologiaren Estatuko Giltza Laborategia" Txinako Zientzien Akademiako Informazio Aeroespazialeko Berrikuntza Institutuaren, doktore-zuzendari bat, ren hautagai bat "Ehun Talentu Programa" Txinako Zientzia Akademiarena, ikertzaile berezi bat (elkartasuna) Zientzia Sustatzeko Japoniako Elkartearen eskutik (JSPS), IEEE Magnetics Elkarteko kidea, Materialen eta Gailuen Kontseilu Nazionaleko kidea Material Magnetikoen Adituen Taldeko aditua.

Korronte konstanteko karga elektroniko erregulagarria - altxorraren probatzailea kargatzen - zahartze deskarga modulua - karga eta deskarga azkarreko erresistentzia

Sentsazio-material berrien ikerketan aritu da, sentsore magnetikoak, fisika espintronikoa, materialak eta gailuak denbora luzez. Japoniako buru izan da eta bertan parte hartu du "Disruptive Teknologia Berrikuntza Plana" proiektua, Japoniako Zientziaren Sustapenerako Elkartearen ikerketa zientifikoko funtsaren oinarrizko ikerketa S-mailako proiektua, A mailako proiektua, B mailako proiektua, ikertzaile bereziaren proiektua eta Biltegiratze Teknologia Aurreratuen Elkartearen proiektua, etab., eta gaur egun nazio mailako ikerketa eta garapenaren arduraduna da Ikerketa zientifikoko proiektu asko daude, hala nola, zientzialari gazteen proiektua, National Natural Science Foundation proiektua, Beijing Natural Science Foundation proiektua, Txinako Zientzien Akademiako talentu proiektua, Txinako Zientzien Akademiako tresna eta ekipoen funtzioak garatzeko proiektua, eta enpresaren eskudun proiektua.

Korronte konstante erregulagarria karga elektronikoa kargatzeko altxorra probatzeko modulua

Artikulu gida

Fluxgate sentsoreak maiztasun baxuko edo DC eremu magnetiko ahulak detektatzeko sentsore magnetiko bektorial mota bat dira.. Ebazpenean dituzten abantailengatik, tenperatura egonkortasuna, zehaztasuna eta sentsibilitatea, asko erabiltzen dira nabigazio magnetikoko kokapenean, espazioa detektatzeko, mineralak hautematea, Detekzio geomagnetikoa, uneko detekzioa eta beste eremu batzuk. Sortzen ari diren mikro-osagaien eta sistemen aplikazioei erantzuteko, fluxgate sentsoreen miniaturizazioa fluxgate-ren ikerketa-gune bihurtu da sentsoreak. Sistema mikroelektro-mekanikoa (MEMS) prozesatzeak fluxgate sentsoreen miniaturizaziorako oinarri teknikoa eskaintzen du. Artikulu honek fluxgate sentsoreen oinarrizko printzipioak laburbiltzen ditu, eta mikro-fluxgate sentsoreen teknologiaren garapenaren historia azaltzen du, mikromekanizazio teknologia barne, PCB teknologia eta MEMS teknologia. MEMS fluxgate egitura teknologiaren garapen-prozesua eta MEMS fluxgate ortogonalaren garapen-egoera laburbiltzen dira, eta etorkizuneko ikerketa-arloko ardatza aurreikusten da.

Gako hitzak: fluxgate sentsorea; MEMS; neurketa magnetikoa; aplikazio

1 Sarrera

Fluxgate sentsoreak maiztasun baxuko edo DC eremu magnetiko ahulak detektatzeko sentsore magnetiko bektorialen klase bat dira.. Fluxgate sentsore tradizionalak oso erabiliak dira nabigazio magnetikoaren kokapenean, espazioa detektatzeko, mineralak hautematea, detekzio geomagnetikoa, egungo detekzioa eta beste eremu batzuk bereizmenean dituzten abantailengatik, tenperatura egonkortasuna, zehaztasuna eta sentsibilitatea. Hainbat mikro drone, eskuko gailuak, mikro sateliteak, korronte mikro sentsoreak, konpas elektroniko txikiak, biomedikuntzak eta beste aplikazio-esparruek kalitate-eskakizun handiagoak dituzte, bolumena, potentzia-kontsumoa eta fluxgateen integrazioa. Sortzen ari diren mikro-osagaien eta sistemen aplikazioei erantzuteko, fluxgate sentsoreen miniaturizazioa fluxgate sentsoreen ikerketa gune bihurtu da.

2 Fluxgate solidoaren printzipioa eta egitura

fluxgate paraleloa - Fluxgate Sentsorearen Ikerketaren Aurrerapena Sistema Mikro Elektro Mekanikoan oinarrituta (MEMS)

3 Fluxgate miniaturizazioaren historia
3.1 Fluxgate mikromekanizatua
3.2 PCB Fluxgate
3.3 MEMS Fluxgate
4 MEMS Fluxgate Ikerketa
4.1 Teknologia
4.2 Egitura
4.3 Fluxgate ortogonala
5 MEMS Fluxgate aplikazioa
5.1 Robotak
5.2 Oraingo Proba
5.3 Detekzio biomagnetikoa
5.4 Espazio-esplorazioa
6 Epilogoa

Laburbilduz

Azken hiru hamarkadetan, fluxgateek aurrerapen handia egin dute miniaturizazioan, eta zarata handiko arazoak, sentikortasun baxua, eta fluxgateen miniaturizazioak eragindako tenperatura-noraeza handia hobetu da. MEMS teknologia gaur egun fluxgateen miniaturizazioan puntu beroa da. MEMS teknologia erabiltzen duten Fluxgateek ezaugarri bikainak dituzte, hala nola, tamaina txikia, kostu baxua, integrazio handia eta parekatze handia, eta alor askotan oso erabiliak izan dira.
Etorkizunean, MEMS fluxgateek beren egitura gehiago optimizatu behar dute, fabrikazio prozesua, nukleo magnetikoaren materiala, eta zirkuituaren parekatzea sentsibilitate handiagoko zundak lortzeko, zarata txikiagoa, eta egitura egokitze hobea. Gaur egun, MEMS teknologian oinarritutako bi dimentsioko fluxgate sentsore teknologia nahiko heldua da. Uste da MEMS teknologiaren garapenarekin, MEMS hiru ardatzeko fluxgate sentsore integratuak ez luke urrun egon behar.