Mikro Elektro Mexanik Sistemə əsaslanan Fluxgate Sensorunun Tədqiqat Progressi (MEMS)

Çin Elmlər Akademiyasından Chen Jiaminin komandası: Mikroelektromexaniki sistemlərə əsaslanan fluxgate sensorlar üzrə tədqiqatların gedişi (MEMS)

Aşağıdakı məqalələr maqnit materialları və cihazları redaksiyasındandır, və müəllif Magnetic Journal-ın redaksiya şöbəsindəndir

komandanın təqdimatı

Cənab. Chen Jiamin, tədqiqatçısı "Zondlama Texnologiyasının Dövlət Əsas Laboratoriyası" Çin Elmlər Akademiyasının Aerokosmik İnformasiya İnnovasiyaları İnstitutu, doktorluq elmi rəhbəridir, namizədi "Yüz istedad proqramı" Çin Elmlər Akademiyasının, xüsusi tədqiqatçı (yoldaşlıq) Yaponiya Elmin Təşviqi Cəmiyyətinin (JSPS), IEEE Magnetics cəmiyyətinin üzvü, Milli Materiallar və Cihazlar Şurasının üzvü Maqnit Materiallar Ekspert Qrupunun eksperti.

Tənzimlənən sabit cərəyan elektron yükü - şarj xəzinə tester - köhnə boşalma modulu - sürətli şarj və boşalma rezistoru

O, yeni sensor materialların tədqiqi ilə məşğul olub, maqnit sensorlar, spintronik fizika, uzun müddət üçün materiallar və cihazlar. Yaponiyada başçılıq etmiş və iştirak etmişdir "Dağıdıcı Texnologiya İnnovasiya Planı" layihə, Yaponiya Elmin Təşviqi Cəmiyyətinin elmi tədqiqat fondunun əsas tədqiqat S səviyyəli layihəsi, A səviyyəli layihə, B səviyyəli layihə, xüsusi tədqiqatçı layihəsi və Advanced Storage Technology Association layihəsi, və s., və hazırda milli əsas tədqiqat və inkişafa cavabdehdir. Planlaşdırılan gənc alim layihəsi kimi bir çox elmi tədqiqat layihələri var, Milli Təbiət Elmləri Fondunun layihəsi, Pekin Təbiət Elmləri Fondunun layihəsi, Çin Elmlər Akademiyasının istedad layihəsi, Çin Elmlər Akademiyasının alət və avadanlıq funksiyalarının inkişafı layihəsi, və müəssisənin etibar etdiyi layihə.

Tənzimlənən sabit cərəyan elektron yük dolduran xəzinə test cihazı modulu

Məqalə təlimatı

Fluxgate sensorları zəif aşağı tezlikli və ya DC maqnit sahələrini aşkarlaya bilən vektor maqnit sensorlarının bir növüdür.. Qətnamədə üstünlüklərinə görə, temperatur sabitliyi, dəqiqlik və həssaslıq, onlar maqnit naviqasiya yerləşdirməsində geniş istifadə olunur, kosmik aşkarlama, mineral aşkarlanması, Geomaqnit aşkarlanması, cari aşkarlama və digər sahələr. Mikro komponentlərin və sistemlərin ortaya çıxan tətbiqlərini qarşılamaq üçün, fluxgate sensorlarının miniatürləşdirilməsi fluxgate-in tədqiqat nöqtəsinə çevrildi sensorlar. Mikro-elektro-mexaniki sistem (MEMS) emal fluxgate sensorlarının miniatürləşdirilməsi üçün texniki əsas verir. Bu yazı fluxgate sensorlarının əsas prinsiplərini ümumiləşdirir, və mikro-fluxgate sensor texnologiyasının inkişaf tarixini izah edir, o cümlədən mikro emal texnologiyası, PCB texnologiyası və MEMS texnologiyası. MEMS fluxgate struktur texnologiyasının inkişaf prosesi və MEMS ortoqonal fluxgate-in inkişaf vəziyyəti ümumiləşdirilmişdir., və bu sahədə gələcək tədqiqatların fokuslanması nəzərdə tutulur.

Açar sözlər: fluxgate sensoru; MEMS; maqnit ölçmə; tətbiq

1 Giriş

Fluxgate sensorları zəif aşağı tezlikli və ya DC maqnit sahələrini aşkarlaya bilən vektor maqnit sensorlar sinfidir.. Ənənəvi fluxgate sensorları maqnit naviqasiya yerləşdirməsində geniş istifadə olunur, kosmik aşkarlama, mineral aşkarlanması, geomaqnit aşkarlanması, rezolyusiyada üstünlüklərinə görə cari aşkarlama və digər sahələr, temperatur sabitliyi, dəqiqlik və həssaslıq. Müxtəlif mikro dronlar, əl cihazları, mikro peyklər, mikro cərəyan sensorları, kiçik elektron kompaslar, biotibb və digər tətbiq sahələri keyfiyyət üçün daha yüksək tələblərə malikdir, həcm, enerji istehlakı və fluxgates inteqrasiyası. Mikro komponentlərin və sistemlərin ortaya çıxan tətbiqlərini qarşılamaq üçün, fluxgate sensorlarının miniatürləşdirilməsi fluxgate sensorlarının tədqiqat nöqtəsinə çevrildi.

2 Bərk fluxgate-in prinsipi və quruluşu

paralel fluxgate - Mikro Elektro Mexanik Sistemə əsaslanan Fluxgate Sensorunun Tədqiqat Progressi (MEMS)

3 Fluxgate miniatürləşdirmə tarixi
3.1 Mikro emal edilmiş Fluxgate
3.2 PCB Fluxgate
3.3 MEMS Fluxgate
4 MEMS Fluxgate Araşdırması
4.1 Texnologiya
4.2 Struktur
4.3 Ortoqonal Fluxgate
5 MEMS Fluxgate tətbiqi
5.1 Robotlar
5.2 Cari Test
5.3 Biomaqnit aşkarlanması
5.4 Kosmik Tədqiqatlar
6 Epiloq

yekunda

Son üç onillikdə, fluxgates miniatürləşdirmədə böyük irəliləyiş əldə etdi, və yüksək səs-küy problemləri, aşağı həssaslıq, və fluxgatelərin miniatürləşdirilməsi nəticəsində yaranan böyük temperatur sürüşməsi yaxşılaşdırılıb. MEMS texnologiyası hazırda fluxgate-lərin miniatürləşdirilməsində qaynar nöqtədir. MEMS texnologiyasından istifadə edən Fluxgates kiçik ölçülü kimi əla xüsusiyyətlərə malikdir, aşağı qiymət, yüksək inteqrasiya və yüksək uyğunluq, və bir çox sahələrdə geniş istifadə edilmişdir.
Gələcəkdə, MEMS fluxgates strukturlarını daha da optimallaşdırmalıdır, istehsal prosesi, maqnit əsas material, və daha yüksək həssaslığa malik zondlar əldə etmək üçün dövrə uyğunluğu, aşağı səs-küy, və daha yaxşı struktur uyğunluğu. Hal hazırda, MEMS texnologiyasına əsaslanan iki ölçülü fluxgate sensor texnologiyası kifayət qədər yetkindir. Hesab olunur ki, MEMS texnologiyasının inkişafı ilə, inteqrasiya edilmiş MEMS üç oxlu fluxgate sensoru uzaqda olmamalıdır.