Progresul cercetării senzorului Fluxgate bazat pe un sistem micro electromecanic (MEMS)

Echipa lui Chen Jiamin de la Academia Chineză de Științe: Progresul cercetării privind senzorii fluxgate bazați pe sisteme microelectromecanice (MEMS)

Următoarele articole sunt de la departamentul editorial de materiale și dispozitive magnetice, iar autorul este de la departamentul editorial al Magnetic Journal

prezentarea echipei

Domnul. Chen Jiamin, cercetător al "Laboratorul cheie de stat de tehnologie de detectare" al Institutului de Inovare în Informații Aerospațiale al Academiei Chineze de Științe, un conducător de doctorat, un candidat al "Programul O sută de talente" al Academiei Chineze de Științe, un cercetător special (părtășie) al Societății Japoneze pentru Promovarea Științei (JSPS), IEEE Magnetics Membru al societății, membru al Consiliului Național al Materialelor și Dispozitivelor Expert Grupul de experți în materiale magnetice.

Sarcină electronică de curent constant reglabilă - tester de comori de încărcare - modul de descărcare îmbătrânit - rezistență de încărcare și descărcare rapidă

El a fost implicat în cercetarea de noi materiale de detectare, senzori magnetici, fizica spintronica, materiale și dispozitive pentru o lungă perioadă de timp. El a prezidat și a participat la cel al Japoniei "Planul de inovare tehnologică perturbatoare" proiect, Proiectul de nivel S al fondului de cercetare științifică a Societății Japoneze pentru Promovarea Științei, Proiect de nivel A, Proiect de nivel B, proiect special de cercetător și proiect Advanced Storage Technology Association, etc., și este în prezent responsabil de cercetarea și dezvoltarea cheie naționale. Există multe proiecte de cercetare științifică, cum ar fi proiectul planificat pentru tineri oameni de știință, Proiectul Fundației Naționale pentru Științe Naturale, Proiectul Beijing Natural Science Foundation, Proiectul de talent al Academiei Chineze de Științe, Proiect de dezvoltare a funcțiilor de instrumente și echipamente ale Academiei Chineze de Științe, și proiect încredințat întreprinderii.

Modul de tester de comori de încărcare electronică cu curent constant reglabil

Ghid de articole

Senzorii Fluxgate sunt un tip de senzori magnetici vectoriali care pot detecta câmpuri magnetice slabe de joasă frecvență sau DC. Datorită avantajelor lor în rezoluție, stabilitatea temperaturii, acuratețe și sensibilitate, sunt utilizate pe scară largă în poziționarea navigației magnetice, detectarea spațiului, detectarea mineralelor, Detectie geomagnetica, detectarea curentului și alte câmpuri. Pentru a răspunde aplicațiilor emergente ale micro-componentelor și sistemelor, miniaturizarea senzorilor fluxgate a devenit un punct fierbinte de cercetare al fluxgate senzori. Sistem micro-electro-mecanic (MEMS) prelucrarea oferă o bază tehnică pentru miniaturizarea senzorilor fluxgate. Această lucrare rezumă principiile de bază ale senzorilor fluxgate, și expune istoria dezvoltării tehnologiei senzorilor micro-fluxgate, inclusiv tehnologia de microprelucrare, Tehnologia PCB și tehnologia MEMS. Procesul de dezvoltare a tehnologiei structurii MEMS fluxgate și starea de dezvoltare a fluxgate MEMS ortogonale sunt rezumate, iar viitorul focus de cercetare în acest domeniu este prospectat.

Cuvinte cheie: senzor fluxgate; MEMS; măsurare magnetică; aplicarea

1 Introducere

Senzorii Fluxgate sunt o clasă de senzori magnetici vectoriali care pot detecta câmpuri magnetice slabe de joasă frecvență sau DC. Senzorii fluxgate tradiționali sunt utilizați pe scară largă în poziționarea navigației magnetice, detectarea spațiului, detectarea mineralelor, detecție geomagnetică, detecția curentă și alte câmpuri datorită avantajelor lor în rezoluție, stabilitatea temperaturii, precizie si sensibilitate. Diverse micro drone, dispozitive de mana, micro sateliți, micro senzori de curent, busole electronice mici, biomedicina și alte domenii de aplicare au cerințe mai mari pentru calitate, volum, consumul de energie și integrarea fluxgate. Pentru a răspunde aplicațiilor emergente ale micro-componentelor și sistemelor, miniaturizarea senzorilor fluxgate a devenit un punct fierbinte de cercetare al senzorilor fluxgate.

2 Principiul și structura fluxgate solide

Fluxgate paralele - Progresul cercetării senzorului Fluxgate bazat pe un sistem micro electromecanic (MEMS)

3 Istoricul miniaturizării Fluxgate
3.1 Fluxgate microprelucrat
3.2 PCB Fluxgate
3.3 MEMS Fluxgate
4 MEMS Fluxgate Research
4.1 Tehnologie
4.2 Structura
4.3 Fluxgate ortogonală
5 Aplicarea MEMS Fluxgate
5.1 Roboți
5.2 Test curent
5.3 Detectare biomagnetică
5.4 Explorarea spațiului
6 Epilog

în concluzie

În ultimele trei decenii, fluxgate au făcut progrese mari în miniaturizare, și problemele de zgomot ridicat, sensibilitate scăzută, și deviația mare de temperatură cauzată de miniaturizarea porților de flux au fost îmbunătățite. Tehnologia MEMS este în prezent un punct fierbinte în miniaturizarea fluxgate. Fluxgate care utilizează tehnologia MEMS au caracteristici excelente, cum ar fi dimensiunea mică, cost scăzut, integrare ridicată și potrivire ridicată, și au fost utilizate pe scară largă în multe domenii.
În viitor, Fluxgate MEMS trebuie să își optimizeze în continuare structura, proces de fabricație, materialul miezului magnetic, și potrivirea circuitelor pentru a obține sonde cu sensibilitate mai mare, zgomot mai mic, și o mai bună potrivire structurală. În prezent, tehnologia senzorului fluxgate bidimensional bazată pe tehnologia MEMS este destul de matură. Se crede că odată cu dezvoltarea tehnologiei MEMS, senzorul integrat MEMS fluxgate cu trei axe nu ar trebui să fie departe.