Kemajuan Panliten Sensor Fluxgate Adhedhasar Sistem Mekanik Mikro Elektro (MEMS)

Tim Chen Jiamin saka Akademi Ilmu Pengetahuan Cina: Kemajuan riset babagan sensor fluxgate adhedhasar sistem mikroelektromekanik (MEMS)

Artikel ing ngisor iki saka departemen editorial bahan lan piranti magnetik, lan penulis saka departemen editor saka Magnetic Journal

introduksi tim

Pak. Chen Jiamin, peneliti saka "Laboratorium Kunci Negara Teknologi Sensing" saka Institut Inovasi Informasi Aerospace saka Akademi Ilmu Pengetahuan Cina, pengawas doktor, calon saka "Program atus Talents" saka Akademi Ilmu Pengetahuan Cina, panliti khusus (paseduluran) saka Japan Society for the Promotion of Science (JSPS), IEEE Magnetics Anggota masyarakat, anggota Dewan Nasional Materials lan Piranti ahli Magnetic Materials Expert Group.

Beban elektronik konstan sing bisa diatur - pangisian daya tester - modul discharge tuwa - daya cepet lan discharge resistor

Dheweke wis melu riset bahan sensing anyar, sensor magnetik, fisika spintronik, bahan lan piranti kanggo dangu. Dheweke wis mimpin lan melu ing Jepang "Rencana Inovasi Teknologi Disruptive" proyek, dana riset ilmiah Jepang Society for the Promotion of Science riset dhasar proyek tingkat S, Proyek A-level, Proyek tingkat B, project peneliti khusus lan Advanced Storage Technology Association project, lsp., lan saiki tanggung jawab kanggo riset lan pangembangan kunci nasional Ana akeh proyek riset ilmiah kayata proyek ilmuwan enom sing direncanakake., Proyek National Natural Science Foundation, Proyek Yayasan Ilmu Pengetahuan Alam Beijing, Proyek bakat Akademi Ilmu Cina, Proyek pengembangan fungsi instrumen lan peralatan Akademi Ilmu Cina, lan proyek sing dipasrahake perusahaan.

Modul tester pengisi daya elektronik beban elektronik konstan sing bisa diatur

Pandhuan artikel

Sensor Fluxgate minangka jinis sensor magnetik vektor sing bisa ndeteksi medan magnet frekuensi rendah utawa DC. Amarga kaluwihan ing resolusi, stabilitas suhu, akurasi lan sensitivitas, lagi digunakake digunakake ing posisi pandhu arah Magnetik, deteksi papan, deteksi mineral, Deteksi geomagnetik, deteksi saiki lan lapangan liyane. Kanggo nyukupi aplikasi komponen mikro lan sistem sing berkembang, miniaturisasi sensor fluxgate wis dadi hotspot riset fluxgate sensor. Sistem mikro-elektro-mekanik (MEMS) pangolahan nyedhiyakake basis teknis kanggo miniaturisasi sensor fluxgate. Makalah iki ngringkes prinsip dhasar saka sensor fluxgate, lan nerangake sejarah pangembangan teknologi sensor micro-fluxgate, kalebu teknologi micromachining, teknologi PCB lan teknologi MEMS. Proses pangembangan teknologi struktur fluxgate MEMS lan status pangembangan fluxgate orthogonal MEMS dirangkum, lan fokus riset mangsa ngarep ing lapangan iki prospek.

Tembung kunci: sensor fluxgate; MEMS; pangukuran magnetik; aplikasi

1 Pambuka

Sensor Fluxgate minangka kelas sensor magnetik vektor sing bisa ndeteksi medan magnet frekuensi rendah utawa DC. Sensor fluxgate tradisional digunakake akeh ing posisi navigasi magnetik, deteksi papan, deteksi mineral, deteksi geomagnetik, deteksi saiki lan lapangan liyane amarga kaluwihan ing resolusi, stabilitas suhu, presisi lan sensitivitas. Macem-macem drone mikro, piranti genggam, satelit mikro, sensor arus mikro, kompas elektronik cilik, biomedicine lan lapangan aplikasi liyane duwe syarat sing luwih dhuwur kanggo kualitas, volume, konsumsi daya lan integrasi saka fluxgates. Kanggo nyukupi aplikasi komponen mikro lan sistem sing berkembang, miniaturisasi sensor fluxgate wis dadi hotspot riset sensor fluxgate.

2 Prinsip lan struktur saka fluxgate padhet

fluxgate paralel - Kemajuan Panliten Sensor Fluxgate Adhedhasar Sistem Mekanik Mikro Elektro (MEMS)

3 Sajarah miniaturisasi Fluxgate
3.1 Micromachined Fluxgate
3.2 PCB Fluxgate Kab
3.3 MEMS Fluxgate
4 MEMS Fluxgate Research
4.1 Teknologi
4.2 Struktur
4.3 Orthogonal Fluxgate
5 Aplikasi saka MEMS Fluxgate
5.1 Robot
5.2 Tes Saiki
5.3 Deteksi biomagnetik
5.4 Eksplorasi Angkasa
6 Epilog

kesimpulane

Swara telung puluh taun kepungkur, fluxgates wis digawe kemajuan gedhe ing miniaturization, lan masalah swara dhuwur, sensitivitas kurang, lan drift suhu gedhe disebabake miniaturization saka fluxgates wis apik. Teknologi MEMS saiki dadi titik panas ing miniaturisasi fluxgates. Fluxgates nggunakake teknologi MEMS duwe ciri banget kayata ukuran cilik, biaya kurang, integrasi dhuwur lan cocog dhuwur, lan wis akeh digunakake ing akeh lapangan.
Ing mangsa ngarep, Fluxgates MEMS kudu luwih ngoptimalake strukture, proses produksi, materi inti magnetik, lan sirkuit cocog kanggo njupuk probe karo sensitivitas luwih, gangguan ngisor, lan pas struktural sing luwih apik. Ing saiki, teknologi sensor fluxgate loro-dimensi adhedhasar teknologi MEMS cukup diwasa. Dipercaya manawa kanthi pangembangan teknologi MEMS, sensor fluxgate MEMS telung sumbu terpadu ngirim ora adoh.