Микро цахилгаан механик системд суурилсан Fluxgate мэдрэгчийн судалгааны явц (MEMS)

Хятадын Шинжлэх Ухааны Академийн Чен Жиаминий баг: Микроэлектромеханик системд суурилсан флюсгейт мэдрэгчийн судалгааны ахиц дэвшил (MEMS)

Дараах нийтлэлүүд нь соронзон материал, төхөөрөмжүүдийн редакцийн хэлтэс юм, Зохиогч нь Magnetic Journal сэтгүүлийн редакцийн ажилтан юм

багийн танилцуулга

ноён. Чен Жиамин, -ийн судлаач "Мэдрэгч технологийн улсын түлхүүр лаборатори" Хятадын Шинжлэх Ухааны Академийн Агаарын сансрын мэдээллийн инновацийн хүрээлэнгийн, докторын удирдагч, нэр дэвшигч "Зуун авьяас хөтөлбөр" Хятадын Шинжлэх Ухааны Академийн, тусгай судлаач (нөхөрлөл) Японы шинжлэх ухааныг дэмжих нийгэмлэгийн (JSPS), IEEE Magnetics нийгэмлэгийн гишүүн, материал ба төхөөрөмжийн үндэсний зөвлөлийн гишүүн Соронзон материалын шинжээчдийн бүлгийн шинжээч.

Тохируулах тогтмол гүйдлийн электрон ачаалал - цэнэглэгч эрдэнэс шалгагч - хөгшрөлтийн цэнэгийн модуль - хурдан цэнэглэх болон цэнэггүй болгох эсэргүүцэл

Тэрээр шинэ мэдрэхүйн материалын судалгаа хийжээ, соронзон мэдрэгч, спинтроник физик, материал, төхөөрөмжийг удаан хугацаагаар. Тэрээр Японыг тэргүүлж, оролцож байсан "Эвдэрсэн технологийн инновацийн төлөвлөгөө" төсөл, Японы шинжлэх ухааныг дэмжих нийгэмлэгийн шинжлэх ухааны судалгааны сангийн суурь судалгааны S түвшний төсөл, А түвшний төсөл, В түвшний төсөл, тусгай судлаачийн төсөл болон Дэвшилтэт Хадгалалтын Технологийн Холбооны төсөл, гэх мэт., бөгөөд одоогоор үндэсний гол судалгаа, бүтээн байгуулалтын ажлыг хариуцаж байна. Төлөвлөсөн залуу эрдэмтдийн төсөл гэх мэт олон шинжлэх ухааны судалгааны төслүүд байдаг, Байгалийн шинжлэх ухааны үндэсний сангийн төсөл, Бээжингийн байгалийн шинжлэх ухааны сангийн төсөл, Хятадын Шинжлэх Ухааны Академийн авьяасын төсөл, Хятадын Шинжлэх Ухааны Академийн багаж, тоног төхөөрөмжийн функцийг хөгжүүлэх төсөл, болон аж ахуйн нэгжийн итгэмжлэгдсэн төсөл.

Тохируулах боломжтой тогтмол гүйдлийн электрон ачааллыг цэнэглэх эрдэнэс шалгагч модуль

Нийтлэлийн гарын авлага

Fluxgate мэдрэгч нь сул бага давтамжийн эсвэл тогтмол гүйдлийн соронзон орныг илрүүлж чаддаг вектор соронзон мэдрэгчийн төрөл юм.. Учир нь тэдний шийдэл нь давуу талтай, температурын тогтвортой байдал, нарийвчлал ба мэдрэмж, тэдгээрийг соронзон навигацийн байрлал тогтооход өргөн ашигладаг, орон зай илрүүлэх, ашигт малтмалын илрүүлэлт, Геомагнит илрүүлэлт, одоогийн илрүүлэх болон бусад талбарууд. Бичил бүрэлдэхүүн хэсгүүд болон системийн шинээр гарч ирж буй хэрэглээг хангахын тулд, fluxgate мэдрэгчийг жижигрүүлэх нь fluxgate-ийн судалгааны халуун цэг болсон мэдрэгч. Бичил цахилгаан механик систем (MEMS) боловсруулалт нь fluxgate мэдрэгчийг жижигрүүлэх техникийн үндэслэлийг бүрдүүлдэг. Энэ нийтлэлд fluxgate мэдрэгчийн үндсэн зарчмуудыг нэгтгэн харуулав, мөн микро-флюксгейт мэдрэгчийн технологийн хөгжлийн түүхийг тайлбарладаг, түүний дотор бичил боловсруулах технологи, ПХБ технологи болон MEMS технологи. MEMS fluxgate бүтцийн технологийг хөгжүүлэх үйл явц болон MEMS ортогональ флюсгейтийн хөгжлийн төлөвийг нэгтгэн харуулав., Ирээдүйд энэ чиглэлээр судалгаа хийхээр төлөвлөж байна.

Түлхүүр үгс: fluxgate мэдрэгч; MEMS; соронзон хэмжилт; програм

1 Оршил

Fluxgate мэдрэгч нь сул бага давтамжийн эсвэл тогтмол гүйдлийн соронзон орныг илрүүлэх чадвартай вектор соронзон мэдрэгчийн ангилал юм.. Уламжлалт fluxgate мэдрэгчийг соронзон навигацийн байрлал тогтооход өргөн ашигладаг, орон зай илрүүлэх, ашигт малтмалын илрүүлэлт, геомагнит илрүүлэх, гүйдлийн илрүүлэлт болон бусад талбарууд нь тэдгээрийн нарийвчлалын давуу талтай холбоотой, температурын тогтвортой байдал, нарийвчлал ба мэдрэмж. Төрөл бүрийн микро дрон, гар төхөөрөмж, бичил хиймэл дагуулууд, бичил гүйдлийн мэдрэгч, жижиг электрон луужин, биоанагаах ухаан болон бусад хэрэглээний талбарууд чанарт илүү өндөр шаардлага тавьдаг, эзлэхүүн, эрчим хүчний хэрэглээ ба флюсгейтийн нэгдэл. Бичил бүрэлдэхүүн хэсгүүд болон системийн шинээр гарч ирж буй хэрэглээг хангахын тулд, fluxgate мэдрэгчийг жижигрүүлэх нь fluxgate мэдрэгчийн судалгааны халуун цэг болсон.

2 Хатуу fluxgate-ийн зарчим ба бүтэц

зэрэгцээ урсгалын хаалга - Микро цахилгаан механик системд суурилсан Fluxgate мэдрэгчийн судалгааны явц (MEMS)

3 Fluxgate-ийн жижигрүүлсэн түүх
3.1 Micromachined Fluxgate
3.2 PCB Fluxgate
3.3 MEMS Fluxgate
4 MEMS Fluxgate судалгаа
4.1 Технологи
4.2 Бүтэц
4.3 Ортогональ флюсгейт
5 MEMS Fluxgate-ийн хэрэглээ
5.1 Роботууд
5.2 Одоогийн тест
5.3 Био соронзон илрүүлэх
5.4 Сансрын судалгаа
6 Эпилог

Дүгнэж хэлэхэд

Сүүлийн гучин жилийн хугацаанд, fluxgates нь жижигрүүлэх чиглэлээр ихээхэн ахиц дэвшил гаргасан, болон өндөр дуу чимээний асуудлууд, бага мэдрэмжтэй, болон флюсгейтүүдийг жижигрүүлснээс үүдэлтэй их хэмжээний температурын өөрчлөлтийг сайжруулсан. MEMS технологи нь одоогоор флюсгейтүүдийг жижигрүүлэх халуун цэг болж байна. MEMS технологийг ашигладаг Fluxgates нь жижиг хэмжээтэй гэх мэт маш сайн шинж чанартай байдаг, бага зардал, өндөр интеграци, өндөр нийцтэй байдал, олон салбарт өргөн хэрэглэгдэж ирсэн.
Ирээдүйд, MEMS fluxgates нь бүтцийг улам оновчтой болгох шаардлагатай, үйлдвэрлэлийн үйл явц, соронзон үндсэн материал, өндөр мэдрэмжтэй датчикуудыг олж авахын тулд хэлхээг тааруулах, дуу чимээ бага, ба бүтцийн хувьд илүү сайн тохирно. Одоогоор, MEMS технологид суурилсан хоёр хэмжээст fluxgate мэдрэгч технологи нь нэлээд боловсронгуй болсон. MEMS технологи хөгжихийн хэрээр, нэгдсэн MEMS гурван тэнхлэгт урсгал мэдрэгч хол байх ёсгүй.