Micro Electro Mechanical System ကို အခြေခံ၍ Fluxgate Sensor ၏ သုတေသန တိုးတက်မှု (MEMS)

တရုတ်သိပ္ပံအကယ်ဒမီမှ Chen Jiamin ၏အဖွဲ့: microelectromechanical စနစ်များကိုအခြေခံ၍ fluxgate အာရုံခံကိရိယာများဆိုင်ရာသုတေသနတိုးတက်မှု (MEMS)

အောက်ဖော်ပြပါ ဆောင်းပါးများသည် သံလိုက်ပစ္စည်းများနှင့် စက်ပစ္စည်းများ၏ အယ်ဒီတာ့အာဘော်ဌာနမှဖြစ်သည်။, စာရေးသူသည် Magnetic Journal ၏ အယ်ဒီတာဌာနမှဖြစ်သည်။

အသင်းမိတ်ဆက်ခြင်း။

မစ္စတာ. Chen jiamin, သုတေသီ "အာရုံခံနည်းပညာ၏ပြည်နယ်သော့ဓာတ်ခွဲခန်း" တရုတ်သိပ္ပံအကယ်ဒမီ၏ Aerospace Information Innovation Institute မှ၊, ပါရဂူကြီးကြပ်ရေးမှူးတစ်ဦး, ကိုယ်စားလှယ်လောင်းတစ်ဦး "စွမ်းရည်တစ်ရာ အစီအစဉ်" တရုတ်သိပ္ပံအကယ်ဒမီ၏, အထူးသုတေသီ (မိတ်သဟာယ) သိပ္ပံပညာမြှင့်တင်ရေး အတွက် ဂျပန်အသင်း (JSPS), IEEE Magnetics လူ့အဖွဲ့အစည်း၏ အဖွဲ့ဝင်, National Council of Materials and Devices Magnetic Materials Expert Group မှ ကျွမ်းကျင်သူ.

ချိန်ညှိနိုင်သော စဉ်ဆက်မပြတ် လက်ရှိ အီလက်ထရွန်းနစ်ဝန် - အားသွင်းရတနာစမ်းသပ်သူ - အသက်အရွယ်ကြီးရင့်သောအထွက် module - အမြန်အားသွင်းခြင်းနှင့် discharge resistor

သူသည် အာရုံခံပစ္စည်းအသစ်များကို သုတေသနတွင် ပါဝင်လုပ်ဆောင်ခဲ့သည်။, သံလိုက်အာရုံခံကိရိယာများ, spintronic ရူပဗေဒ, ပစ္စည်းများနှင့် စက်ပစ္စည်းများကို အချိန်အကြာကြီး. သူသည် ဂျပန်နိုင်ငံ၏ ဥက္ကဋ္ဌအဖြစ် တာဝန်ယူခဲ့သည်။ "အနှောင့်အယှက်ဖြစ်စေသော နည်းပညာဆန်းသစ်တီထွင်မှု အစီအစဉ်" စီမံကိန်း, Japan Society for the Promotion of Science ၏ သိပ္ပံသုတေသနရန်ပုံငွေ အခြေခံသုတေသန S-level ပရောဂျက်, အဆင့်တစ်ခုစီမံကိန်း, B အဆင့်စီမံကိန်း, အထူးသုတေသီပရောဂျက်နှင့် အဆင့်မြင့်သိုလှောင်နည်းပညာအသင်း ပရောဂျက်, စသည်တို့, လက်ရှိတွင် နိုင်ငံတော်၏ အဓိက သုတေသနနှင့် ဖွံ့ဖြိုးတိုးတက်ရေး တာဝန်ခံအဖြစ် စီမံထားသည့် လူငယ်သိပ္ပံပညာရှင် ပရောဂျက်ကဲ့သို့သော သိပ္ပံနည်းကျ သုတေသန ပရောဂျက်များစွာ ရှိပါသည်။, အမျိုးသား သဘာဝသိပ္ပံ ဖောင်ဒေးရှင်း စီမံကိန်း, ပေကျင်းသဘာဝသိပ္ပံဖောင်ဒေးရှင်းစီမံကိန်း, တရုတ်သိပ္ပံအကယ်ဒမီ စွမ်းရည်ပရောဂျက်, တရုတ်သိပ္ပံအကယ်ဒမီ၏ တူရိယာနှင့် စက်ကိရိယာ လုပ်ဆောင်ချက် ဖွံ့ဖြိုးတိုးတက်ရေး ပရောဂျက်, နှင့် လုပ်ငန်းမှ အပ်နှင်းထားသော ပရောဂျက်.

ချိန်ညှိနိုင်သော စဉ်ဆက်မပြတ် လက်ရှိ အီလက်ထရွန်းနစ်ဝန်အားအားသွင်းခြင်း ဘဏ္ဍာစမ်းသပ်ကိရိယာ မော်ဂျူး

ဆောင်းပါးလမ်းညွှန်

Fluxgate အာရုံခံကိရိယာများသည် အားနည်းသော ကြိမ်နှုန်းနည်းပါးသော သို့မဟုတ် DC သံလိုက်စက်ကွင်းများကို သိရှိနိုင်သည့် vector သံလိုက်အာရုံခံကိရိယာ အမျိုးအစားတစ်ခုဖြစ်သည်။. သူတို့ရဲ့ အားသာချက်တွေကြောင့် ပြတ်သားတယ်။, အပူချိန်တည်ငြိမ်မှု, တိကျမှုနှင့် အာရုံခံနိုင်စွမ်း, ၎င်းတို့ကို သံလိုက်လမ်းကြောင်း ညွှန်ပြရာတွင် တွင်ကျယ်စွာ အသုံးပြုကြသည်။, အာကာသထောက်လှမ်းခြင်း။, ဓာတ်သတ္တုရှာဖွေရေး, Geomagnetic detection, လက်ရှိ ထောက်လှမ်းမှုနှင့် အခြားနယ်ပယ်များ. micro-components များနှင့် စနစ်များ ၏ ပေါ်ထွက်လာသော applications များနှင့် ကိုက်ညီစေရန်, fluxgate အာရုံခံကိရိယာများ၏အသေးစားကိုပြုလုပ်ခြင်းသည် fluxgate ၏သုတေသနဟော့စပေါ့ဖြစ်လာသည်။ အာရုံခံကိရိယာများ. အသေးစားလျှပ်စစ်-စက်မှုစနစ် (MEMS) စီမံဆောင်ရွက်ခြင်းသည် fluxgate အာရုံခံကိရိယာများ သေးငယ်ခြင်းအတွက် နည်းပညာအခြေခံကို ပံ့ပိုးပေးသည်။. ဤစာတမ်းသည် fluxgate အာရုံခံကိရိယာများ၏ အခြေခံမူများကို အကျဉ်းချုပ်ဖော်ပြထားသည်။, micro-fluxgate အာရုံခံနည်းပညာ၏ ဖွံ့ဖြိုးတိုးတက်မှုသမိုင်းကြောင်းကို ရှင်းပြသည်။, micromachining နည်းပညာ အပါအဝင်, PCB နည်းပညာ နှင့် MEMS နည်းပညာ. MEMS fluxgate တည်ဆောက်ပုံနည်းပညာ၏ဖွံ့ဖြိုးတိုးတက်မှုလုပ်ငန်းစဉ်နှင့် MEMS orthogonal fluxgate ၏ဖွံ့ဖြိုးတိုးတက်မှုအခြေအနေတို့ကို အကျဉ်းချုံးထားသည်။, နှင့် ဤနယ်ပယ်တွင် အနာဂတ် သုတေသန အာရုံစူးစိုက်မှုကို မျှော်မှန်းထားသည်။.

အဓိကစကားလုံးများ: fluxgate အာရုံခံကိရိယာ; MEMS; သံလိုက်တိုင်းတာခြင်း။; လျှောက်လွှာ

1 နိဒါန်း

Fluxgate အာရုံခံကိရိယာများသည် အားနည်းသော ကြိမ်နှုန်းနည်းပါးသော သို့မဟုတ် DC သံလိုက်စက်ကွင်းများကို သိရှိနိုင်သည့် vector သံလိုက်အာရုံခံကိရိယာများ အမျိုးအစားတစ်ခုဖြစ်သည်။. သမားရိုးကျ fluxgate အာရုံခံကိရိယာများကို သံလိုက်လမ်းကြောင်းပြခြင်းနေရာချထားခြင်းတွင် တွင်ကျယ်စွာအသုံးပြုကြသည်။, အာကာသထောက်လှမ်းခြင်း။, ဓာတ်သတ္တုရှာဖွေရေး, geomagnetic detection, ကြည်လင်ပြတ်သားမှု၏ အားသာချက်များကြောင့် လက်ရှိရှာဖွေတွေ့ရှိမှုနှင့် အခြားနယ်ပယ်များ, အပူချိန်တည်ငြိမ်မှု, တိကျမှုနှင့် sensitivity. မိုက်ခရိုဒရုန်းအမျိုးမျိုး, လက်ကိုင်ပစ္စည်းများ, မိုက်ခရိုဂြိုလ်တုများ, micro လက်ရှိအာရုံခံကိရိယာများ, သေးငယ်သော အီလက်ထရွန်းနစ် သံလိုက်အိမ်မြှောင်များ, ဇီဝဆေးပညာနှင့် အခြားအသုံးချနယ်ပယ်များတွင် အရည်အသွေးအတွက် ပိုမိုမြင့်မားသောလိုအပ်ချက်များရှိသည်။, အသံအတိုးအကျယ်, ပါဝါသုံးစွဲမှုနှင့် fluxgates ပေါင်းစပ်မှု. micro-components များနှင့် စနစ်များ ၏ ပေါ်ထွက်လာသော applications များနှင့် ကိုက်ညီစေရန်, fluxgate အာရုံခံကိရိယာများ၏အသေးစားပြုလုပ်မှုသည် fluxgate အာရုံခံကိရိယာများ၏သုတေသနဟော့စပေါ့ဖြစ်လာသည်။.

2 အစိုင်အခဲ fluxgate ၏အခြေခံနှင့်ဖွဲ့စည်းပုံ

အပြိုင် fluxgate - Micro Electro Mechanical System ကို အခြေခံ၍ Fluxgate Sensor ၏ သုတေသန တိုးတက်မှု (MEMS)

3 Fluxgate miniaturization မှတ်တမ်း
3.1 Micromachined Fluxgate
3.2 PCB Fluxgate
3.3 MEMS Fluxgate
4 MEMS Fluxgate သုတေသန
4.1 နည်းပညာ
4.2 ဖွဲ့စည်းပုံ
4.3 Orthogonal Fluxgate
5 MEMS Fluxgate ၏လျှောက်လွှာ
5.1 စက်ရုပ်များ
5.2 လက်ရှိစမ်းသပ်မှု
5.3 ဇီဝသံလိုက် ထောက်လှမ်းခြင်း။
5.4 အာကာသစူးစမ်းလေ့လာရေး
6 ဇာတ်လမ်းတို

နိဂုံးချုပ်အားဖြင့်

လွန်ခဲ့သည့် ဆယ်စုနှစ်သုံးခုက, fluxgates များသည် miniaturization တွင် ကြီးမားသောတိုးတက်မှုကို ပြုလုပ်ခဲ့သည်။, မြင့်မားသောဆူညံသံပြဿနာများ, sensitivity နည်းသည်။, နှင့် fluxgate များအသေးစားပြုလုပ်ခြင်းကြောင့် ဖြစ်ပေါ်လာသော ကြီးမားသောအပူချိန်ပျံ့လွင့်မှုကို မြှင့်တင်ပေးခဲ့သည်။. MEMS နည်းပညာသည် လက်ရှိတွင် fluxgate များကို သေးငယ်အောင်ပြုလုပ်ခြင်းတွင် ရေပန်းအစားဆုံးဖြစ်သည်။. MEMS နည်းပညာကို အသုံးပြုထားသော Fluxgates များသည် သေးငယ်သော အရွယ်အစားကဲ့သို့ ကောင်းမွန်သော လက္ခဏာများရှိသည်။, ကုန်ကျစရိတ်နည်းသော, မြင့်မားသောပေါင်းစပ်မှုနှင့်မြင့်မားသောကိုက်ညီမှု, နယ်ပယ်များစွာတွင် တွင်ကျယ်စွာအသုံးပြုခဲ့သည်။.
အနာဂတ်မှာ, MEMS fluxgate များသည် ၎င်းတို့၏ ဖွဲ့စည်းပုံကို ပိုမို ကောင်းမွန်အောင် လုပ်ဆောင်ရန် လိုအပ်ပါသည်။, ထုတ်လုပ်မှုလုပ်ငန်းစဥ်, သံလိုက်အမာခံပစ္စည်း, ပိုမိုမြင့်မားသော sensitivity ဖြင့် probes ရရှိရန် circuit နှင့် ကိုက်ညီမှုရှိသည်။, နိမ့်သောဆူညံသံ, နှင့် ပိုမိုကောင်းမွန်သော structural fit. လက်ရှိအချိန်မှာ, MEMS နည်းပညာကိုအခြေခံထားသော two-dimensional fluxgate sensor technology သည် အတော်လေးရင့်ကျက်သည်။. MEMS နည်းပညာ ဖွံ့ဖြိုးတိုးတက်မှုနှင့်အတူ ယုံကြည်ရသည်။, ပေါင်းစပ်ထားသော MEMS သုံးခုဝင်ရိုး fluxgate အာရုံခံကိရိယာသည် ဝေးဝေးတွင်မနေသင့်ပါ။.