በማይክሮ ኤሌክትሮ ሜካኒካል ሲስተም ላይ የተመሰረተ የFluxgate ዳሳሽ የምርምር ሂደት (MEMS)
የቼን ጂያሚን ቡድን ከቻይና የሳይንስ አካዳሚ: በማይክሮኤሌክትሮ መካኒካል ስርዓቶች ላይ በተመሰረቱ የፍሎክስጌት ዳሳሾች ላይ የምርምር ሂደት (MEMS)
የሚከተሉት መጣጥፎች ከመግነጢሳዊ ቁሳቁሶች እና መሳሪያዎች ኤዲቶሪያል ክፍል ናቸው, እና ደራሲው ከማግኔት ጆርናል ኤዲቶሪያል ክፍል ነው
የቡድን መግቢያ
ለ አቶ. Chen Jiamin, ተመራማሪው የ "የሴንሲንግ ቴክኖሎጂ የስቴት ቁልፍ ላብራቶሪ" የቻይና የሳይንስ አካዳሚ የኤሮስፔስ ኢንኖቬሽን ኢንስቲትዩት, የዶክትሬት ተቆጣጣሪ, እጩ እጩ "መቶ ተሰጥኦዎች ፕሮግራም" የቻይና የሳይንስ አካዳሚ, ልዩ ተመራማሪ (ህብረት) የጃፓን የሳይንስ ማስተዋወቅ ማህበር (ጄኤስፒኤስ), IEEE ማግኔቲክስ የህብረተሰብ አባል, የቁሳቁስ እና መሳሪያዎች ብሔራዊ ምክር ቤት አባል መግነጢሳዊ እቃዎች ኤክስፐርት ቡድን ባለሙያ.
የሚስተካከለው ቋሚ ወቅታዊ የኤሌክትሮኒክ ጭነት - ሀብት ሞካሪ መሙላት - የእርጅና ፍሳሽ ሞጁል - ፈጣን ክፍያ እና የፍሳሽ መከላከያ
በአዳዲስ የመዳሰሻ ቁሳቁሶች ምርምር ላይ ተሰማርቷል, መግነጢሳዊ ዳሳሾች, ስፒንትሮኒክ ፊዚክስ, ቁሳቁሶች እና መሳሪያዎች ለረጅም ጊዜ. በጃፓን መርተው ተሳትፈዋል "የሚረብሽ የቴክኖሎጂ ፈጠራ እቅድ" ፕሮጀክት, የጃፓን የሳይንስ ፕሮሞሽን ማህበረሰብ ሳይንሳዊ ምርምር ፈንድ መሰረታዊ ምርምር S-ደረጃ ፕሮጀክት, ሀ-ደረጃ ፕሮጀክት, B-ደረጃ ፕሮጀክት, ልዩ ተመራማሪ ፕሮጀክት እና የላቀ የማከማቻ ቴክኖሎጂ ማህበር ፕሮጀክት, ወዘተ., እና በአሁኑ ጊዜ የብሔራዊ ቁልፍ ምርምር እና ልማት ኃላፊ ነው እንደ የታቀዱ ወጣት ሳይንቲስቶች ፕሮጀክት ያሉ ብዙ ሳይንሳዊ የምርምር ፕሮጀክቶች አሉ።, ብሔራዊ የተፈጥሮ ሳይንስ ፋውንዴሽን ፕሮጀክት, የቤጂንግ የተፈጥሮ ሳይንስ ፋውንዴሽን ፕሮጀክት, የቻይና የሳይንስ አካዳሚ ተሰጥኦ ፕሮጀክት, የቻይና የሳይንስ አካዳሚ መሳሪያ እና መሳሪያዎች ተግባር ልማት ፕሮጀክት, እና የድርጅት አደራ ፕሮጀክት.
የሚስተካከለው ቋሚ የኤሌክትሮኒካዊ ጭነት ቻርጅ ሞካሪ ሞጁል።
የአንቀጽ መመሪያ
Fluxgate ሴንሰሮች ደካማ ዝቅተኛ ድግግሞሽ ወይም የዲሲ መግነጢሳዊ መስኮችን መለየት የሚችሉ የቬክተር መግነጢሳዊ ዳሳሾች አይነት ናቸው።. በመፍታት ላይ ባላቸው ጥቅሞች ምክንያት, የሙቀት መረጋጋት, ትክክለኛነት እና ስሜታዊነት, በመግነጢሳዊ አሰሳ አቀማመጥ ውስጥ በስፋት ጥቅም ላይ ይውላሉ, የጠፈር መለየት, ማዕድን መለየት, ጂኦማግኔቲክ ማወቂያ, የአሁኑን ማወቂያ እና ሌሎች መስኮች. ጥቃቅን ክፍሎችን እና ስርዓቶችን ብቅ ያሉ መተግበሪያዎችን ለማሟላት, የፍሎክስጌት ዳሳሾችን መጠነኛ ማድረግ የፍሎክስጌት የምርምር መገናኛ ነጥብ ሆኗል። ዳሳሾች. ማይክሮ-ኤሌክትሮ-ሜካኒካል ስርዓት (MEMS) ማቀነባበር የፍሎክስጌት ዳሳሾችን ለመቀነስ ቴክኒካዊ መሠረት ይሰጣል. ይህ ወረቀት የፍሎክስጌት ዳሳሾችን መሰረታዊ መርሆችን ያጠቃልላል, እና የማይክሮ ፍሎክስጌት ዳሳሽ ቴክኖሎጂን እድገት ታሪክ ያብራራል።, የማይክሮሜሽን ቴክኖሎጂን ጨምሮ, PCB ቴክኖሎጂ እና MEMS ቴክኖሎጂ. የ MEMS fluxgate መዋቅር ቴክኖሎጂ ልማት ሂደት እና የ MEMS orthogonal fluxgate እድገት ሁኔታ ተጠቃሏል, እና በዚህ መስክ የወደፊት የምርምር ትኩረት ይጠበቃል.
ቁልፍ ቃላት: fluxgate ዳሳሽ; MEMS; መግነጢሳዊ መለኪያ; ማመልከቻ
1 መግቢያ
Fluxgate ሴንሰሮች ደካማ ዝቅተኛ ድግግሞሽ ወይም የዲሲ መግነጢሳዊ መስኮችን መለየት የሚችሉ የቬክተር መግነጢሳዊ ዳሳሾች ክፍል ናቸው. በመግነጢሳዊ አሰሳ አቀማመጥ ውስጥ ባህላዊ ፍሉክስጌት ዳሳሾች በሰፊው ጥቅም ላይ ይውላሉ, የጠፈር መለየት, ማዕድን መለየት, ጂኦማግኔቲክ ማወቂያ, የአሁኑን ማወቂያ እና ሌሎች መስኮች በመፍትሔው ውስጥ ባላቸው ጥቅሞች ምክንያት, የሙቀት መረጋጋት, ትክክለኛነት እና ትብነት. የተለያዩ ማይክሮ ድሮኖች, በእጅ የሚያዙ መሳሪያዎች, ማይክሮ ሳተላይቶች, ማይክሮ ሞገድ ዳሳሾች, አነስተኛ የኤሌክትሮኒክስ ኮምፓስ, ባዮሜዲሲን እና ሌሎች የመተግበሪያ መስኮች ለጥራት ከፍተኛ መስፈርቶች አሏቸው, የድምጽ መጠን, የኃይል ፍጆታ እና የፍሎክስጌት ውህደት. ጥቃቅን ክፍሎችን እና ስርዓቶችን ብቅ ያሉ መተግበሪያዎችን ለማሟላት, የፍሎክስጌት ዳሳሾችን መጠነኛ ማድረግ የፍሎክስጌት ዳሳሾች የምርምር መገናኛ ነጥብ ሆኗል።.
2 የጠንካራ ፍሉክስጌት መርህ እና መዋቅር
ትይዩ ፍሊክስጌት - በማይክሮ ኤሌክትሮ ሜካኒካል ሲስተም ላይ የተመሰረተ የFluxgate ዳሳሽ የምርምር ሂደት (MEMS)
3 Fluxgate miniaturization ታሪክ
3.1 ማይክሮማሽኒድ ፍሉክስጌት
3.2 PCB Fluxgate
3.3 MEMS Fluxgate
4 MEMS Fluxgate ምርምር
4.1 ቴክኖሎጂ
4.2 መዋቅር
4.3 Orthogonal Fluxgate
5 የ MEMS Fluxgate መተግበሪያ
5.1 ሮቦቶች
5.2 የአሁኑ ፈተና
5.3 ባዮማግኔቲክ ማወቂያ
5.4 የህዋ አሰሳ
6 ኢፒሎግ
በማጠቃለል
ባለፉት ሶስት አስርት ዓመታት ውስጥ, ፍሎክስጌት በትንሽነት ትልቅ እድገት አሳይቷል።, እና የከፍተኛ ድምጽ ችግሮች, ዝቅተኛ ስሜታዊነት, እና በፍሎክስጌት አነስተኛነት ምክንያት የሚፈጠረው ትልቅ የሙቀት መጠን ተሻሽሏል።. የ MEMS ቴክኖሎጂ በአሁኑ ጊዜ በፍሎክስጌት አነስተኛነት ውስጥ በጣም ሞቃት ቦታ ነው።. የ MEMS ቴክኖሎጂን በመጠቀም Fluxgates እንደ ትንሽ መጠን ያሉ በጣም ጥሩ ባህሪያት አሏቸው, ዝቅተኛ ዋጋ, ከፍተኛ ውህደት እና ከፍተኛ ተዛማጅ, እና በብዙ መስኮች በሰፊው ጥቅም ላይ ውሏል.
ወደፊት, MEMS ፍሎክስጌቶች አወቃቀራቸውን የበለጠ ማመቻቸት አለባቸው, የማምረት ሂደት, መግነጢሳዊ ኮር ቁሳቁስ, እና ከፍተኛ ትብነት ጋር መመርመሪያዎች ለማግኘት የወረዳ ተዛማጅ, ዝቅተኛ ድምጽ, እና የተሻለ መዋቅራዊ ተስማሚ. አህነ, በ MEMS ቴክኖሎጂ ላይ የተመሰረተው ባለ ሁለት-ልኬት ፍሉክስጌት ዳሳሽ ቴክኖሎጂ በጣም የበሰለ ነው።. በ MEMS ቴክኖሎጂ እድገት እንደሆነ ይታመናል, የተቀናጀ MEMS ባለሶስት ዘንግ ፍሊክስጌት ዳሳሽ ሩቅ መሆን የለበትም.
