Adhartas Rannsachaidh air Sensor Fluxgate Stèidhichte air Siostam Micro Electro Mechanical (MEMS)

Sgioba Chen Jiamin bho Acadamaidh Saidheansan Shìona: Rannsachadh adhartas air mothachairean fluxgate stèidhichte air siostaman microelectromechanical (MEMS)

Tha na h-artaigilean a leanas bhon roinn deasachaidh de stuthan agus innealan magnetach, agus tha an t-ùghdar bho roinn deasachaidh Magnetic Journal

ro-ràdh sgioba

Bha Mr. Chen Jiamin, neach-rannsachaidh an "Prìomh obair-lann stàite de theicneòlas mothachaidh" de Institiud Ùr-ghnàthachaidh Fiosrachaidh Aerospace aig Acadamaidh Saidheansan Shìona, neach-stiùiridh dotaireil, tagraiche den "Prògram ceud tàlant" bho Acadamaidh Saidheansan Shìona, neach-rannsachaidh sònraichte (comhluadar) de Chomann Iapan airson Brosnachadh Saidheans (JSPS), IEEE Magnetics Ball den chomann, ball de Chomhairle Nàiseanta Stuthan is Innealan Eòlaiche Buidheann Eòlaiche Stuthan Magnetic.

Luchdaich dealanach gnàthach seasmhach a ghabhas atharrachadh - Treasure tester luchdadh a-nuas - modal sgaoilidh aois - cosgais luath agus resistor sgaoilidh

Tha e air a bhith an sàs ann an rannsachadh stuthan mothachaidh ùra, mothachairean magnetach, Fiosaigeachd spintronic, stuthan agus innealan airson ùine fhada. Tha e air a bhith na cheann-suidhe agus air pàirt a ghabhail ann an Iapan "Plana ùr-ghnàthach teicneòlas tarraingeach" pròiseict, maoin rannsachadh saidheansail Comann Iapan airson Brosnachadh Saidheans pròiseact ìre S rannsachadh bunaiteach, Pròiseact ìre A, Pròiseact ìre B, pròiseact rannsachaidh sònraichte agus pròiseact Comann Teicneòlas Stòraidh Adhartach, etc., agus tha e an-dràsta os cionn prìomh rannsachadh agus leasachadh nàiseanta Tha mòran phròiseactan rannsachaidh saidheansail leithid pròiseact neach-saidheans òg dealbhaichte, Pròiseact Bunait Nàiseanta Saidheans Nàdarra, Pròiseact Bunait Saidheans Nàdarra Beijing, Pròiseact tàlant Acadamaidh Saidheansan Shìona, Pròiseact leasachaidh gnìomh ionnstramaid is uidheamachd Acadamaidh Saidheansan Shìona, agus pròiseact an urra ri iomairt.

Modal deuchainn ulaidh cosgais dealanach seasmhach a ghabhas atharrachadh

Stiùireadh artaigil

Is e seòrsa de luchd-mothachaidh magnetach vectar a th’ ann an mothachairean fluxgate a lorgas raointean magnetach lag tricead ìosal no DC. Air sgàth na buannachdan aca ann an rùn, seasmhachd teòthachd, cruinneas agus cugallachd, tha iad air an cleachdadh gu farsaing ann an suidheachadh seòlaidh magnetach, lorg àite, lorg mèinnearachd, Dearbhadh geomagnetic, lorg làithreach agus raointean eile. Gus coinneachadh ri tagraidhean a tha a’ tighinn am bàrr de mhicro-phàirtean agus siostaman, tha miniaturization de luchd-mothachaidh fluxgate air a thighinn gu bhith na phrìomh àite rannsachaidh air fluxgate luchd-mothachaidh. Siostam micro-electro-meacanaigeach (MEMS) tha giollachd a’ toirt bunait theicnigeach airson mion-sgrùdadh mothachairean fluxgate. Tha am pàipear seo a’ toirt geàrr-chunntas air prionnsapalan bunaiteach mothachairean fluxgate, agus a’ mìneachadh eachdraidh leasachaidh teicneòlas mothachaidh micro-fluxgate, gabhail a-steach teicneòlas micromachining, Teicneòlas PCB agus teicneòlas MEMS. Thathas a’ toirt geàrr-chunntas air pròiseas leasachaidh teicneòlas structar fluxgate MEMS agus inbhe leasachaidh MEMS orthogonal fluxgate, agus tha dùil ri fòcas rannsachaidh san raon seo san àm ri teachd.

Prìomh fhaclan: sensor fluxgate; MEMS; tomhas magnetach; tagradh

1 Ro-ràdh

Is e seòrsa de luchd-mothachaidh vector magnetach a th’ ann an mothachairean fluxgate a lorgas raointean magnetach lag tricead ìosal no DC. Tha mothachairean fluxgate traidiseanta air an cleachdadh gu farsaing ann an suidheachadh seòlaidh magnetach, lorg àite, lorg mèinnearachd, lorg geomagnetic, lorg gnàthach agus raointean eile air sgàth na buannachdan aca ann an rùn, seasmhachd teòthachd, mionaideachd agus cugallachd. Diofar meanbh-dhrones, innealan-làimhe, meanbh-saidealan, mothachairean meanbh-sruth, coimeasgaidhean beaga dealanach, tha riatanasan càileachd nas àirde aig bith-leigheas agus raointean tagraidh eile, tomhas-lìonaidh, caitheamh cumhachd agus amalachadh fluxgates. Gus coinneachadh ri tagraidhean a tha a’ tighinn am bàrr de mhicro-phàirtean agus siostaman, tha miniaturization de luchd-mothachaidh fluxgate air a thighinn gu bhith na phrìomh àite rannsachaidh de luchd-mothachaidh fluxgate.

2 Prionnsabal agus structar geata fiodha cruaidh

geata flux co-shìnte - Adhartas Rannsachaidh air Sensor Fluxgate Stèidhichte air Siostam Micro Electro Mechanical (MEMS)

3 Eachdraidh prìsean stoc Fluxgate miniaturization
3.1 Micromachined Fluxgate
3.2 PCB Fluxgate
3.3 Geata Flux MEMS
4 Rannsachadh MEMS Fluxgate
4.1 Teicneòlas
4.2 Structar
4.3 Orthogonal Fluxgate
5 Cur an gnìomh MEMS Fluxgate
5.1 Robots
5.2 Deuchainn gnàthaichte
5.3 Dearbhadh biomagnetic
5.4 Rannsachadh Fànais
6 Epilogue

ann an co-dhùnadh

Thairis air na trì deicheadan mu dheireadh, tha fluxgates air adhartas mòr a dhèanamh ann am miniaturization, agus duilgheadasan fuaim àrd, cugallachd ìosal, agus chaidh gluasad teòthachd mòr air adhbhrachadh le miniaturization fluxgates a leasachadh. Tha teicneòlas MEMS an-dràsta na àite teth ann am miniaturization fluxgates. Tha feartan sàr-mhath aig fluxgates a tha a’ cleachdadh teicneòlas MEMS leithid meud beag, cosgais ìseal, amalachadh àrd agus maidseadh àrd, agus chaidh an cleachdadh gu farsaing ann an iomadh raon.
San àm ri teachd, Feumaidh fluxgates MEMS an structar aca a bharrachadh tuilleadh, pròiseas saothrachaidh, prìomh stuth magnetach, agus maidseadh chuairtean gus probes fhaighinn le mothachadh nas àirde, fuaim nas ìsle, agus suidheachadh structarail nas fheàrr. An-dràsta, tha an teicneòlas mothachaidh fluxgate dà-mheudach stèidhichte air teicneòlas MEMS gu math aibidh. Thathas den bheachd gur ann le leasachadh teicneòlas MEMS, cha bu chòir an sensor fluxgate trì-axis MEMS aonaichte a bhith fada air falbh.