ການຄົ້ນຄວ້າຄວາມຄືບຫນ້າຂອງເຊັນເຊີ Fluxgate ໂດຍອີງໃສ່ລະບົບກົນຈັກໄມໂຄອີເລັກໂທຣນິກ (MEMS)

ທີມງານ Chen Jiamin ຈາກສະຖາບັນວິທະຍາສາດຈີນ: ຄວາມຄືບຫນ້າຂອງການຄົ້ນຄວ້າກ່ຽວກັບ sensors fluxgate ໂດຍອີງໃສ່ລະບົບ microelectromechanical (MEMS)

ບົດຄວາມຕໍ່ໄປນີ້ແມ່ນມາຈາກພະແນກບັນນາທິການຂອງວັດສະດຸແມ່ເຫຼັກແລະອຸປະກອນ, ແລະຜູ້ຂຽນແມ່ນມາຈາກພະແນກບັນນາທິການຂອງວາລະສານແມ່ເຫຼັກ

ການນໍາສະເຫນີທີມງານ

ທ້າວ. Chen Jiamin, ນັກຄົ້ນຄວ້າຂອງ "ຫ້ອງທົດລອງທີ່ສໍາຄັນຂອງລັດຂອງເຕັກໂນໂລຊີການຮັບຮູ້" ຂອງສະຖາບັນນະວັດຕະກໍາຂໍ້ມູນຂ່າວສານອະວະກາດຂອງສະຖາບັນວິທະຍາສາດຈີນ, ຜູ້ຄຸມງານປະລິນຍາເອກ, ຜູ້ສະຫມັກຂອງ "ໂຄງການຮ້ອຍພອນສະຫວັນ" ຂອງສະຖາບັນວິທະຍາສາດຈີນ, ນັກຄົ້ນຄວ້າພິເສດ (ຮ່ວມສຳພັນ) ຂອງສະມາຄົມສົ່ງເສີມວິທະຍາສາດຍີ່ປຸ່ນ (JSPS), IEEE Magnetics ສະມາຊິກຂອງສັງຄົມ, ສະມາຊິກຂອງສະພາແຫ່ງຊາດຂອງອຸປະກອນແລະອຸປະກອນສະນະແມ່ເຫຼັກຜູ້ຊ່ຽວຊານກຸ່ມ.

ການໂຫຼດເອເລັກໂຕຣນິກຄົງທີ່ທີ່ສາມາດປັບໄດ້ - ການສາກໄຟ tester treasure - ໂມດູນການໄຫຼອອກຜູ້ສູງອາຍຸ - ສາກໄຟໄວ ແລະຕົວຕ້ານການໄຫຼອອກ

ລາວໄດ້ມີສ່ວນຮ່ວມໃນການຄົ້ນຄວ້າອຸປະກອນການຮັບຮູ້ໃຫມ່, ເຊັນເຊີແມ່ເຫຼັກ, ຟີຊິກ spintronic, ວັດສະດຸແລະອຸປະກອນເປັນເວລາດົນນານ. ທ່ານໄດ້ເປັນປະທານແລະການເຂົ້າຮ່ວມຂອງຍີ່ປຸ່ນ "ແຜນປະດິດສ້າງເຕັກໂນໂລຢີທີ່ຂັດຂວາງ" ໂຄງການ, ສະມາຄົມຍີ່ປຸ່ນເພື່ອສົ່ງເສີມການຄົ້ນຄວ້າວິທະຍາສາດຂອງກອງທຶນການຄົ້ນຄວ້າພື້ນຖານໂຄງການລະດັບ S, ໂຄງການລະດັບ A, ໂຄງການລະດັບ B, ໂຄງການນັກຄົ້ນຄວ້າພິເສດ ແລະໂຄງການ Advanced Storage Technology Association, ແລະອື່ນໆ, ແລະປະຈຸບັນແມ່ນຮັບຜິດຊອບການຄົ້ນຄວ້າແລະການພັດທະນາທີ່ສໍາຄັນແຫ່ງຊາດ, ມີໂຄງການຄົ້ນຄ້ວາວິທະຍາສາດຈໍານວນຫຼາຍເຊັ່ນ: ໂຄງການນັກວິທະຍາສາດໄວຫນຸ່ມທີ່ໄດ້ວາງແຜນໄວ້., ໂຄງການມູນນິທິວິທະຍາສາດທຳມະຊາດແຫ່ງຊາດ, ໂຄງການພື້ນຖານວິທະຍາສາດທໍາມະຊາດປັກກິ່ງ, ໂຄງການພອນສະຫວັນຂອງສະຖາບັນວິທະຍາສາດຈີນ, ໂຄງການພັດທະນາຫນ້າທີ່ເຄື່ອງມືແລະອຸປະກອນສະຖາບັນວິທະຍາສາດຈີນ, ແລະໂຄງການທີ່ວິສາຫະກິດມອບຫມາຍ.

ໂມດູນຕົວທົດສອບການສາກໄຟອິເລັກໂທຣນິກຄົງທີ່ທີ່ສາມາດປັບໄດ້

ບົດແນະນຳ

ເຊັນເຊີ Fluxgate ແມ່ນປະເພດຂອງເຊັນເຊີແມ່ເຫຼັກ vector ທີ່ສາມາດກວດພົບຄວາມຖີ່ຕ່ໍາຫຼືພາກສະຫນາມແມ່ເຫຼັກ DC ທີ່ອ່ອນແອ.. ເນື່ອງຈາກວ່າຂໍ້ໄດ້ປຽບຂອງເຂົາເຈົ້າໃນການແກ້ໄຂ, ສະຖຽນລະພາບອຸນຫະພູມ, ຄວາມຖືກຕ້ອງແລະຄວາມອ່ອນໄຫວ, ພວກມັນຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນການຈັດຕໍາແຫນ່ງນໍາທິດແມ່ເຫຼັກ, ການຊອກຫາຊ່ອງ, ການກວດພົບແຮ່ທາດ, ການກວດຈັບ Geomagnetic, ການຊອກຫາໃນປະຈຸບັນແລະພາກສະຫນາມອື່ນໆ. ເພື່ອຕອບສະຫນອງຄໍາຮ້ອງສະຫມັກທີ່ພົ້ນເດັ່ນຂື້ນຂອງອົງປະກອບຈຸນລະພາກແລະລະບົບ, ການປັບຕົວຂະໜາດນ້ອຍຂອງເຊັນເຊີ fluxgate ໄດ້ກາຍເປັນຈຸດຄົ້ນຄວ້າຂອງ fluxgate ເຊັນເຊີ. ລະບົບກົນຈັກໄມໂຄຣໄຟຟ້າ (MEMS) ການປຸງແຕ່ງສະຫນອງພື້ນຖານດ້ານວິຊາການສໍາລັບການ miniaturization ຂອງເຊັນເຊີ fluxgate. ເອກະສານສະບັບນີ້ສະຫຼຸບຫຼັກການພື້ນຖານຂອງເຊັນເຊີ fluxgate, ແລະອະທິບາຍປະຫວັດການພັດທະນາຂອງເຕັກໂນໂລຊີເຊັນເຊີ micro-fluxgate, ລວມທັງເຕັກໂນໂລຊີ micromachining, ເຕັກໂນໂລຊີ PCB ແລະເຕັກໂນໂລຊີ MEMS. ຂະບວນການພັດທະນາເຕັກໂນໂລຢີໂຄງສ້າງ MEMS fluxgate ແລະສະຖານະພາບການພັດທະນາຂອງ MEMS orthogonal fluxgate ແມ່ນສະຫຼຸບ., ແລະຈຸດສຸມການຄົ້ນຄວ້າໃນອະນາຄົດໃນຂົງເຂດນີ້ແມ່ນມີຄວາມຄາດຫວັງ.

ຄໍາສໍາຄັນ: ເຊັນເຊີ fluxgate; MEMS; ການວັດແທກແມ່ເຫຼັກ; ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ

1 ແນະນຳ

ເຊັນເຊີ Fluxgate ແມ່ນຫ້ອງຮຽນຂອງເຊັນເຊີແມ່ເຫຼັກ vector ທີ່ສາມາດກວດພົບຄວາມຖີ່ຕ່ໍາຫຼືເຂດແມ່ເຫຼັກ DC ທີ່ອ່ອນແອ.. ເຊັນເຊີ fluxgate ແບບດັ້ງເດີມຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນການຈັດຕໍາແຫນ່ງນໍາທາງແມ່ເຫຼັກ, ການຊອກຫາຊ່ອງ, ການກວດພົບແຮ່ທາດ, ການກວດສອບ Geomagnetic, ການກວດສອບໃນປະຈຸບັນແລະພາກສະຫນາມອື່ນໆເນື່ອງຈາກຂໍ້ໄດ້ປຽບຂອງເຂົາເຈົ້າໃນການແກ້ໄຂ, ສະຖຽນລະພາບອຸນຫະພູມ, ຄວາມແມ່ນຍໍາແລະຄວາມອ່ອນໄຫວ. drones ຈຸນລະພາກຕ່າງໆ, ອຸປະກອນມືຖື, ດາວທຽມຈຸນລະພາກ, ເຊັນເຊີຈຸລະພາກປະຈຸບັນ, ເຂັມທິດເອເລັກໂຕຣນິກຂະໜາດນ້ອຍ, biomedicine ແລະຂົງເຂດຄໍາຮ້ອງສະຫມັກອື່ນໆມີຄວາມຕ້ອງການສູງສໍາລັບຄຸນນະພາບ, ປະລິມານ, ການບໍລິໂພກພະລັງງານແລະການລວມຕົວຂອງ fluxgates. ເພື່ອຕອບສະຫນອງຄໍາຮ້ອງສະຫມັກທີ່ພົ້ນເດັ່ນຂື້ນຂອງອົງປະກອບຈຸນລະພາກແລະລະບົບ, ການປັບຕົວຂະໜາດນ້ອຍຂອງເຊັນເຊີ fluxgate ໄດ້ກາຍເປັນຈຸດຄົ້ນຄວ້າຂອງເຊັນເຊີ fluxgate.

2 ຫຼັກການແລະໂຄງສ້າງຂອງ fluxgate ແຂງ

fluxgate ຂະຫນານ - ການຄົ້ນຄວ້າຄວາມຄືບຫນ້າຂອງເຊັນເຊີ Fluxgate ໂດຍອີງໃສ່ລະບົບກົນຈັກໄມໂຄອີເລັກໂທຣນິກ (MEMS)

3 ປະຫວັດການຂະຫນາດນ້ອຍ Fluxgate
3.1 Micromachined Fluxgate
3.2 PCB Fluxgate
3.3 MEMS Fluxgate
4 MEMS Fluxgate ການຄົ້ນຄວ້າ
4.1 ເຕັກໂນໂລຊີ
4.2 ໂຄງສ້າງ
4.3 Orthogonal Fluxgate
5 ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຂອງ MEMS Fluxgate
5.1 ຫຸ່ນຍົນ
5.2 ການທົດສອບປະຈຸບັນ
5.3 ການກວດຫາແມ່ເຫຼັກຊີວະພາບ
5.4 ການສຳຫຼວດອາວະກາດ
6 Epilogue

ສະຫຼຸບ

ໃນໄລຍະສາມທົດສະວັດທີ່ຜ່ານມາ, fluxgates ມີຄວາມຄືບຫນ້າຢ່າງຫຼວງຫຼາຍໃນ miniaturization, ແລະບັນຫາຂອງສຽງສູງ, ຄວາມອ່ອນໄຫວຕໍ່າ, ແລະ drift ອຸນຫະພູມຂະຫນາດໃຫຍ່ທີ່ເກີດຈາກການ miniaturization ຂອງ fluxgates ໄດ້ຖືກປັບປຸງ. ເທັກໂນໂລຍີ MEMS ປະຈຸບັນເປັນຈຸດຮ້ອນໃນການເຮັດໃຫ້ fluxgates ນ້ອຍລົງ. Fluxgates ນໍາໃຊ້ເຕັກໂນໂລຢີ MEMS ມີລັກສະນະທີ່ດີເລີດເຊັ່ນ: ຂະຫນາດນ້ອຍ, ລາຄາຖືກ, ການເຊື່ອມໂຍງສູງແລະການຈັບຄູ່ສູງ, ແລະໄດ້ຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນຫຼາຍຂົງເຂດ.
ໃນອານາຄົດ, MEMS fluxgates ຕ້ອງການເພີ່ມປະສິດທິພາບໂຄງສ້າງຂອງພວກເຂົາຕື່ມອີກ, ຂະບວນການຜະລິດ, ວັດສະດຸຫຼັກແມ່ເຫຼັກ, ແລະການຈັບຄູ່ວົງຈອນເພື່ອໃຫ້ໄດ້ probes ທີ່ມີຄວາມອ່ອນໄຫວສູງກວ່າ, ສຽງຕ່ໍາ, ແລະເຫມາະສົມໂຄງສ້າງທີ່ດີກວ່າ. ປັດຈຸບັນ, ເທກໂນໂລຍີເຊັນເຊີ fluxgate ສອງມິຕິໂດຍອີງໃສ່ເຕັກໂນໂລຢີ MEMS ແມ່ນຂ້ອນຂ້າງໃຫຍ່. ມັນເຊື່ອວ່າມີການພັດທະນາຂອງເຕັກໂນໂລຢີ MEMS, ເຊັນເຊີ fluxgate ສາມແກນ MEMS ປະສົມປະສານບໍ່ຄວນຢູ່ໄກ.