Esplora Progreso de Fluxgate Sensilo Bazita sur Micro Electro Mechanical System (MEMS)

La teamo de Chen Jiamin el la Ĉina Akademio de Sciencoj: Esplorprogreson sur flukvaj sensiloj bazitaj sur mikroelektromekanikaj sistemoj (MEMS)

La sekvaj artikoloj estas de la redakcia fako de magnetaj materialoj kaj aparatoj, kaj la aŭtoro estas de la redakcia fako de Magnetic Journal

teamenkonduko

Mr. Chen Jiamin, esploristo de la "Ŝtata Ŝlosila Laboratorio de Sensanta Teknologio" de la Aerospaca Informo-Noviga Instituto de la Ĉina Akademio de Sciencoj, doktora kontrolisto, kandidato de la "Cent Talentoj Programo" de la Ĉina Akademio de Sciencoj, speciala esploristo (kunuleco) de la Japana Societo por la Promocio de Scienco (JSPS), IEEE Magnetics Membro de la socio, membro de la Nacia Konsilio de Materialoj kaj Aparatoj Magnetic Materials Expert Group eksperto.

Alĝustigebla konstanta nuna elektronika ŝarĝo - ŝargado de trezoro-testilo - maljuniĝanta malŝarĝa modulo - rapida ŝarĝo kaj malŝarĝo rezistilo

Li okupiĝis pri la esplorado de novaj sentmaterialoj, magnetaj sensiloj, spintrona fiziko, materialoj kaj aparatoj dum longa tempo. Li prezidis kaj partoprenis en Japanio "Disruptive Technology Innovation Plan" projekto, la scienca esplora fonduso de la Japana Societo por la Antaŭenigo de Scienco bazesplora S-nivela projekto, A-nivela projekto, B-nivela projekto, speciala esplorprojekto kaj Advanced Storage Technology Association-projekto, ktp., kaj nuntempe respondecas pri nacia ŝlosila esplorado kaj evoluo Estas multaj sciencaj esplorprojektoj kiel planita juna sciencista projekto, Projekto de National Natural Science Foundation, Projekto de Pekina Naturscienca Fondaĵo, Projekto de talento de Ĉina Akademio de Sciencoj, Ĉina Akademio de Sciencoj disvolva projekto pri instrumento kaj ekipaĵo, kaj entrepreno konfidita projekto.

Alĝustigebla konstanta nuna elektronika ŝarĝo ŝarga trezora testilo-modulo

Artikola gvidilo

Fluxgate-sensiloj estas speco de vektoraj magnetaj sensiloj kiuj povas detekti malfortajn malaltfrekvencajn aŭ Dc magnetajn kampojn.. Pro iliaj avantaĝoj en rezolucio, stabileco de temperaturo, precizeco kaj sentemo, ili estas vaste uzataj en magneta navigacia poziciigado, spaca detekto, detekto de mineraloj, Geomagneta detekto, aktuala detekto kaj aliaj kampoj. Por renkonti la emerĝantajn aplikojn de mikrokomponentoj kaj sistemoj, la miniaturigo de fluxgate sensiloj fariĝis esplora retpunkto de fluxgate sensiloj. Mikro-elektro-mekanika Sistemo (MEMS) pretigo disponigas teknikan bazon por la miniaturigo de fluxgate-sensiloj. Ĉi tiu papero resumas la bazajn principojn de Fluxgate-sensiloj, kaj eksplikas la evoluhistorion de mikro-fluxgate sensilteknologio, inkluzive de mikromaŝinteknologio, PCB-teknologio kaj MEMS-teknologio. La evoluprocezo de MEMS-fluxgate-strukturteknologio kaj la evolua statuso de MEMS-orta fluxgate estas resumitaj, kaj la estonta esplorfokuso en ĉi tiu kampo estas perspektiva.

Ŝlosilvortoj: fluxgate-sensilo; MEMS; magneta mezurado; aplikaĵo

1 Enkonduko

Fluxgate-sensiloj estas klaso de vektoraj magnetaj sensiloj kiuj povas detekti malfortajn malaltfrekvencajn aŭ Dc magnetajn kampojn.. Tradiciaj fluxgate-sensiloj estas vaste uzitaj en magneta navigacia poziciigado, spaca detekto, detekto de mineraloj, geomagneta detekto, aktuala detekto kaj aliaj kampoj pro iliaj avantaĝoj en rezolucio, stabileco de temperaturo, precizeco kaj sentemo. Diversaj mikro-virabeloj, porteblaj aparatoj, mikrosatelitoj, mikro-kurentaj sensiloj, malgrandaj elektronikaj kompasoj, biomedicino kaj aliaj aplikaj kampoj havas pli altajn postulojn por la kvalito, volumeno, elektrokonsumo kaj integriĝo de fluxgates. Por renkonti la emerĝantajn aplikojn de mikrokomponentoj kaj sistemoj, la miniaturigo de flukvaj sensiloj fariĝis esplora retpunkto de fluxgate-sensiloj.

2 Principo kaj strukturo de solida flupordego

paralela fluxgate - Esplora Progreso de Fluxgate Sensilo Bazita sur Micro Electro Mechanical System (MEMS)

3 Historio de miniaturigo de Fluxgate
3.1 Mikromaŝinita Fluxgate
3.2 PCB Fluxgate
3.3 MEMS Fluxgate
4 MEMS Fluxgate Research
4.1 Teknologio
4.2 Strukturo
4.3 Orta Fluxgate
5 Apliko de MEMS Fluxgate
5.1 Robotoj
5.2 Nuna Testo
5.3 Biomagneta detekto
5.4 Spaca Esplorado
6 Epilogo

Konklude

Dum la lastaj tri jardekoj, fluxgates faris grandan progreson en miniaturigo, kaj la problemoj de alta bruo, malalta sentemo, kaj granda temperaturdrivo kaŭzita de la miniaturigo de flupordegoj estis plibonigitaj. MEMS-teknologio estas nuntempe varma punkto en la miniaturigo de flupordegoj. Fluxgates uzantaj MEMS-teknologion havas bonegajn karakterizaĵojn kiel malgranda grandeco, malalta kosto, alta integriĝo kaj alta kongruo, kaj estis vaste uzataj en multaj kampoj.
Estontece, MEMS-fluxpordegoj devas plue optimumigi sian strukturon, procezo de fabrikado, magneta kerna materialo, kaj cirkvito-kongruo por akiri enketojn kun pli alta sentemo, pli malalta bruo, kaj pli bona struktura taŭgeco. Nuntempe, la dudimensia fluxgate-sensila teknologio bazita sur MEMS-teknologio estas sufiĉe matura. Oni kredas, ke kun la evoluo de MEMS-teknologio, la integra MEMS-tri-aksa fluxgate-sensilo ne devus esti malproksime.