Прогрес дослідження феррозондового датчика на основі мікроелектромеханічної системи (MEMS)

Команда Чень Цзяміна з Китайської академії наук: Прогрес досліджень феррозондових датчиків на основі мікроелектромеханічних систем (MEMS)

Наступні статті з редакції відділу магнітних матеріалів і приладів, а автор – з редакції Magnetic Journal

представлення команди

Містер. Чень Цзямін, дослідник в "Державна ключова лабораторія сенсорної техніки" Інституту інновацій аерокосмічної інформації Китайської академії наук, науковий керівник докторантури, кандидат в "Програма «Сто талантів»." китайської академії наук, спеціальний дослідник (товариство) Японського товариства сприяння науці (JSPS), Член товариства IEEE Magnetics, член Національної ради з питань матеріалів і пристроїв, експерт експертної групи з магнітних матеріалів.

Регульоване електронне навантаження постійного струму - зарядний тестер скарбів - модуль старіння розряду - резистор швидкої зарядки та розрядки

Він займався дослідженнями нових сенсорних матеріалів, магнітні датчики, спінтронна фізика, матеріалів і пристроїв протягом тривалого часу. Він головував і брав участь у Японії "План руйнівних технологічних інновацій" демонструвати, Фонд наукових досліджень Японського товариства сприяння науці фундаментальних досліджень S-level проекту, Проект A-level, Проект B-level, спеціальний дослідницький проект і проект Асоціації передових технологій зберігання, тощо, і в даний час відповідає за ключові національні дослідження та розробки Є багато науково-дослідних проектів, таких як запланований проект молодих вчених, Проект Національного фонду природничих наук, Проект Пекінського фонду природничих наук, Талантовий проект Китайської академії наук, Проект розробки інструментів і обладнання Китайської академії наук, і підприємство доручено проекту.

Регульований постійний струм електронного заряджання модуля тестера скарбів

Посібник по статті

Феррозондові датчики — це тип векторних магнітних датчиків, які можуть виявляти слабкі низькочастотні або постійні магнітні поля. Через їх переваги в роздільній здатності, температурна стабільність, точність і чутливість, вони широко використовуються в магнітному навігаційному позиціонуванні, виявлення простору, виявлення мінералів, Геомагнітне виявлення, виявлення струму та інші поля. Щоб задовольнити нові додатки мікрокомпонентів і систем, мініатюризація феррозондових датчиків стала гарячою точкою дослідження феррозондових датчиків датчики. Мікроелектромеханічна система (MEMS) обробка забезпечує технічну основу для мініатюризації датчиків феррозонду. У цьому документі коротко викладено основні принципи датчиків феррозонду, і пояснює історію розвитку технології мікроферрозондового датчика, включаючи технологію мікрообробки, Технологія PCB і технологія MEMS. Узагальнено процес розробки технології феррозондової структури MEMS та стан розробки ортогонального феррозондової системи MEMS., і перспективний напрямок досліджень у цій галузі.

Ключові слова: феррозондовий датчик; MEMS; магнітне вимірювання; додаток

1 вступ

Феррозондові датчики — це клас векторних магнітних датчиків, які можуть виявляти слабкі низькочастотні або постійні магнітні поля.. Традиційні феррозондові датчики широко використовуються в магнітному навігаційному позиціонуванні, виявлення простору, виявлення мінералів, геомагнітне виявлення, виявлення струму та інші поля завдяки їхнім перевагам у роздільній здатності, температурна стабільність, точність і чутливість. Різні мікродрони, кишенькові пристрої, мікросупутники, мікродатчики струму, маленькі електронні компаси, біомедицина та інші галузі застосування мають підвищені вимоги до якості, обсяг, енергоспоживання та інтеграція феррозондів. Щоб задовольнити нові додатки мікрокомпонентів і систем, мініатюризація феррозондових датчиків стала гарячою точкою дослідження феррозондових датчиків.

2 Принцип і будова твердого феррозонду

паралельний феррозонд - Прогрес дослідження феррозондового датчика на основі мікроелектромеханічної системи (MEMS)

3 Історія мініатюризації fluxgate
3.1 Мікромашинний феррозонд
3.2 PCB Fluxgate
3.3 MEMS Fluxgate
4 MEMS Fluxgate Research
4.1 технології
4.2 Структура
4.3 Ортогональний феррозонд
5 Застосування MEMS Fluxgate
5.1 Роботи
5.2 Поточний тест
5.3 Біомагнітне виявлення
5.4 Дослідження космосу
6 Епілог

на закінчення

За останні три десятиліття, феррозонди досягли значного прогресу в мініатюризації, і проблеми високого шуму, низька чутливість, і великий температурний дрейф, спричинений мініатюризацією феррозондів, було покращено. Технологія MEMS зараз є гарячою точкою в мініатюризації феррозондів. Феррозонди, що використовують технологію MEMS, мають чудові характеристики, такі як малий розмір, низька вартість, висока інтеграція та висока відповідність, і широко використовувалися в багатьох галузях.
В майбутньому, МЕМС-феррозонди потребують подальшої оптимізації своєї структури, виробничий процес, матеріал магнітного сердечника, і узгодження схеми для отримання зондів з більш високою чутливістю, менший шум, і краще структурне прилягання. Наразі, технологія двовимірного феррозондового датчика на основі технології MEMS є досить зрілою. Вважається, що з розвитком технології MEMS, інтегрований тривісний феррозондовий датчик MEMS не повинен бути далеко.