Nte ár nthoni ar sensor Fluxgate basado 'nar ko ya micro electromecánico (MEMS)

Equipo Chen Jiamin ar ar Academia ar Ciencias ar Ntxinä: Avances jar nthoni dige sensores fluxgate basados sistemas microelectromecánicos (MEMS)

Ya nuya xeni Nthuts'i ya nsa̲di primärya editorial materiales ne dispositivos magnéticos, ne ar autor ge ya nsa̲di primärya editorial Magnetic Journal

Nthuts'i ñut'i ja ar equipo

Sr. Chen Jiamin, Investigador ar ar "Laboratorio Estatal Clave ar Tecnología ar Detección" ya ar Instituto Innovación ar ungumfädi Aeroespacial ar ar Academia Ntxinä ar Ciencias, 'nar supervisor doctorado, 'nar candidato ya ar "Programa Cien Talentos" ya ar Academia Ntxinä ar Ciencias, 'Nar investigador hontho (compañerismo) ya ar 'mu̲i Japonesa pa ar mats'i ar ar Ciencia (JSPS), IEEE Magnetics Maxte jar 'mu̲i, Ar Maxte jar Hmunts'i Expertos jar Materiales Magnéticos ar ar Ts'ut'ubi Nacional Materiales ne Dispositivos.

Carga electrónica corriente nzäm'bu̲ ajustable - Probando tesoro carga - Módulo descarga envejecimiento - Resistencia carga ne descarga ngut'a

Ar xi dedicado jar nthoni 'ra'yo materiales detección., Sensores magnéticos, Física espintrónica, Materiales ne dispositivos Nxoge xingu ya pa. Xi presidido ne xi mfaxte jar ar "Plan de Innovación Tecnológica Disruptiva" 'be̲fi, ar 'be̲fi za̲ ár nthe̲ S nthoni básica ts'o̲e nthoni científica ar 'mu̲i Japonesa pa ar mats'i ar ar Ciencia, 'Be̲fi za̲ ár nthe̲ A, 'Be̲fi za̲ ár nthe̲ B, 'be̲fi investigador hontho ne 'be̲fi jar Asociación Tecnología ar Almacenamiento Avanzado, etc., ne 'bu̲'bya 'bu̲i ir 'be̲fi jar nthoni ne ár nte clave jar za̲ ár nthe̲ nacional 'bu̲i xingu 'yot'e ya nthoni científica, komongu ar 'be̲fi planificado ya ts'u̲nt'u̲ científicos, 'Be̲fi Fundación Nacional Ciencias Naturales, 'Be̲fi jar Fundación Ciencias Naturales ar Beijing, 'Be̲fi talento ar Academia Ntxinä ar Ciencias, 'Be̲fi nte 'befi ya instrumentos ne ya equipos ar Academia Ntxinä ar Ciencias, ne 'be̲fi empresarial encomendado.

Módulo probador tesoro carga electrónica corriente nzäm'bu̲ ajustable

Guía ar xeni Nthuts'i

Ya sensores Fluxgate ge 'nar klase ar sensores magnéticos vectoriales ne xi detectar campos magnéticos yá ts'e̲di ar xí hñets'i'i frecuencia wa CC.. Ja yá ventajas resolución, Nzäm'bu mpat'i, Precisión ne sensibilidad, Ya ampliamente utilizados jar posicionamiento navegación magnética, Detección espacio, Detección minerales, Detección geomagnética, Detección corriente ne ma'ra ya campos. Pa satisfacer ya aplicaciones emergentes microcomponentes ne sistemas, Miniaturización ya sensores Fluxgate ar xi convertido ja 'nar punto mpa nthoni Fluxgate sensores. Ko microelectromecánico (MEMS) Ar procesamiento proporciona 'nar base nt'o̲t'e da miniaturización ya sensores Fluxgate. Nuna ar documento resume ya ndu'mi hontho ja ya sensores fluxgate, ne expone ar 'bede nte tecnología sensores micro-fluxgate, da 'ñent'i tecnología micromecanizado, Tecnología PCB ne tecnología MEMS. Ar resumen ar proceso nte tecnología estructura fluxgate MEMS ne jar dätä hnini nte ar fluxgate ortogonal MEMS, ne bí prospecta ar enfoque futuro ár nthoni nuna hwähi.

Ya hñä clave: Sensor fluxgate; MEMS; T'e̲ni magnética; nt'ot'e

1 Nthuts'i ñut'i

Ya sensores Fluxgate ge 'nar nsa̲di ar sensores magnéticos vectoriales ne xi detectar campos magnéticos yá ts'e̲di ar xí hñets'i'i frecuencia wa CC.. Ya sensores ar fluxgate hneise̲ ya ampliamente utilizados jar posicionamiento navegación magnética, Detección espacio, Detección minerales, Detección geomagnética, Detección corriente ne ma'ra campos nu'bya yá ventajas resolución, Nzäm'bu mpat'i, Precisión ne sensibilidad. Varios micro drones, Dispositivos ar 'ye̲, Micro satélites, Sensores micro corriente, t'olo brújulas electrónicas, Ar biomedicina ne ma'ra campos nt'ot'e pe̲ts'i requisitos mäs altos pa ar hño, volumen, Consumo energía ne integración FluxGates. Pa satisfacer ya aplicaciones emergentes microcomponentes ne sistemas, Miniaturización ya sensores Fluxgate ar xi convertido ja 'nar punto nthogi nthoni ya sensores Fluxgate.

2 Ndui ne estructura fluxgate sólido.

Fluxgate paralelo - Nte ár nthoni ar sensor Fluxgate basado 'nar ko ya micro electromecánico (MEMS)

3 Ar 'bede miniaturización Fluxgate
3.1 Fluxgate micromecanizado
3.2 PCB Fluxgate
3.3 MEMS Fluxgate
4 Nthoni MEMS Fluxgate
4.1 Tecnología
4.2 Estructura
4.3 Fluxgate ortogonal
5 Nt'ot'e MEMS Fluxgate
5.1 Robots
5.2 Prueba nu'bya
5.3 Detección biomagnética
5.4 Exploración espacial
6 Epílogo

jar njäts'i nu'bu

Jar últimas hñu décadas, Fluxgates xi 'yo̲t'e ya dätä progresos ja ar miniaturización, ne ya hñäki mar hñets'i mafi, xí hñets'i'i sensibilidad, ne bí xi mejorado jar Nar dätä hño deriva mpat'i causada ya miniaturización ya compuertas flujo. Ar tecnología MEMS ar 'bu̲'bya 'nar punto mpa jar miniaturización fluxgates. Ya puertas ar flujo da utilizan tecnología MEMS pe̲ts'i excelentes características, komongu 'nar tamaño pequeño, jár costo, Mextha ar integración ne ar mextha ar coincidencia, ne ampliamente xi utilizados ko xingu ya campos.
Ja ar futuro, Ya fluxgates MEMS necesitan optimizar aún mi mäs ár estructura, Proceso fabricación, He̲'mi ar núcleo magnético, ne coincidencia circuitos pa da sondas ko ar dätä sensibilidad, Zu'we mafi, ne xi hño za estructural. 'Bu̲'bya, tecnología sensor fluxgate bidimensional basada ar tecnología MEMS ar bastante madura. Hmä ke ko ár nte ar tecnología MEMS, sensor fluxgate hñu ejes MEMS mfaxte hingi gi 'bu̲i xa na ya'bu̲.