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Progrès de la recherche sur le capteur Fluxgate basé sur un système micro-électromécanique (MEMS)
L'équipe de Chen Jiamin de l'Académie chinoise des sciences: Avancées de la recherche sur les capteurs fluxgate basés sur des systèmes microélectromécaniques (MEMS)
Les articles suivants proviennent de la rédaction de matériaux et dispositifs magnétiques, et l'auteur est du service éditorial de Magnetic Journal
présentation de l'équipe
M. Chen Jiamin, chercheur de la "Laboratoire clé d'État de la technologie de détection" de l'Institut d'innovation de l'information aérospatiale de l'Académie chinoise des sciences, un directeur de thèse, un candidat de la "Programme des cent talents" de l'Académie chinoise des sciences, un chercheur spécial (camaraderie) de la Société japonaise pour la promotion de la science (JSPS), IEEE Magnetics Membre de la société, membre du Conseil National des Matériaux et Dispositifs Expert du Groupe d'Experts des Matériaux Magnétiques.
Charge électronique à courant constant réglable - testeur de trésor de charge - module de décharge vieillissant - résistance de charge et de décharge rapide
Il a été engagé dans la recherche de nouveaux matériaux de détection, capteurs magnétiques, physique de la spintronique, matériaux et appareils depuis longtemps. Il a présidé et participé au Japon "Plan d'innovation technologique de rupture" projet, la recherche scientifique de la Société japonaise pour la promotion de la science finance le projet de niveau S de la recherche fondamentale, Projet de niveau A, Projet de niveau B, projet de chercheur spécial et projet de l'Advanced Storage Technology Association, etc., et est actuellement en charge de la recherche et du développement clés au niveau national Il existe de nombreux projets de recherche scientifique tels que le projet de jeune scientifique prévu, Projet de la Fondation nationale des sciences naturelles, Projet de la Fondation des sciences naturelles de Pékin, Projet de talents de l'Académie chinoise des sciences, Projet de développement de fonctions d'instruments et d'équipements de l'Académie chinoise des sciences, et projet confié à l'entreprise.
Module de testeur de trésor de charge de charge électronique à courant constant réglable
Guide des articles
Les capteurs Fluxgate sont un type de capteurs magnétiques vectoriels qui peuvent détecter de faibles champs magnétiques basse fréquence ou CC. En raison de leurs avantages en résolution, stabilité de la température, précision et sensibilité, ils sont largement utilisés dans le positionnement de navigation magnétique, détection d'espace, détection de minéraux, Détection géomagnétique, détection de courant et autres champs. Afin de répondre aux applications émergentes des micro-composants et systèmes, la miniaturisation des capteurs fluxgate est devenue un hotspot de recherche de fluxgate capteurs. Système micro-électro-mécanique (MEMS) le traitement fournit une base technique pour la miniaturisation des capteurs fluxgate. Cet article résume les principes de base des capteurs fluxgate, et expose l'historique du développement de la technologie des capteurs micro-fluxgate, y compris la technologie de micro-usinage, Technologie PCB et la technologie MEMS. Le processus de développement de la technologie de structure de fluxgate MEMS et l'état de développement du fluxgate orthogonal MEMS sont résumés, et le futur axe de recherche dans ce domaine est prospecté.
Mots clés: capteur fluxgate; MEMS; mesure magnétique; application
1 Introduction
Les capteurs Fluxgate sont une classe de capteurs magnétiques vectoriels qui peuvent détecter de faibles champs magnétiques basse fréquence ou CC. Les capteurs fluxgate traditionnels sont largement utilisés dans le positionnement de la navigation magnétique, détection d'espace, détection de minéraux, détection géomagnétique, détection de courant et autres champs en raison de leurs avantages en résolution, stabilité de la température, précision et sensibilité. Divers micro drones, Appareils portables, micro-satellites, microcapteurs de courant, petits compas électroniques, la biomédecine et d'autres domaines d'application ont des exigences plus élevées en matière de qualité, volume, consommation électrique et intégration de fluxgates. Afin de répondre aux applications émergentes des micro-composants et systèmes, la miniaturisation des capteurs fluxgate est devenue un hotspot de recherche des capteurs fluxgate.
2 Principe et structure du fluxgate solide
fluxgate parallèle - Progrès de la recherche sur le capteur Fluxgate basé sur un système micro-électromécanique (MEMS)
3 Historique de la miniaturisation du Fluxgate
3.1 Fluxgate micro-usiné
3.2 PCB Fluxgate
3.3 Porte de flux MEMS
4 Recherche MEMS Fluxgate
4.1 Technologie
4.2 Structure
4.3 Porte de flux orthogonale
5 Application de MEMS Fluxgate
5.1 Robots
5.2 Essai en cours
5.3 Détection biomagnétique
5.4 Exploration de l'espace
6 Épilogue
en conclusion
Au cours des trois dernières décennies, les fluxgates ont fait de grands progrès dans la miniaturisation, et les problèmes de bruit élevé, faible sensibilité, et les grandes dérives de température causées par la miniaturisation des fluxgates ont été améliorées. La technologie MEMS est actuellement un point chaud dans la miniaturisation des fluxgates. Les fluxgates utilisant la technologie MEMS ont d'excellentes caractéristiques telles que la petite taille, faible coût, haute intégration et haute correspondance, et ont été largement utilisés dans de nombreux domaines.
À l'avenir, Les fluxgates MEMS doivent encore optimiser leur structure, processus de fabrication, matériau du noyau magnétique, et l'adaptation des circuits pour obtenir des sondes avec une sensibilité plus élevée, moins de bruit, et un meilleur ajustement structurel. Maintenant, la technologie de capteur fluxgate bidimensionnelle basée sur la technologie MEMS est assez mature. On pense qu'avec le développement de la technologie MEMS, le capteur de fluxgate à trois axes MEMS intégré ne doit pas être loin.
