માઇક્રો ઇલેક્ટ્રો મિકેનિકલ સિસ્ટમ પર આધારિત ફ્લક્સગેટ સેન્સરની સંશોધન પ્રગતિ (MEMS)
ચીની એકેડેમી ઓફ સાયન્સની ચેન જિયામીનની ટીમ: માઇક્રોઇલેક્ટ્રોમિકેનિકલ સિસ્ટમ્સ પર આધારિત ફ્લક્સગેટ સેન્સર્સ પર સંશોધન પ્રગતિ (MEMS)
નીચેના લેખો ચુંબકીય સામગ્રી અને ઉપકરણોના સંપાદકીય વિભાગના છે, અને લેખક મેગ્નેટિક જર્નલના સંપાદકીય વિભાગમાંથી છે
ટીમ પરિચય
શ્રીમાન. ચેન જિયામિન, ના સંશોધક "સેન્સિંગ ટેકનોલોજીની રાજ્ય કી લેબોરેટરી" ચાઇનીઝ એકેડેમી ઓફ સાયન્સની એરોસ્પેસ ઇન્ફોર્મેશન ઇનોવેશન ઇન્સ્ટિટ્યુટની, ડોક્ટરલ સુપરવાઇઝર, ના ઉમેદવાર "સો ટેલેન્ટ પ્રોગ્રામ" ચાઇનીઝ એકેડેમી ઓફ સાયન્સિસના, એક ખાસ સંશોધક (ફેલોશિપ) જાપાન સોસાયટી ફોર ધ પ્રમોશન ઓફ સાયન્સ (જેએસપીએસ), IEEE મેગ્નેટિક્સ સોસાયટીના સભ્ય, નેશનલ કાઉન્સિલ ઓફ મટીરીયલ્સ એન્ડ ડીવાઈસીસ મેગ્નેટિક મટીરીયલ્સ એક્સપર્ટ ગ્રુપના નિષ્ણાતના સભ્ય.
એડજસ્ટેબલ સતત વર્તમાન ઇલેક્ટ્રોનિક લોડ - ચાર્જિંગ ટ્રેઝર ટેસ્ટર - વૃદ્ધત્વ ડિસ્ચાર્જ મોડ્યુલ - ઝડપી ચાર્જ અને ડિસ્ચાર્જ રેઝિસ્ટર
તેઓ નવી સંવેદનાત્મક સામગ્રીના સંશોધનમાં રોકાયેલા છે, ચુંબકીય સેન્સર્સ, સ્પિનટ્રોનિક ભૌતિકશાસ્ત્ર, લાંબા સમય સુધી સામગ્રી અને ઉપકરણો. તેમણે જાપાનની અધ્યક્ષતા અને ભાગ લીધો છે "વિક્ષેપકારક ટેકનોલોજી ઇનોવેશન પ્લાન" પ્રોજેક્ટ, જાપાન સોસાયટી ફોર ધ પ્રમોશન ઓફ સાયન્સના વૈજ્ઞાનિક સંશોધન ફંડ મૂળભૂત સંશોધન એસ-લેવલ પ્રોજેક્ટ, એ-લેવલ પ્રોજેક્ટ, બી-લેવલ પ્રોજેક્ટ, વિશેષ સંશોધક પ્રોજેક્ટ અને એડવાન્સ્ડ સ્ટોરેજ ટેકનોલોજી એસોસિએશન પ્રોજેક્ટ, વગેરે, અને હાલમાં રાષ્ટ્રીય કી સંશોધન અને વિકાસનો હવાલો સંભાળે છે ત્યાં ઘણા વૈજ્ઞાનિક સંશોધન પ્રોજેક્ટ છે જેમ કે આયોજિત યુવા વૈજ્ઞાનિક પ્રોજેક્ટ, નેશનલ નેચરલ સાયન્સ ફાઉન્ડેશન પ્રોજેક્ટ, બેઇજિંગ નેચરલ સાયન્સ ફાઉન્ડેશન પ્રોજેક્ટ, ચાઈનીઝ એકેડેમી ઓફ સાયન્સ ટેલેન્ટ પ્રોજેક્ટ, ચાઇનીઝ એકેડેમી ઓફ સાયન્સ ઇન્સ્ટ્રુમેન્ટ એન્ડ ઇક્વિપમેન્ટ ફંક્શન ડેવલપમેન્ટ પ્રોજેક્ટ, અને એન્ટરપ્રાઇઝ સોંપાયેલ પ્રોજેક્ટ.
એડજસ્ટેબલ સતત વર્તમાન ઇલેક્ટ્રોનિક લોડ ચાર્જિંગ ટ્રેઝર ટેસ્ટર મોડ્યુલ
લેખ માર્ગદર્શિકા
ફ્લક્સગેટ સેન્સર એ વેક્ટર મેગ્નેટિક સેન્સરનો એક પ્રકાર છે જે નબળા ઓછી-આવર્તન અથવા ડીસી ચુંબકીય ક્ષેત્રોને શોધી શકે છે. રિઝોલ્યુશનમાં તેમના ફાયદાઓને કારણે, તાપમાન સ્થિરતા, ચોકસાઈ અને સંવેદનશીલતા, તેઓ ચુંબકીય નેવિગેશન પોઝિશનિંગમાં વ્યાપકપણે ઉપયોગમાં લેવાય છે, જગ્યા શોધ, ખનિજ શોધ, જીઓમેગ્નેટિક ડિટેક્શન, વર્તમાન શોધ અને અન્ય ક્ષેત્રો. સૂક્ષ્મ ઘટકો અને સિસ્ટમોના ઉભરતા કાર્યક્રમોને પહોંચી વળવા માટે, ફ્લક્સગેટ સેન્સર્સનું મિનિએચરાઇઝેશન ફ્લક્સગેટનું સંશોધન હોટસ્પોટ બની ગયું છે સેન્સર્સ. માઇક્રો-ઇલેક્ટ્રો-મિકેનિકલ સિસ્ટમ (MEMS) પ્રોસેસિંગ ફ્લુક્સગેટ સેન્સરના લઘુચિત્રીકરણ માટે તકનીકી આધાર પૂરો પાડે છે. આ પેપર ફ્લક્સગેટ સેન્સરના મૂળભૂત સિદ્ધાંતોનો સારાંશ આપે છે, અને માઇક્રો-ફ્લક્સગેટ સેન્સર ટેક્નોલોજીના વિકાસના ઇતિહાસને સમજાવે છે, માઇક્રોમશીનિંગ ટેકનોલોજી સહિત, પીસીબી ટેકનોલોજી અને MEMS ટેકનોલોજી. MEMS ફ્લક્સગેટ સ્ટ્રક્ચર ટેક્નોલોજીની વિકાસ પ્રક્રિયા અને MEMS ઓર્થોગોનલ ફ્લક્સગેટના વિકાસની સ્થિતિનો સારાંશ આપવામાં આવ્યો છે., અને આ ક્ષેત્રમાં ભાવિ સંશોધન ફોકસની સંભાવના છે.
મુખ્ય શબ્દો: ફ્લક્સગેટ સેન્સર; MEMS; ચુંબકીય માપન; અરજી
1 પરિચય
ફ્લક્સગેટ સેન્સર્સ વેક્ટર મેગ્નેટિક સેન્સર્સનો એક વર્ગ છે જે નબળા ઓછી-આવર્તન અથવા ડીસી ચુંબકીય ક્ષેત્રોને શોધી શકે છે. પરંપરાગત ફ્લક્સગેટ સેન્સરનો વ્યાપકપણે મેગ્નેટિક નેવિગેશન પોઝિશનિંગમાં ઉપયોગ થાય છે, જગ્યા શોધ, ખનિજ શોધ, ભૌગોલિક ચુંબકીય શોધ, રિઝોલ્યુશનમાં તેમના ફાયદાઓને કારણે વર્તમાન શોધ અને અન્ય ક્ષેત્રો, તાપમાન સ્થિરતા, ચોકસાઇ અને સંવેદનશીલતા. વિવિધ માઇક્રો ડ્રોન, હેન્ડહેલ્ડ ઉપકરણો, સૂક્ષ્મ ઉપગ્રહો, માઇક્રો કરંટ સેન્સર્સ, નાના ઇલેક્ટ્રોનિક હોકાયંત્રો, બાયોમેડિસિન અને અન્ય એપ્લિકેશન ક્ષેત્રોમાં ગુણવત્તા માટે ઉચ્ચ આવશ્યકતાઓ છે, વોલ્યુમ, પાવર વપરાશ અને ફ્લક્સગેટ્સનું એકીકરણ. સૂક્ષ્મ ઘટકો અને સિસ્ટમોના ઉભરતા કાર્યક્રમોને પહોંચી વળવા માટે, ફ્લક્સગેટ સેન્સર્સનું લઘુકરણ એ ફ્લક્સગેટ સેન્સર્સનું સંશોધન હોટસ્પોટ બની ગયું છે.
2 નક્કર ફ્લક્સગેટનું સિદ્ધાંત અને માળખું
સમાંતર ફ્લક્સગેટ - માઇક્રો ઇલેક્ટ્રો મિકેનિકલ સિસ્ટમ પર આધારિત ફ્લક્સગેટ સેન્સરની સંશોધન પ્રગતિ (MEMS)
3 ફ્લક્સગેટ મિનિએચરાઇઝેશન ઇતિહાસ
3.1 Micromachined Fluxgate
3.2 પીસીબી ફ્લક્સગેટ
3.3 MEMS ફ્લક્સગેટ
4 MEMS ફ્લક્સગેટ સંશોધન
4.1 ટેકનોલોજી
4.2 માળખું
4.3 ઓર્થોગોનલ ફ્લક્સગેટ
5 MEMS ફ્લક્સગેટની અરજી
5.1 રોબોટ્સ
5.2 વર્તમાન ટેસ્ટ
5.3 બાયોમેગ્નેટિક શોધ
5.4 અંતરિક્ષ સંશોધન
6 ઉપસંહાર
નિષ્કર્ષમાં
છેલ્લા ત્રણ દાયકામાં, ફ્લક્સગેટ્સે લઘુચિત્રીકરણમાં ઘણી પ્રગતિ કરી છે, અને ઉચ્ચ અવાજની સમસ્યાઓ, ઓછી સંવેદનશીલતા, અને ફ્લક્સગેટ્સના લઘુચિત્રીકરણને કારણે થતા મોટા તાપમાનના પ્રવાહમાં સુધારો કરવામાં આવ્યો છે. MEMS ટેક્નોલોજી હાલમાં ફ્લક્સગેટ્સના મિનિએચરાઇઝેશનમાં એક હોટ સ્પોટ છે. MEMS ટેક્નોલોજીનો ઉપયોગ કરીને ફ્લક્સગેટ્સમાં નાના કદ જેવી ઉત્તમ લાક્ષણિકતાઓ હોય છે, ઓછી કિંમત, ઉચ્ચ એકીકરણ અને ઉચ્ચ મેચિંગ, અને ઘણા ક્ષેત્રોમાં વ્યાપકપણે ઉપયોગમાં લેવાય છે.
ભવિષ્યમાં, MEMS ફ્લક્સગેટ્સને તેમની રચનાને વધુ ઑપ્ટિમાઇઝ કરવાની જરૂર છે, ઉત્પાદનની પ્રક્રિયા, ચુંબકીય મુખ્ય સામગ્રી, અને ઉચ્ચ સંવેદનશીલતા સાથે ચકાસણીઓ મેળવવા માટે સર્કિટ મેચિંગ, ઓછો અવાજ, અને વધુ સારી માળખાકીય ફિટ. અત્યારે, MEMS ટેક્નોલોજી પર આધારિત દ્વિ-પરિમાણીય ફ્લક્સગેટ સેન્સર ટેક્નોલોજી તદ્દન પરિપક્વ છે. એવું માનવામાં આવે છે કે MEMS ટેકનોલોજીના વિકાસ સાથે, સંકલિત MEMS થ્રી-એક્સિસ ફ્લક્સગેટ સેન્સર દૂર ન હોવું જોઈએ.
