மின்னஞ்சல்: anwenqq2690502116@gmail.com
மைக்ரோ எலக்ட்ரோ மெக்கானிக்கல் சிஸ்டத்தின் அடிப்படையில் ஃப்ளக்ஸ்கேட் சென்சார் ஆராய்ச்சி முன்னேற்றம் (MEMS)
சீன அறிவியல் கழகத்தைச் சேர்ந்த சென் ஜியாமின் குழு: மைக்ரோ எலக்ட்ரோ மெக்கானிக்கல் அமைப்புகளின் அடிப்படையில் ஃப்ளக்ஸ்கேட் சென்சார்கள் மீதான ஆராய்ச்சி முன்னேற்றம் (MEMS)
பின்வரும் கட்டுரைகள் காந்தப் பொருட்கள் மற்றும் சாதனங்களின் தலையங்கத் துறையிலிருந்து வந்தவை, மற்றும் ஆசிரியர் மேக்னடிக் ஜர்னலின் தலையங்கத் துறையைச் சேர்ந்தவர்
குழு அறிமுகம்
திரு. சென் ஜியாமின், என்ற ஆராய்ச்சியாளர் "உணர்திறன் தொழில்நுட்பத்தின் மாநில முக்கிய ஆய்வகம்" சீன அறிவியல் அகாடமியின் ஏரோஸ்பேஸ் இன்னோவேஷன் இன்ஸ்டிடியூட், ஒரு முனைவர் மேற்பார்வையாளர், ஒரு வேட்பாளர் "நூறு திறமைகள் திட்டம்" சீன அறிவியல் அகாடமியின், ஒரு சிறப்பு ஆய்வாளர் (கூட்டுறவு) அறிவியல் மேம்பாட்டுக்கான ஜப்பான் சொசைட்டி (ஜே.எஸ்.பி.எஸ்), IEEE காந்தவியல் சங்கத்தின் உறுப்பினர், தேசிய பொருட்கள் மற்றும் சாதனங்களின் காந்தப் பொருட்கள் நிபுணர் குழுவின் உறுப்பினர்.
சரிசெய்யக்கூடிய நிலையான தற்போதைய மின்னணு சுமை - சார்ஜிங் புதையல் சோதனையாளர் - வயதான வெளியேற்ற தொகுதி - வேகமான சார்ஜ் மற்றும் டிஸ்சார்ஜ் ரெசிஸ்டர்
அவர் புதிய உணர்திறன் பொருட்கள் பற்றிய ஆராய்ச்சியில் ஈடுபட்டுள்ளார், காந்த உணரிகள், சுழல் இயற்பியல், பொருட்கள் மற்றும் சாதனங்கள் நீண்ட காலத்திற்கு. ஜப்பானில் அவர் தலைமை தாங்கி பங்கேற்றுள்ளார் "சீர்குலைக்கும் தொழில்நுட்ப கண்டுபிடிப்பு திட்டம்" திட்டம், அறிவியலின் ஊக்குவிப்புக்கான ஜப்பான் சொசைட்டியின் அறிவியல் ஆராய்ச்சி நிதி அடிப்படை ஆராய்ச்சி எஸ்-நிலை திட்டம், ஏ-நிலை திட்டம், பி-நிலை திட்டம், சிறப்பு ஆராய்ச்சியாளர் திட்டம் மற்றும் மேம்பட்ட சேமிப்பு தொழில்நுட்ப சங்கம் திட்டம், முதலியன, மற்றும் தற்போது தேசிய முக்கிய ஆராய்ச்சி மற்றும் மேம்பாட்டிற்கு பொறுப்பாக உள்ளார், திட்டமிடப்பட்ட இளம் விஞ்ஞானி திட்டம் போன்ற பல அறிவியல் ஆராய்ச்சி திட்டங்கள் உள்ளன, தேசிய இயற்கை அறிவியல் அறக்கட்டளை திட்டம், பெய்ஜிங் இயற்கை அறிவியல் அறக்கட்டளை திட்டம், சீன அறிவியல் அகாடமி திறமை திட்டம், சைனீஸ் அகாடமி ஆஃப் சயின்ஸ் கருவி மற்றும் உபகரண செயல்பாடு மேம்பாட்டு திட்டம், மற்றும் நிறுவனத்திடம் ஒப்படைக்கப்பட்ட திட்டம்.
சரிசெய்யக்கூடிய நிலையான மின்னோட்ட மின்னணு சுமை சார்ஜிங் புதையல் சோதனை தொகுதி
கட்டுரை வழிகாட்டி
ஃப்ளக்ஸ்கேட் சென்சார்கள் பலவீனமான குறைந்த அதிர்வெண் அல்லது DC காந்தப்புலங்களைக் கண்டறியக்கூடிய ஒரு வகை திசையன் காந்த உணரிகள் ஆகும்.. தீர்மானத்தில் அவற்றின் நன்மைகள் காரணமாக, வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை, துல்லியம் மற்றும் உணர்திறன், அவை காந்த வழிசெலுத்தல் பொருத்துதலில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, விண்வெளி கண்டறிதல், கனிம கண்டறிதல், புவி காந்த கண்டறிதல், தற்போதைய கண்டறிதல் மற்றும் பிற துறைகள். மைக்ரோ-கூறுகள் மற்றும் அமைப்புகளின் வளர்ந்து வரும் பயன்பாடுகளைப் பூர்த்தி செய்வதற்காக, ஃப்ளக்ஸ்கேட் சென்சார்களின் மினியேட்டரைசேஷன் ஃப்ளக்ஸ்கேட்டின் ஆராய்ச்சி மையமாக மாறியுள்ளது உணரிகள். மைக்ரோ-எலக்ட்ரோ-மெக்கானிக்கல் சிஸ்டம் (MEMS) செயலாக்கமானது ஃப்ளக்ஸ்கேட் சென்சார்களின் மினியேட்டரைசேஷனுக்கான தொழில்நுட்ப அடிப்படையை வழங்குகிறது. இந்தத் தாள் ஃப்ளக்ஸ்கேட் சென்சார்களின் அடிப்படைக் கொள்கைகளை சுருக்கமாகக் கூறுகிறது, மற்றும் மைக்ரோ-ஃப்ளக்ஸ்கேட் சென்சார் தொழில்நுட்பத்தின் வளர்ச்சி வரலாற்றை விளக்குகிறது, மைக்ரோமச்சிங் தொழில்நுட்பம் உட்பட, பிசிபி தொழில்நுட்பம் மற்றும் MEMS தொழில்நுட்பம். MEMS ஃப்ளக்ஸ்கேட் கட்டமைப்பு தொழில்நுட்பத்தின் வளர்ச்சி செயல்முறை மற்றும் MEMS ஆர்த்தோகனல் ஃப்ளக்ஸ்கேட்டின் வளர்ச்சி நிலை ஆகியவை சுருக்கப்பட்டுள்ளன., இந்த துறையில் எதிர்கால ஆராய்ச்சி கவனம் எதிர்பார்க்கப்படுகிறது.
முக்கிய வார்த்தைகள்: ஃப்ளக்ஸ்கேட் சென்சார்; MEMS; காந்த அளவீடு; விண்ணப்பம்
1 அறிமுகம்
ஃப்ளக்ஸ்கேட் சென்சார்கள் பலவீனமான குறைந்த அதிர்வெண் அல்லது DC காந்தப்புலங்களைக் கண்டறியக்கூடிய திசையன் காந்த உணரிகளின் ஒரு வகுப்பாகும்.. பாரம்பரிய ஃப்ளக்ஸ்கேட் சென்சார்கள் காந்த வழிசெலுத்தல் பொருத்துதலில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, விண்வெளி கண்டறிதல், கனிம கண்டறிதல், புவி காந்த கண்டறிதல், தற்போதைய கண்டறிதல் மற்றும் தீர்மானத்தில் உள்ள நன்மைகள் காரணமாக மற்ற துறைகள், வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை, துல்லியம் மற்றும் உணர்திறன். பல்வேறு மைக்ரோ ட்ரோன்கள், கையடக்க சாதனங்கள், மைக்ரோ செயற்கைக்கோள்கள், மைக்ரோ கரண்ட் சென்சார்கள், சிறிய மின்னணு திசைகாட்டிகள், பயோமெடிசின் மற்றும் பிற பயன்பாட்டுத் துறைகள் தரத்திற்கு அதிக தேவைகளைக் கொண்டுள்ளன, தொகுதி, மின் நுகர்வு மற்றும் ஃப்ளக்ஸ்கேட்களின் ஒருங்கிணைப்பு. மைக்ரோ-கூறுகள் மற்றும் அமைப்புகளின் வளர்ந்து வரும் பயன்பாடுகளைப் பூர்த்தி செய்வதற்காக, ஃப்ளக்ஸ்கேட் சென்சார்களின் மினியேட்டரைசேஷன் ஃப்ளக்ஸ்கேட் சென்சார்களின் ஆராய்ச்சி மையமாக மாறியுள்ளது.
2 திடமான ஃப்ளக்ஸ்கேட்டின் கொள்கை மற்றும் அமைப்பு
இணையான ஃப்ளக்ஸ்கேட் - மைக்ரோ எலக்ட்ரோ மெக்கானிக்கல் சிஸ்டத்தின் அடிப்படையில் ஃப்ளக்ஸ்கேட் சென்சார் ஆராய்ச்சி முன்னேற்றம் (MEMS)
3 ஃப்ளக்ஸ்கேட் மினியேட்டரைசேஷன் வரலாறு
3.1 மைக்ரோமச்சின் ஃப்ளக்ஸ்கேட்
3.2 பிசிபி ஃப்ளக்ஸ்கேட்
3.3 MEMS ஃப்ளக்ஸ்கேட்
4 MEMS ஃப்ளக்ஸ்கேட் ஆராய்ச்சி
4.1 தொழில்நுட்பம்
4.2 கட்டமைப்பு
4.3 ஆர்த்தோகனல் ஃப்ளக்ஸ்கேட்
5 MEMS ஃப்ளக்ஸ்கேட்டின் பயன்பாடு
5.1 ரோபோக்கள்
5.2 தற்போதைய சோதனை
5.3 உயிர் காந்த கண்டறிதல்
5.4 விண்வெளி ஆய்வு
6 எபிலோக்
முடிவில்
கடந்த மூன்று தசாப்தங்களாக, ஃப்ளக்ஸ்கேட்கள் சிறியமயமாக்கலில் பெரும் முன்னேற்றம் அடைந்துள்ளன, மற்றும் அதிக இரைச்சல் பிரச்சனைகள், குறைந்த உணர்திறன், மற்றும் ஃப்ளக்ஸ்கேட்களின் மினியேட்டரைசேஷன் மூலம் ஏற்படும் பெரிய வெப்பநிலை சறுக்கல் மேம்படுத்தப்பட்டுள்ளது. MEMS தொழில்நுட்பம் தற்போது ஃப்ளக்ஸ்கேட்களின் சிறியமயமாக்கலில் ஒரு ஹாட் ஸ்பாட் ஆகும். MEMS தொழில்நுட்பத்தைப் பயன்படுத்தும் ஃப்ளக்ஸ்கேட்கள் சிறிய அளவு போன்ற சிறந்த பண்புகளைக் கொண்டுள்ளன, குறைந்த செலவு, உயர் ஒருங்கிணைப்பு மற்றும் உயர் பொருத்தம், மற்றும் பல துறைகளில் பரவலாக பயன்படுத்தப்பட்டு வருகின்றன.
எதிர்காலத்தில், MEMS ஃப்ளக்ஸ்கேட்கள் அவற்றின் கட்டமைப்பை மேலும் மேம்படுத்த வேண்டும், உற்பத்தி செய்முறை, காந்த மையப் பொருள், மற்றும் அதிக உணர்திறன் கொண்ட ஆய்வுகளைப் பெற சுற்றுப் பொருத்தம், குறைந்த சத்தம், மற்றும் சிறந்த கட்டமைப்பு பொருத்தம். தற்போது, MEMS தொழில்நுட்பத்தை அடிப்படையாகக் கொண்ட இரு பரிமாண ஃப்ளக்ஸ்கேட் சென்சார் தொழில்நுட்பம் மிகவும் முதிர்ச்சியடைந்தது. MEMS தொழில்நுட்பத்தின் வளர்ச்சியுடன் இது நம்பப்படுகிறது, ஒருங்கிணைந்த MEMS மூன்று-அச்சு ஃப்ளக்ஸ்கேட் சென்சார் தொலைவில் இருக்கக்கூடாது.
